专利名称：一种串联提高固态源使用效率的方法
技术领域：
本发明属于固态源使用技术领域，具体涉及一种串联提高固态源使用效率的方法。
背景技术：
MOCVD是金属有机化合物化学气相淀积(Metal-organic Chemi cal Vapor Deposition)的英文缩写。在MOCVD生产中，固体TMh源使用效率低成为主要的问题，对于固态TMh源，其饱和蒸汽压的稳定性和使用效率一直是用户关注的焦点，对于传统源瓶， 当源的量多时，源瓶内的空间较小，上下的饱和蒸汽压基本相等而且稳定。当源瓶内源的量用到较少时，源瓶内空间较大，很难保证顶部和底部的饱和蒸汽压相同，此时顶部气体中源的饱和蒸汽压不稳定，导致源瓶中源的使用效率低。目前，提高效率的方法主要有两种，第一种是采用不同设计的源瓶，第二种通过敲击源瓶来提高其使用效率，但这两种方法各有优缺点，第一种使用效率可达95%，但价格昂贵；第二种价格低，但使用效率最高到65%。
发明内容
为了克服上述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种串联提高固态源使用效率的方法，具有操作简单，固态源使用效率高，不影响外延层的性能，适用范围广的特点。为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是一种串联提高固态源使用效率的方法，包括以下步骤步骤1 将同型号的两个源瓶串联，具体做法是将同型号的第一源瓶1和第二源瓶2放入温度为20 35°C的同一水浴槽中，并将第一源瓶1的出口 3与第二源瓶的进口 4 相连通；步骤2 当第一源瓶1和第二源瓶2内的压力为750 850torr时，将载气N2或者 H2通入第一源瓶进口 5，通过载气的运输将源从第一源瓶1内输送到第二源瓶2内，源的输送流量为300 400sccm。本发明基于传统源瓶，在同一温度的水浴槽中，对于同型号源只需将两个源瓶串联同时使用，通过载气的运输将源从前一个源瓶运送到后一个源瓶，直到第一个源瓶中的源全部被传送到后一个源瓶，将固态源的使用效率提高到98%，具有操作简单，固态源使用效率高，不影响外延层的性能，适用范围广的特点。
附图是本发明方法示意图。
具体实施例方式下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。实施例一
如附图所示，本实施例提高固态源使用效率的方法，包括以下步骤步骤1 将同型号的第一源瓶1和第二源瓶2放入温度为的同一水浴槽中，并将第一源瓶1的出口 3与第二源瓶的进口 4相连通；步骤2 当第一源瓶1和第二源瓶2内的压力为SOOtorr时，将载气队或者H2通入第一源瓶进口 5，通过载气的运输将源从第一源瓶1内输送到第二源瓶2内，源的输送流量为 360sccmo实施例二如附图所示，本实施例提高固态源使用效率的方法，包括以下步骤步骤1 将同型号的第一源瓶1和第二源瓶2放入温度为20°C的同一水浴槽中，并将第一源瓶1的出口 3与第二源瓶的进口 4相连通；步骤2 当第一源瓶1和第二源瓶2内的压力为750torr时，将载气队或者H2通入第一源瓶进口 5，通过载气的运输将源从第一源瓶1内输送到第二源瓶2内，源的输送流量为 300sccmo实施例三如附图所示，本实施例提高固态源使用效率的方法，包括以下步骤步骤1 将同型号的第一源瓶1和第二源瓶2放入温度为35°C同一水浴槽中，并将第一源瓶1的出口 3与第二源瓶的进口 4相连通；步骤2 当第一源瓶1和第二源瓶2内的压力为850torr时，将载气队或者H2通入第一源瓶进口 5，通过载气的运输将源从第一源瓶1内输送到第二源瓶2内，源的输送流量为 400sccmo如附图所示，源瓶2还设有出口 6，通过载气的运输将源从源瓶1中全部运送到源瓶2中，使得源瓶1的高固态源的使用率达到98%。
权利要求
1.一种提高固态源使用效率的方法，其特征在于包括以下步骤步骤1 将同型号的两个源瓶串联，具体做法是将同型号的第一源瓶(1)和第二源瓶 (2)放入温度为20 35°C的同一水浴槽中，并将第一源瓶(1)的出口(3)与第二源瓶的进口⑷相连通；步骤2 当第一源瓶(1)和第二源瓶O)内的压力为750 850torr时，将载气队或者 H2通入第一源瓶进口(5)，通过载气的运输将源从第一源瓶(1)内输送到第二源瓶O)内， 源的输送流量为300 400sccm。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于包括以下步骤步骤1 将同型号的第一源瓶(1)和第二源瓶( 放入温度为的同一水浴槽中，并将第一源瓶(1)的出口(3)与第二源瓶的进口(4)相连通；步骤2:当第一源瓶(1)和第二源瓶O)内的压力为SOOtorr时，将载气队或者H2通入第一源瓶进口(5)，通过载气的运输将源从第一源瓶(1)内输送到第二源瓶O)内，源的输送流量为360sccm。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于包括以下步骤步骤1 将同型号的第一源瓶(1)和第二源瓶( 放入温度为20°c的同一水浴槽中，并将第一源瓶(1)的出口(3)与第二源瓶的进口 4相连通；步骤2:当第一源瓶(1)和第二源瓶O)内的压力为750torr时，将载气队或者吐通入第一源瓶进口(5)，通过载气的运输将源从第一源瓶(1)内输送到第二源瓶O)内，源的输送流量为300sccm。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于包括如下步骤步骤1 将同型号的第一源瓶(1)和第二源瓶( 放入温度为35°C的同一水浴槽中，并将第一源瓶(1)的出口(3)与第二源瓶的进口(4)相连通；步骤2:当第一源瓶(1)和第二源瓶2内的压力为850torr时，将载气队或者H2通入第一源瓶进口(5)，通过载气的运输将源从第一源瓶(1)内输送到第二源瓶O)内，源的输送流量为400sccm。
全文摘要
一种串联提高固态源使用效率的方法，包括以下步骤步骤1将同型号的两个源瓶串联，具体做法是将同型号的第一源瓶和第二源瓶放入温度为20～35℃的同一水浴槽中，并将第一源瓶的出口与第二源瓶的进口相连通；步骤2当第一源瓶和第二源瓶内的压力为750～850torr时，将载气N2或者H2通入第一源瓶进口，通过载气的运输将源从第一源瓶内输送到第二源瓶内，源的输送流量为300～400sccm；本发明方法具有操作简单，固态源使用效率高，不影响外延层的性能，适用范围广的特点。
文档编号C23C16/448GK102330071SQ20111026063
公开日2012年1月25日 申请日期2011年9月5日 优先权日2011年9月5日
发明者刘波波, 孟锡俊, 李培咸, 王旭明, 王晓波, 白俊春, 郭迟 申请人:西安中为光电科技有限公司