专利名称：喷砂磨角机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，更具体地说，涉及一种喷砂磨角机。
背景技术：
国内半导体企业的生产设备主要依赖进口，而且基本都是二手设备，价格昂贵。比 如多功能喷砂磨角机，从国外进口的价格是五十多万元人民币/台，硅元件压装机便宜也 是一百多万元/台，设备折旧与维修费用占硅片加工总成本的百分之五十，固资投入很大， 企业创利空间狭小。目前，为了减少固资投入，国内很多企业在硅片的加工工艺中，采用的是简单机械 加人工控制的原始工艺，其步骤是A、将研磨硅片的模具安装在电动旋转台上；B、开启电源，模具旋转；C、人工将硅片按在模具型框内；D、开启水砂喷管龙头；E、人工研磨，并观察研磨情况。上述工艺由于是通过操作人员手动控制水砂喷管龙头，会存在以下缺陷研磨不均勻，角度难于控制，致使硅片导电性能差，影响产品质量。因人的手感不 一样，特别是大于Φ50的硅片，易造成磨角不均勻和深度不一致的现象；工人作业，劳动环境差，劳动强度大；工作效率低，Φ 50的硅片每班作业平均8分钟一件，产量低，不能满足生产需要。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型提供了一种喷砂磨角机，以提高硅片的研磨质量，降低工作 人员的劳动强度，提高工作效率。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案一种喷砂磨角机，包括机架；设置在所述机架上的用于放置并旋转待加工工件的摩擦传动机构和用于盛放研 磨粉的沙箱桶，所述沙箱桶和喷射研磨粉的喷嘴通过管路相连；设置在所述机架上的用于调节所述喷嘴位置的调节机构。优选的，在上述喷砂磨角机中，还包括和所述沙箱桶相连的振动装置，以及用于抽 走研磨粉尘的除尘器。优选的，在上述喷砂磨角机中，所述沙箱桶通过弹簧设置在所述机架上。优选的，在上述喷砂磨角机中，所述摩擦传动机构具体包括设置在所述机架上的电机；可转动的设置在所述机架上的磁盘；[0024]穿过所述磁盘的传动轴，该传动轴的一端设置有和所述电机相连的靠轮，另一端 设置有用于安装模具的模座。优选的，在上述喷砂磨角机中，所述传动轴设置于靠近所述磁盘的边缘处，所述磁 盘上远离所述传动轴的位置处设有旋转手柄。优选的，在上述喷砂磨角机中，所述调节机构具体包括安装支座，所述安装支座上开设有竖直方向的移动槽；设置在所述安装支座的安装杆，所述安装杆上设置有喷嘴安装盘；设置在所述安装支座上，调节所述喷嘴和所述待加工工件的竖直距离的上下调节 机构；设置在所述安装支座上，调节所述喷嘴和所述待加工工件之间夹角的角度调节机 构；设置在所述安装支座上，调节所述喷嘴和所述待加工工件的中心之间距离的直径 调节机构。优选的，在上述喷砂磨角机中，所述上下调节机构具体包括第一旋钮；螺杆，该螺杆的一端和所述安装杆相连，另一端穿过所述安装支座的移动槽和所 述第一旋钮相连。优选的，在上述喷砂磨角机中，所述角度调节机构具体包括同轴设置在所述喷嘴安装盘上的第一齿轮；—端和所述喷嘴安装盘上的第一齿轮啮合的齿条传动件；一端和所述齿条传动件相连的角度传动杆，该角度传动杆的另一端设有螺纹；和所述角度传动杆的螺纹端螺纹连接的第二旋钮。优选的，在上述喷砂磨角机中，所述直径调节机构具体包括和所述安装杆相连的直径调节杆，所述直径调节杆上设有齿条轮齿；与所述直径调节杆上的齿条轮齿啮合的第二齿轮；与所述齿轮同轴设置的第三旋钮。优选的，在上述喷砂磨角机中，所述喷嘴安装盘上设有刻度。从上述的技术方案可以看出，本实用新型的动力源是气源三联件，通过气源三联 件产生高压气流驱动沙箱桶内的研磨粉剂，通过喷嘴直接准确地切割硅片、玻璃、瓷制品， 使制品达到机械切削所无法实现的几何尺寸和完美的技术指标。本实用新型可通过调节机 构任意调节切割角度、操作灵活方便，比较于原手工制作工艺，不但大大提高了生产效率， 而且提高了产品质量。本实用新型在半导体、玻璃、瓷制品加工以及金属表面的清洁处理等 领域都得到广泛应用。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例 或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅 是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提 下，还可以根据这些附图获得其他的附图。[0047]图1为本实用新型实施例提供的带有除尘器的喷砂磨角机的结构示意图；图2为本实用新型实施例提供的不带除尘器的喷砂磨角机的结构示意图；图3为本实用新型实施例提供的沙箱振动机构的结构示意图；图4为本实用新型实施例提供的摩擦传动机构的结构示意图；图5为本实用新型实施例提供的模具的结构示意图；图6为本实用新型实施例提供的调节机构的结构示意图；图7为图6的俯视图。
具体实施方式
本实用新型提供了一种喷砂磨角机，以提高硅片的研磨质量，降低工作人员的劳 动强度，提高工作效率。下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的 实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。请参阅图1-图3，图1为本实用新型实施例提供的带有除尘器的喷砂磨角机的结 构示意图；图2为本实用新型实施例提供的不带除尘器的喷砂磨角机的结构示意图；图3 为本实用新型实施例提供的沙箱振动机构的结构示意图。1为机架，2为摩擦传动机构，3为调节机构，4为除尘器，5为沙箱振动机构，51为 管路，52为沙箱桶，53为振动装置，54为弹簧。本实用新型提供的喷砂磨角机，包括机架1、摩擦传动机构2、沙箱桶52和调节机 构3。其中，机架1是本实用新型的支承部件，用于支撑其他部件。用于放置待加工工件并 旋转的摩擦传动机构2和用于盛放研磨粉的沙箱桶52均设置在所述机架1上，所述沙箱桶 52和喷射研磨粉的喷嘴通过管路51相连。使用时，沙箱桶52内的研磨粉通过气源三联件 产生的高压气流吹出，沿管路51进入喷嘴，从喷嘴喷出的高压气流及研磨粉对待加工工件 进行研磨加工。调节机构3设置在机架1上，用于设置和调节喷嘴的位置，从而使得不用人工操控 喷嘴进行研磨，而且可以调节喷嘴的研磨位置。优选的，本实用新型还可以包括用于抽走研磨粉尘的除尘器4。除尘器4能有效 地在工作室外内形成负压，将研磨粉从进风口吸入除尘器4的过滤室内的布质过滤袋中， 除尘器4的清灰机构使过滤袋产生瞬时横向高频震动，抖落附在布袋子上的粉尘落入积尘 箱，由人工定期清除箱内研磨粉尘，经过再加工返回工艺。本实用新型的动力源是气源三联件，通过气源三联件产生高压气流驱动沙箱桶52 内的研磨粉，通过喷嘴直接准确地切割硅片、玻璃、瓷制品等待加工工件，使制品达到机械 切削所无法实现的几何尺寸和完美的技术指标。本实用新型可通过调节机构3任意调节切 割角度、操作灵活方便，比较于原手工制作工艺，不但大大提高了生产效率，而且提高了产 品质量。本实用新型在半导体、玻璃、瓷制品加工以及金属表面的清洁处理等领域都可得到 广泛应用。本实用新型提供的沙箱振动机构5包括沙箱桶53以及和所述沙箱桶52相连的振
6动装置53。通过振动装置53对沙箱桶53进行实时振动，促使高压气流与研磨粉有机混合， 产生高压研磨喷流至喷嘴对待加工工件实施有效的磨削，优选的振动装置53为激振器。进一步为了优化上述技术方案，将沙箱桶52通过弹簧M设置在机架1上，振动装 置53和沙箱桶52相连。振动装置53产生的振动可通过弹簧M进行放大，提高了高压气 流与研磨粉的混合速度。请参阅图4，图4为本实用新型实施例提供的摩擦传动机构的结构示意图。其中，1为机架，21为电机，22为磁盘，23为模具，24为旋转手柄，25为靠轮，26为转盘。本实用新型提供的摩擦传动机构2具体包括电机21、磁盘22和传动轴。其中， 电机21设置在机架1上，用于为放置待加工工件的模具23提供旋转动力。磁盘22可转动 的设置在所述机架1上，具体的可通过转盘沈实现旋转，磁盘22是为使取放工件方便的一 个转盘部件。传动轴穿过所述磁盘22，该传动轴的一端设置有和所述电机21相连的靠轮 25，另一端设置有用于安装模具23的模座。通过电机21的电机轴将动力传递给靠轮25，靠 轮25通过传动轴传递给用于安装模具23的模座，模座带动模具和工件实现旋转，从而完成 研磨加工。本实用新型是通过电机轴和靠轮25之间的摩擦力传动的，当然也可以通过带传 动、链传动以及齿轮传动实现二者之间的传动。进一步为了优化上述技术方案，传动轴设置于靠近所述磁盘22的边缘处，所述磁 盘22上远离所述传动轴的位置处设有旋转手柄M。工件加工完成后，将磁盘22通过旋转 手柄M旋转180度，从而将工件转至工人面前，用镊子将产品从模具内取出即可。请参阅图5，图5为本实用新型实施例提供的模具的结构示意图。其中，23为模具，231为工件安装槽，232为安装部。本实用新型提供的模具23具有和所述模座适配的安装部232，通过安装部232实 现模具23的安装，且模具23上具有用于安装工件的工件安装槽231。通过喷嘴对模具边缘 喷砂从而将工件的边缘进行研磨处理，加工出适合尺寸要求的产品。请参阅图6和图7，图6为本实用新型实施例提供的调节机构的结构示意图；图7 为图6的俯视图。其中，31为上下调节机构，32为角度调节机构，33为直径调节机构，34为安装支 座，35为喷嘴安装盘，36为预紧螺钉，37为安装套筒，311为第一旋钮，321为角度传动杆， 322为齿条传动件，323为第二旋钮，331为直径调节杆，332为第三旋钮。本实用新型提供的调节机构3具体包括安装支座34、安装杆、喷嘴安装盘35、上 下调节机构31、角度调节机构32和直径调节机构33。其中，安装支座34是调节机构3的 支撑部件，安装支座34上开设有竖直方向的移动槽，该移动槽是用于实现喷嘴安装盘35的 上下移动而设置的。安装杆设置在所述安装支座34上，且所述安装杆上设置有喷嘴安装盘 35，通过调节机构3的三个分调节机构来移动安装杆，实现对喷嘴安装盘35的调节，从而实 现喷嘴位置的调节。上下调节机构31设置在所述安装支座34上，用于调节所述喷嘴和所述待加工工 件的竖直距离。角度调节机构32设置在所述安装支座34上，用于调节所述喷嘴和所述待 加工工件之间的夹角。直径调节机构33设置在所述安装支座34上，调节所述喷嘴和所述 待加工工件的中心之间的距离。[0075]其中，上下调节机构31具体包括第一旋钮311和螺杆。其中，螺杆的一端和安装 杆相连，另一端穿过所述安装支座34的移动槽和所述第一旋钮311相连。通过向不同方向 旋转第一旋钮311，实现安装杆沿螺杆上下移动，从而带动喷嘴安装盘35上下移动。螺杆和 移动槽的槽壁间隙配合并且靠第一旋钮311定位。旋转第一旋钮311，螺杆并不会沿移动槽 上下移动，由于安装杆通过连接装置和螺杆螺纹连接，因此，安装杆会沿螺杆上下移动。角度调节机构32具体包括第一齿轮、齿条传动件322、角度传动杆321和第二旋 钮323。其中，第一齿轮和所述喷嘴安装盘35同轴设置并固定在喷嘴安装盘35上，从而可 以通过转动第一齿轮来转动喷嘴安装盘35。齿条传动件322的一端和所述喷嘴安装盘上的 第一齿轮啮合，另一端和角度传动杆321相连，该角度传动杆321的另一端(即和齿条传动 件322相连外的另一端)设有螺纹，第二旋钮323和所述角度传动杆321的螺纹端螺纹连 接。具体使用时，限制第二旋钮323的轴向移动，只保留其沿轴线转动的自由度。通过旋转 第二旋钮323，由于其轴向移动的自由度被约束，所以与其配合的角度传动杆321会沿轴向 移动，从而带动齿条传动件322轴向移动，齿条传动件322与第一齿轮啮合，从而第一齿轮 沿其轴向旋转，带动喷嘴安装盘35，实现了喷嘴角度的调节。直径调节机构33具体包括直径调节杆331、第二齿轮和第三旋钮332。其中，直 径调节杆331和所述安装杆相连，所述直径调节杆331上设有齿条轮齿，第二齿轮与所述直 径调节杆331上的齿条轮齿啮合，第三旋钮332与所述第二齿轮同轴设置。同样限制第三 旋钮332沿其轴向的移动，保留其沿轴向旋转的自由度。通过旋转第三旋钮332，和所述第 三旋钮332同轴设置的第二齿轮跟随旋转，第二齿轮驱动直径调节杆331沿轴向移动，从而 实现调节喷嘴和所述待加工工件的中心之间的距离，即调节加工直径。本实用新型还可以包括安装套筒37，和上下调节机构的螺杆螺纹连接的连接装置 固定在安装套筒37上，直径调节杆331穿过所述安装套筒37的通孔，并通过预紧螺钉36实 现预紧。安装杆固定在直径调节杆331上，角度传动杆321的一端穿过直径调节杆331的 通孔和齿条传动件322连接固定，另一端和第二旋钮323螺纹连接，第二旋钮323通过直径 调节杆331限制其轴向移动的自由度。第三旋钮332通过安装座固定在安装支座34上，并 通过安装座限制其轴向移动的自由度。喷嘴安装盘35上设有刻度，可以方便观测喷嘴调节的角度。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他 实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新 型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定 义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因 此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理 和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种喷砂磨角机，其特征在于，包括 机架⑴；设置在所述机架(1)上的用于旋转待加工工件的摩擦传动机构(2)和用于盛放研磨粉 的沙箱桶(52)，所述沙箱桶(5 和喷射研磨粉的喷嘴通过管路(51)相连； 设置在所述机架(1)上的用于调节所述喷嘴位置的调节机构(3)。
2.如权利要求1所述的喷砂磨角机，其特征在于，还包括和所述沙箱桶(52)相连的振 动装置(53)，以及用于抽走研磨粉尘的除尘器(4)。
3.如权利要求2所述的喷砂磨角机，其特征在于，所述沙箱桶(52)通过弹簧(54)设置 在所述机架(1)上。
4.如权利要求1所述的喷砂磨角机，其特征在于，所述摩擦传动机构(2)具体包括 设置在所述机架(1)上的电机；可转动的设置在所述机架(1)上的磁盘02)；穿过所述磁盘0 的传动轴，该传动轴的一端设置有和所述电机相连的靠轮 (25)，另一端设置有用于安装模具03)的模座。
5.如权利要求4所述的喷砂磨角机，其特征在于，所述传动轴设置于靠近所述磁盘 (22)的边缘处，所述磁盘0 上远离所述传动轴的位置处设有旋转手柄04)。
6.如权利要求1所述的喷砂磨角机，其特征在于，所述调节机构(3)具体包括 安装支座(34)，所述安装支座(34)上开设有竖直方向的移动槽；设置在所述安装支座(34)的安装杆，所述安装杆上设置有喷嘴安装盘(35)； 设置在所述安装支座(34)上，调节所述喷嘴和所述待加工工件的竖直距离的上下调 节机构(31)；设置在所述安装支座(34)上，调节所述喷嘴和所述待加工工件之间夹角的角度调节 机构(32)；设置在所述安装支座(34)上，调节所述喷嘴和所述待加工工件的中心之间距离的直 径调节机构(33)。
7.如权利要求6所述的喷砂磨角机，其特征在于，所述上下调节机构(31)具体包括 第一旋钮(311)；螺杆，该螺杆的一端和所述安装杆相连，另一端穿过所述安装支座的移动槽和所述第 一旋钮(311)相连。
8.如权利要求6所述的喷砂磨角机，其特征在于，所述角度调节机构(32)具体包括 同轴设置在所述喷嘴安装盘上的第一齿轮；一端和所述喷嘴安装盘上的第一齿轮相啮合的齿条传动件(322)； 一端和所述齿条传动件(32 相连的角度传动杆(321)，该角度传动杆(321)的另一端 设有螺纹；和所述角度传动杆(321)的螺纹端螺纹连接的第二旋钮(323)。
9.如权利要求6所述的喷砂磨角机，其特征在于，所述直径调节机构(33)具体包括 和所述安装杆相连的直径调节杆(331)，所述直径调节杆(331)上设有齿条轮齿； 与所述直径调节杆(331)上的齿条轮齿相啮合的第二齿轮；与所述齿轮同轴设置的第三旋钮(332)。
10.如权利要求6所述的喷砂磨角机，其特征在于，所述喷嘴安装盘(35)上设有刻度。
专利摘要本实用新型公开了一种喷砂磨角机，包括机架(1)；设置在所述机架(1)上的用于放置并旋转待加工工件的摩擦传动机构(2)和用于盛放研磨粉的沙箱桶(52)，所述沙箱桶(52)和喷射研磨粉的喷嘴通过管路(51)相连；设置在所述机架(1)上的用于调节所述喷嘴位置的调节机构(3)。本实用新型的动力源是气源三联件，通过气源三联件产生高压气流驱动沙箱桶内的研磨粉剂，通过喷嘴直接准确地切割硅片、玻璃、瓷制品，使制品达到机械切削所无法实现的几何尺寸和完美的技术指标。本实用新型可通过调节机构任意调节切割角度、操作灵活方便，比较于原手工制作工艺，不但大大提高了生产效率，而且提高了产品质量。
文档编号B24C3/02GK201815955SQ20102052184
公开日2011年5月4日 申请日期2010年9月7日 优先权日2010年9月7日
发明者刘邦, 文春雷 申请人:株洲敏锐机车配件有限责任公司