专利名称：真空设备的转轴装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空设备的转轴装置，特别是指一种用以载送一块基板的真空设备的转轴装置。
背景技术：
当一个真空溅镀设备在运作时，一块基板会被载送至一个腔体中，以依序进行如加热、镀膜、…、加热改质等各项加工处理，于后再被载送出该腔体外。有关该基板的载送手段，常见是以多根转轴分别对称设置在一个腔体的相反二个侧壁上以排成二个转轴列，通过所述二个转轴列分别承载该基板的相反二个侧缘的方式， 来达到将该基板滚送进该腔体中，或滚送出该腔体外的作用。不过，由于所述二个转轴列间的间距是固定不变的，所述二个转轴列只能用来载送特定尺寸的基板，而且，所述二个转轴列相对于该腔体的位置关系是固定的，无法进行伸缩移动，在该基板为了因应其他加工作业需求，而必须暂时脱离所述二个转轴列并被其他载具移送至该腔体内部的他处时，所述二个转轴列便可能对该基板的移动造成不便，如此势必影响到整个溅镀工序的成本与效率。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种能相对一个腔体进行轴向位移调整，以增进作业弹性度的真空设备的转轴装置。本实用新型的真空设备的转轴装置，其设置在一个容置一块基板的腔体上，并包含一个贯穿设置在该腔体的一个腔壁上且具有一根中心轴的转轴单元、一个设置在该腔体外且驱使该中心轴相对该腔体进行转动的驱转单元，以及一个设置在该腔体外且驱使该中心轴相对该腔体进行轴向位移的轴移单元，该中心轴具有一个位在该腔体中且用以承载该基板的第一端部，以及一个相反于该第一端部且位在该腔体外并能与该驱转单元连结的第二端部。本实用新型所述的真空设备的转轴装置，该轴移单元具有一个进行张合动作以夹持或松放该中心轴的第二端部的夹爪件，以及一个连结该夹爪件且驱使其带动该中心轴进行轴向位移的动力件。本实用新型所述的真空设备的转轴装置，该轴移单元还具有一个连结该夹爪件与该动力件的连接板，该动力件具有一个缸体，以及一个平行该中心轴且可伸缩动作地插伸在该缸体中的杆体，该杆体的凸出该缸体的一端连接该连接板。本实用新型所述的真空设备的转轴装置，该转轴单元的中心轴的第二端部具有一个供该轴移单元的夹爪件扣入的凹槽。本实用新型所述的真空设备的转轴装置，该转轴单元还包括一个套设并固定在该中心轴的第一端部的承载轮本实用新型的有益效果在于，通过该轴移单元驱使该中心轴相对该腔壁进行轴向位移的方式，可增进该真空设备的作业弹性度与适用性。
图1是一侧剖示意图，说明本实用新型真空设备的转轴装置的一个较佳实施例， 其安装在一个腔体的一个腔壁上；图2是取自于图1的一局部放大图；图3是一俯视图，说明该较佳实施例的一个夹爪件松放一根中心轴的一个第二端部，且该中心轴进行转动；图4是一俯视图，说明该较佳实施例的该夹爪件径向夹持该中心轴的第二端部， 以带动该中心轴进行轴向位移；以及图5是一侧视图，说明该较佳实施例的一个动力件驱使该夹爪件带动该中心轴进行轴向位移。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。如图1至图3所示，本实用新型真空设备的转轴装置的该较佳实施例，其贯穿设置在该真空设备的一个腔体1的一个腔壁11上，用以支承一块平放式的基板3的一侧并施予滚送作用。所以，实际在进行该基板3的载送时，必须通过多个对称设置在该腔体1的相反二个腔壁11上的本实用新型真空设备的转轴装置，才能使该基板3的相反二侧受到均衡支承，并平稳地予以载送，图1是显示出相对称的二个本实用新型分别支承该基板3的相反二侧的状态。该真空设备的转轴装置包含一个贯穿设置在该腔体1的该腔壁11上的转轴单元 2、一个设置在该腔壁11外的驱转单元4，以及一个设置在该腔壁11外的轴移单元5。该转轴单元2包括一个设置在该腔壁11上的外装套组21、一根穿伸在该外装套组 21中且可相对该腔壁11移动的中心轴22，以及一个承载轮23。其中，该外装套组21是由齿轮、轴承、套筒…等构件组成，用以使该中心轴22定位，且可将一道机动力传递至该中心轴22以驱使其进行转动，因该外装套组21的结构为该实用新型所属技术领域中具有通常知识者所熟知，且非本实用新型的改进技术特征，于此不予详述。另外，该中心轴22具有一个位在该腔体1中的第一端部221，以及一个相反于该第一端部221且位在该腔体1外的第二端部222，该第一端部221与该第二端部222皆凸伸出该外装套组21外，该承载轮23套设并固定在该第一端部221上，且可支承该基板3的该侧，而该第二端部222则具有一个环圈状的凹槽223。该驱转单元4主要是由一个马达41与一条传动皮带42组成，该传动皮带42可能将该马达41所输出的一道机动力传递至该转轴单元2的外装套组21，该外装套组21再将该机动力传递至该中心轴22，该中心轴22便得以相对该腔壁11进行转动，并带动该承载轮 23转动，以滚送该基板3。有关该驱转单元4的细部结构与动作机制，同样是该实用新型所属技术领域中具有通常知识者所熟知，不再详述。该轴移单元5具有一个进行张合动作以径向夹持或松放该中心轴22的第二端部 222的夹爪件51、一个能驱使该夹爪件51带动该中心轴22进行轴向位移的动力件52，以及一个连结该夹爪件51与该动力件52的连接板53。其中，该夹爪件51的爪端部位可扣入该第二端部222的凹槽223中，在本实施例，该夹爪件51是一种气动夹爪，但并不限于此；该动力件52具有一个平放式的缸体521，以及一根平行该中心轴22且可伸缩动作地插伸在该缸体521中的杆体522，该杆体522的凸出该缸体521的一端连接该连接板53，在本实施例，该动力件52是一个气压缸，但并不限于此。具体而言，如图2与图3所示，在载送该基板3时，该驱转单元4会带动该中心轴 22与该承载轮23同步同向转动，以达到滚送该基板3的作用，在这个时候，必须控制该夹爪件51外张以松放该中心轴22的第二端部222，以免该夹爪件51与该中心轴22间产生磨擦作用，影响到该中心轴22的转动顺畅度。如图4与图5所示，在需停止载送该基板3，并使该承载轮23左移(是以图中方向来说明，以下同)以脱离该基板3时，则控制该驱转单元4 (见图2)止动，让该中心轴22 与该承载轮23停止转动，另一方面，控制该夹爪件51内夹以径向夹持住该中心轴22的第二端部222，并控制该动力件52的杆体522朝左凸伸，以带动该连接板53与该夹爪件51朝左移动，便得以迫使该中心轴22相对该腔体1 (见图幻朝左轴向位移约30mm 40mm。同理地，此后，就可以控制该动力件52的杆体522朝右缩移入该缸体521中，以驱使该夹爪件 51带动该中心轴22朝右轴向位移并复原呈图2状态，并让该承载轮23得以重新支承住该基板3。因此，以分别设置在该腔体1的相反二个侧壁且相对称的二个本实用新型的真空设备的转轴装置来说，通过每一根中心轴22能相对该腔体1进行转动或轴向位移的结构， 所述二根中心轴22可带动所述二个承载轮23转动以对该基板3进行滚送，所述二根中心轴22也可带动所述二根承载轮23相向或反向移动，当所述二个承载轮23反向移动时，是让所述二个承载轮23的间距扩大，以能载送更大尺寸的基板3，或者让所述二个承载轮23 同时脱离原有的基板3，相反地，当所述二个承载轮23相向移动时，则是让所述二个承载轮 23的间距缩小，以能载送较小尺寸的基板3，或者是让所述二个承载轮23重新支承住原有的基板3，借以，可让该真空设备适用以对不同尺寸的基板3进行加工，也有助于提升将位在该腔体1中的基板3移动至不同加工作业处的顺畅度，从而能大为增进该真空设备于作业上的弹性度与适用性，并对其成本与效率产生正面影响。
权利要求1.一种真空设备的转轴装置，其设置在一个容置一块基板的腔体上，并包含一个贯穿设置在该腔体的一个腔壁上的转轴单元，该转轴单元具有一根中心轴；其特征在于该真空设备的转轴装置还包含一个设置在该腔体外且驱使该中心轴相对该腔体进行转动的驱转单元，以及一个设置在该腔体外且驱使该中心轴相对该腔体进行轴向位移的轴移单元，该中心轴具有一个位在该腔体中且用以承载该基板的第一端部，以及一个相反于该第一端部且位在该腔体外并与该驱转单元连结的第二端部。
2.根据权利要求1所述的真空设备的转轴装置，其特征在于该轴移单元具有一个进行张合动作以夹持或松放该中心轴的第二端部的夹爪件，以及一个连结该夹爪件且驱使其带动该中心轴进行轴向位移的动力件。
3.根据权利要求2所述的真空设备的转轴装置，其特征在于该轴移单元还具有一个连结该夹爪件与该动力件的连接板，该动力件具有一个缸体，以及一个平行该中心轴且可伸缩动作地插伸在该缸体中的杆体，该杆体的凸出该缸体的一端连接该连接板。
4.根据权利要求2或3所述的真空设备的转轴装置，其特征在于该转轴单元的中心轴的第二端部具有一个供该轴移单元的夹爪件扣入的凹槽。
5.根据权利要求1所述的真空设备的转轴装置，其特征在于该转轴单元还包括一个套设并固定在该中心轴的第一端部的承载轮。
6.根据权利要求4所述的真空设备的转轴装置，其特征在于该转轴单元还包括一个套设并固定在该中心轴的第一端部的承载轮。
专利摘要一种真空设备的转轴装置，其设置在一个供容置一块基板的腔体上，并包含一个贯穿设置在该腔体的一个腔壁上且具有一根中心轴的转轴单元、一个设置在该腔体外且驱使该中心轴相对该腔体进行转动的驱转单元，以及一个设置在该腔体外且驱使该中心轴相对该腔体进行轴向位移的轴移单元，该中心轴具有一个位在该腔体中且用以承载该基板的第一端部，以及一个相反于该第一端部且位在该腔体外并与该驱转单元连结的第二端部。本实用新型主要，通过该中心轴相对该腔壁进行转动或轴向位移的方式，可增进该真空设备的作业弹性度与适用性。
文档编号C23C14/34GK202144513SQ201120218628
公开日2012年2月15日 申请日期2011年6月23日 优先权日2011年6月23日
发明者张延任, 谢昆山, 郑博仁, 黄泳钊 申请人:北儒精密股份有限公司