专利名称：研磨垫修整器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及研磨装置，尤其涉及一种研磨垫修整器。
背景技术：
在半导体工业研磨制程中，研磨垫的研磨表面上会堆积晶圆被磨除的物质以及研磨液中的研磨颗粒，这些微粒子将填满、堵塞研磨表面上的微孔洞，使研磨垫失去研磨能力，业界引入研磨垫修整器以在研磨过程中修整研磨垫，研磨垫修整器压在研磨垫的研磨表面上并旋转，在研磨垫的研磨表面上产生切削以及移除填塞微粒子的能力，去除残留在研磨表面上的微粒子，使研磨垫的研磨表面重新回复到较理想的状态。图1所示为现有技术的研磨垫修整器，该研磨垫修整器包括旋转杆11、连接架12、 基座13和托盘14 ；所述基座13通过所述连接架12与所述旋转杆11连接，所述托盘14通过螺钉15固定在所述基座13的底端。图2所示为所述连接架12的俯视图，所述连接架12包括连接盘121、连接片122 和连接环123 ；所述连接盘121固定安装在所述旋转杆11的底端，所述连接环123固定安装在所述基座13的顶端，所述连接片122设置在所述连接盘121与所述连接环123之间， 所述连接片122的一端与所述连接盘121连接，所述连接片122的另一端与所述连接环123 连接，即所述连接架12起着连接所述旋转杆11与所述基座13的作用。继续参见图1，在研磨制程中，所述托盘14在所述旋转杆11施加的下压力作用下， 压在研磨垫的研磨表面上(图1中未示研磨垫)，所述旋转杆11旋转，带动所述基座13及托盘14 一起旋转，所述托盘14通常为钻石盘，所述托盘14在相对研磨垫旋转的过程中在研磨垫的研磨表面上产生切削以及移除填塞微粒子的能力，去除残留在研磨表面上的微粒子。在研磨制程中，所述旋转杆11施加的下压力是通过所述连接架12传递给所述基座13 以及托盘14的，因此，所述连接架12在研磨制程中直接承受所述旋转杆11施加的下压力。 由于在研磨制程中所述托盘14压在研磨垫上，即所述托盘14对研磨垫有力的作用，根据力与反作用力的关系，研磨垫对所述托盘14也会有力的作用，若不加以控制，研磨垫对所述托盘14的反作用力会通过所述基座13及连接架12传递给所述旋转杆11，对所述旋转杆 11产生影响。然而，现有技术的连接架12采用金属薄片制成(所述连接盘121、连接片122和连接环123均为金属薄片)，能对研磨垫的反作用力起缓冲作用，使研磨垫的反作用力不影响所述旋转杆11，但是，金属薄片制成的连接片122不牢固，在所述旋转杆11施加的下压力作用下容易折断，即现有技术的研磨垫修整器容易损坏，若在研磨制程中，所述连接片122突然折断，所述基座13和托盘14会被突然甩出，这样非常危险，将损害到其他部件以及进行研磨的晶圆。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种研磨垫修整器，既能有效缓冲研磨垫的反作用力，又结实牢固。为了达到上述的目的，本实用新型提供一种研磨垫修整器，包括旋转杆、基座、托盘和括弹性连接件；所述旋转杆固定连接在所述基座的一端；所述托盘通过所述弹性连接件弹性连接在所述基座的另一端。上述研磨垫修整器，其中，所述托盘上设有插销，所述插销穿过所述基座，从所述基座的上方伸出。上述研磨垫修整器，其中，所述插销为圆柱体。上述研磨垫修整器，其中，所述插销均勻分布在同一圆周上。上述研磨垫修整器，其中，所述弹性连接件均勻分布在同一圆周上。上述研磨垫修整器，其中，所述弹性连接件包括螺钉和弹簧，所述螺钉包括螺杆和螺帽，所述螺帽设置在所述螺杆的一端，所述弹簧套设在所述螺杆上；所述基座设有孔，所述螺杆未设有螺帽的一端穿过该孔与所述托盘螺纹连接，所述弹簧的一端与所述螺帽连接，所述弹簧的另一端与所述孔连接。上述研磨垫修整器，其中，所述孔设置在所述基座的边缘上。上述研磨垫修整器，其中，所述基座与所述托盘之间有一间隙，所述托盘顶端的中心设有凸起，所述基座底端的中心设有凹槽，所述凹槽与所述凸起相匹配，所述凸起卡在所述凹槽内。上述研磨垫修整器，其中，所述凸起呈半球形，所述凹槽呈半球形。本实用新型的研磨垫修整器中，旋转杆直接安装在基座上，旋转杆施加的下压力直接作用在基座上，由于基座比较结实，因此，基座不会被旋转杆施加的下压力压坏；托盘与基座弹性连接，托盘与基座之间的弹力可缓冲研磨垫的反用力，避免研磨垫的反作用力对旋转杆产生影响，而且托盘与基座之间的弹力承受力强，不易损坏，因此，本实用新型的研磨垫修整器结实牢固；本实用新型的研磨垫修整器结实牢固可避免研磨制程中研磨垫修整器突然损坏带来的危险，减少制造成本，也节省了研磨制程中因更换损坏的研磨垫修整器而浪费的时间，从而有利于提高工作效率。
本实用新型的研磨垫修整器由以下的实施例及附图给出。图1是现有技术的研磨垫修整器的示意图。图2是现有技术中连接架的俯视图。图3是本实用新型的研磨垫修整器的剖视图。图4是本实用新型中弹性连接件的结构示意图。图5是图3中A虚线圈部分的局部放大图。图6是图3中B虚线圈部分的局部放大图。
具体实施方式
以下将结合图3 图6对本实用新型的研磨垫修整器作进一步的详细描述。本实用新型的核心思想在于提供一种研磨垫修整器，所述研磨垫修整器包括旋转杆、基座、托盘和弹性连接件；所述旋转杆固定连接在所述基座的一端，所述托盘通过所述弹性连接件弹性连接在所述基座的另一端。本实用新型的研磨垫修整器的旋转杆直接连接在基座的顶端，托盘通过弹性连接件弹性连接在基座的底端，旋转杆施加的下压力直接作用于基座，基座结实能承受得住旋转杆施加的下压力，弹性连接件可缓冲研磨垫的反作用力，避免研磨垫的反作用力对旋转杆产生影响，而且弹性连接件弹性好，并能承受较大舒张阻力，不易损坏，使得所述研磨垫修整器结实牢固。现以具体实施例详细说明本实用新型的研磨垫修整器参见图3，本实施例的研磨垫修整器包括旋转杆21、基座22、托盘23和弹性连接件 24；所述旋转杆21固定安装在所述基座22的一端(顶端)；所述托盘23设置在所述基座22的另一端(底端)，并通过所述弹性连接件M与所述基座22弹性连接；所述托盘23上设有插销231，所述插销231穿过所述基座22，从所述基座22的上方伸出，所述插销231用于固定所述托盘23与所述基座22的相对位置，防止所述托盘23 与所述基座22之间产生相对转动；较佳地，所述研磨垫修整器包含多个所述弹性连接件M，所述多个弹性连接件M 均勻分布在同一圆周内；较佳地，所述托盘23上设有多个插销231，所述多个插销231均勻分布在同一圆周内。参见图4，进一步地，所述弹性连接件M包括螺钉和弹簧Ml，所述螺钉包括螺杆 242和螺帽M3，所述螺帽243设置在所述螺杆M2的一端，所述螺杆M2的外表面上设有外螺纹，所述基座22设有孔221，所述螺杆242未设有螺帽的一端穿过该孔221与所述托盘 23螺纹连接，所述弹簧241套设在所述螺杆242上，所述弹簧241的一端与所述螺帽243连接，所述弹簧Ml的另一端与所述孔221连接；较佳地，所述孔221设置在所述基座22的边缘上；所述弹簧241采用弹性好、劲度系数大的弹簧；所述弹簧Mi用于缓冲研磨垫的反作用力，由于所述弹簧MI弹性好且能承受较大舒张阻力，因此，所述弹簧241不易被损坏；在所述弹簧241的弹力作用下，所述基座22与所述托盘23之间有一间隙25，参见图5，较佳地，所述托盘23顶端的中心设有凸起232，所述基座22底端的中心设有凹槽223， 所述凹槽223与所述凸起232相匹配，所述凸起232卡在所述凹槽223内，所述凹槽223与所述凸起232用作所述基座22与所述托盘23的运动接触点，可增大所述基座22与所述托盘23之间的静摩擦力，使所述基座22和所述托盘23在研磨制程中能更好地一起跟随所述旋转杆21旋转;较佳地，所述凸起232呈半球形，所述凹槽223呈半球形。当然，在本实用新型其它实施例中，所述凸起232的形状还可以是凸球形等其它形状，相应地所述凹槽223也可作适当变换。参见图6，进一步地，所述插销231为圆柱体，所述基座22上设有插销孔222，所述插销231的一端固定设置在所述托盘23的顶端，所述插销231的另一端穿过所述插销孔222，从所述基座22的上方伸出。 本实施例的研磨垫修整器中，所述旋转杆21直接安装在所述基座22上，所述旋转杆21施加的下压力直接作用在所述基座22上，由于所述基座22比较结实，因此，所述基座 22不会被所述旋转杆21施加的下压力压坏；所述托盘23与所述基座22弹性连接，所述托盘23与所述基座22之间的弹力可缓冲研磨垫的反用力，避免研磨垫的反作用力对所述旋转杆21产生影响，而且所述托盘23与所述基座22之间的弹力承受力强，不易损坏，使得本实施例的研磨垫修整器结实牢固。 本实施例的研磨垫修整器结实牢固可避免研磨制程中研磨垫修整器突然损坏带来的危险，减少制造成本，也节省了研磨制程中因更换损坏的研磨垫修整器而浪费的时间， 从而有利于提高工作效率。
权利要求1.一种研磨垫修整器，包括旋转杆、基座和托盘，其特征在于，该研磨垫修整器还包括弹性连接件，所述旋转杆固定连接在所述基座的一端，所述托盘通过所述弹性连接件弹性连接在所述基座的另一端。
2.如权利要求1所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述托盘上设有插销，所述插销穿过所述基座，从所述基座的上方伸出。
3.如权利要求2所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述插销为圆柱体。
4.如权利要求2或3所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述插销均勻分布在同一圆周上。
5.如权利要求1所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述弹性连接件均勻分布在同一圆周上。
6.如权利要求1所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述弹性连接件包括螺钉和弹簧，所述螺钉包括螺杆和螺帽，所述螺帽设置在所述螺杆的一端，所述弹簧套设在所述螺杆上；所述基座设有孔，所述螺杆未设有螺帽的一端穿过该孔与所述托盘螺纹连接，所述弹簧的一端与所述螺帽连接，所述弹簧的另一端与所述孔连接。
7.如权利要求6所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述孔设置在所述基座的边缘上。
8.如权利要求1所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述基座与所述托盘之间有一间隙，所述托盘顶端的中心设有凸起，所述基座底端的中心设有凹槽，所述凹槽与所述凸起相匹配，所述凸起卡在所述凹槽内。
9.如权利要求8所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述凸起呈半球形，所述凹槽呈半球形。
专利摘要本实用新型的研磨垫修整器包括旋转杆、基座、托盘和括弹性连接件；所述旋转杆固定连接在所述基座的一端；所述托盘通过所述弹性连接件弹性连接在所述基座的另一端。本实用新型的研磨垫修整器既能有效缓冲研磨垫的反作用力，又结实牢固，可避免研磨制程中研磨垫修整器突然损坏带来的危险，减少制造成本，也节省了研磨制程中因更换损坏的研磨垫修整器而浪费的时间，从而有利于提高工作效率。
文档编号B24B53/12GK202123435SQ20112020003
公开日2012年1月25日 申请日期2011年6月14日 优先权日2011年6月14日
发明者顾佳文 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司