专利名称：用于再填充蒸发器室的方法和装置的制作方法
用于再填充蒸发器室的方法和装置本发明涉及一种方法和装置，用于再填充蒸发器室，特别是连续再填充蒸发器室(Verdampferkammer)。与具有晶体硅或者多晶硅的太阳能电池相比，薄膜太阳能电池的一个优点是它们对于所用的基材和待涂覆的基材的尺寸来说有大的适应性。因此，薄膜太阳能电池也可以在玻璃板或者在柔性材料例如诸如塑料上大面积生产。用于将日光直接转化成电能的光伏层系统是充分公知的。所述层的材料和排列是这样配置的，即，使得入射辐射能够通过一种或者多种半导体层以尽可能高的辐射产率直接转化成电流。光伏和大面积层系统被称作太阳能电池。
太阳能电池在全部的情况中包括半导体材料。需要载体基材来提供足够的机械 强度的太阳能电池被称作薄膜太阳能电池。归因于物理性能和工艺操作性能，特别适于太阳能电池的薄膜系统是具有无定形的，微无定形的或者多晶的硅，碲化镉(CdTe)，砷化镓(GaAs)，或者铜铟(镓)-硫/硒(Cl (G) S)。用于薄膜太阳能电池的已知的载体基材包括无机玻璃，聚合物或者金属合金，并且取决于层厚度和材料性能，可以设计成硬质板或者软质膜。归因于广泛可利用的载体基材和简单的单片集成，可以成本有效的来生产大面积排列的薄膜太阳能电池。但是，与具有晶体硅或者多晶硅的太阳能电池相比，薄膜太阳能电池具有较低的辐射产率和较低的电效率。基于Cu(In，Ga) (S，Se)2的薄膜太阳能电池具有的电效率与多晶硅太阳能电池大致相当。Cl (G) S-薄膜太阳能电池需要在典型的P-传导性Cl (G) S-吸收剂和典型的n-传导性前电极之间有缓冲层，其通常包含氧化锌(ZnO)。该缓冲层可以在吸收剂材料和前电极之间起到电子适应作用。该缓冲层包含例如镉-硫化合物。将具有例如钥的后电极直接沉积到载体基材上。多个太阳能电池的电路被称作光伏模块或者太阳能模块。该太阳能电池电路是以已知的耐候结构来持久保护免受环境影响的。通常，将低铁钠碱玻璃和附着力促进性聚合物膜连接到太阳能电池上来形成耐候光伏模块。该光伏模块可以经由接线盒整合到多个光伏模块的回路中。将该光伏模块的回路经由已知的功率电子元件连接到公共电网上或者连接到独立的电源上。硒的沉积，特别是在CIS层部件的依次沉积中，通常是在真空进行的。当提供用于沉积的硒用完时，这需要完全中断所述方法。整个设备必须通风，冷却，硒再填充到该设备中，然后再排空和再加热。这些步骤是非常耗时的，并且在大规模生产中，需要非常大的成本，因为在任何情况中都要将蒸发过程中断相当长的时间。因为这些必需的步骤，特别是通风和冷却过程，因此连续的硒沉积是不可能的。因为蒸发装置的尺寸和硒蒸气浓度是重要的工艺参数，因此它此外不可能引入任意大量的硒到硒蒸发器室中。此外，均匀的硒蒸发速度还取决于待蒸发的硒规定的表面-体积比。W02007/077171A2公开了一种方法，用于生产CIGSS太阳能电池中的黄铜矿层。为此，将基材涂覆前体，并且与硫和硒一起置于可密封封闭的反应箱中。将该反应箱引入到RTP炉中，排空，和加热到必需的反应温度。
EP0715358A2公开了一种方法，用于生产具有黄铜矿吸收层的太阳能电池。在该方法中，通过加入Na，K或者Li来建立期望的碱金属含量。通过扩散阻挡层来防止碱金属离子另外从所述基材扩散。硒和/或硫在该方法中至少部分的经由适当的含硫或者含硒气氛来加入的。W02009/034131A2公开了一种方法，用于将硫属元素沉积到薄层中。硒作为固体存储在存储容器中，并且从这里转移到室中并且蒸发。该室在入口处具有盖子来防止硒蒸气泄漏到存储容器中。US4880960A公开了一种真空蒸发方法和用于涂覆可移动基材的装置。将待涂覆的材料经由阀门连续的从存储容器转移出来到真空室中，加热，和在这里沉积到负载于辊子上的基材上。该发明公开了用镁蒸镀碳纤维。W02009/010468A1公开了一种用于蒸发固体材料的装置。将固体材料例如硒引入到第一坩埚中并且熔融。该熔融的材料经由传输装置流入第二坩埚。在这个坩埚中，该熔融材料蒸发，并且施涂到基材上。将所述材料填充到容器中，并且填充后封闭所述容器，然 后排空，并且将该固体材料经由阀门送入第一坩埚。本发明的目标是提供一种方法，其能够连续再填充蒸发器室，而不中断蒸发，特别是硒，硫，碲和/或其混合物的蒸发。本发明的目标是根据本发明，通过权利要求I的连续再填充蒸发器室的方法和权利要求7的装置来实现的。优选的实施方案体现在从属权利要求中。本发明的装置和它们的用途体现在其他并列的权利要求中。本发明包含一种连续再填充蒸发器室的方法，其中
a.将固体材料(I)经由真空闸(19)转移到真空室(3)中，其中该真空室(3)具有仅能让液体材料(I)透过的分隔壁(28)，
b.通过真空室(3)的加热套(29)在该真空室(3)中加热所述材料(I)直至液化，和
c.经由排出口(Abfluss)(21)和连接通道(20)将所述材料(I)转移到蒸发器室(8)内的盆(9)中。本发明的用于再填充蒸发器室的方法包含可选择地，在第一步骤中，优选呈固体的材料经由供料器填充到加热的真空室中的虹吸管中。在供料器和真空室之间安装的并且加热到160°C _200°C的真空活门(Vakuumschieber)能够打开和关闭该真空室。当硒供给完成后，封闭该加热的真空活门。在该加热的真空活门封闭后，该真空室由于施加真空而具有压力P:。位于虹吸管中的材料是通过真空室中的加热器来液化的，并且根据虹吸管两端之间的压力差，可以经由连接到虹吸管端部的漏斗转移到所连接的蒸发器室的盆中。该蒸发器室以及该虹吸管的出口优选具有压力P2，其中压力P2小于在虹吸管入口的真空室中的压力P:。用于连续再填充蒸发器室的方法示意地包括可选择地下面的步骤，其中将材料经由供料器和加热的真空活门转移到加热的真空室中的虹吸管中，将材料在虹吸管中加热直至液化，并且材料是经由连接到虹吸管出口的漏斗转移到蒸发器室中的盆中。所述材料优选包括硒，硫，碘，铋，铅，镉，铯，镓，铟，铷，碲，铊，锡，锌和/或其混合物，特别优选硫，硒和/或碲，更特别优选硒。该加热的真空活门中的温度控制优选是通过连接到该真空活门上的加热的连接件和/或冷却的连接件来进行的。
该加热的真空活门的温度控制可选择地，还可以在该加热的真空活门中直接进行，优选依靠电阻加热器来进行。该加热的真空活门和/或该加热的连接件优选保持在160°C -200°C的温度。该冷却的连接件优选保持在25°C _35°C的温度；这个温度防止了固体材料在连接件上的粘附。虹吸管优选加热到200°C _250°C来液化位于虹吸管中的材料。真空室优选排空到压力P1为20mbar-lCT6mbar,优选lOmbar-O. lmbar。蒸发器室优选排空到压力P2是10_2mbar-10_7mbar。蒸发器室优选加热到200°C -300°C，优选230°C -270°C的温度。 真空室中的压力P1优选比蒸发器室中的压力P2大出至少IO1Hibar,优选102，特别优选 103mbar。本发明进一步包括一种替代性装置，用于连续再填充蒸发器室。该用于连续的再填充蒸发器室的装置包括用于材料的供料器，其具有安装到该供料器的加热的真空活门，安装到该加热的真空活门的真空室，其具有安装到该加热的真空活门的虹吸管和具有加热器，和安装到该真空室的蒸发器室，其具有安装到该虹吸管的漏斗和在漏斗下安装的蒸发盆。该装置具体包括至少一个用于优选固体材料的供料器和安装到该供料器的加热的真空活门。在该加热的真空活门上固定有真空室。在该真空室中，虹吸管连接到加热的真空活门上，并且该加热的真空活门的开口能够用来自供料器的优选呈固体的材料来再填充该虹吸管。安装在真空室中的加热器能够加热和液化位于虹吸管中的材料。在安装到真空室的蒸发器室中，漏斗连接到虹吸管的出口。漏斗连接到位于蒸发器室中的蒸发盆上。该蒸发盆能够蒸发经由漏斗引入的液体材料。虹吸管优选包含液体。该液体防止了材料蒸气从蒸发器室渗透到真空室中。该液体此外能够在该真空室和蒸发器室中设定不同的压力水平。对于提升高度，即，虹吸管的支管(Schenkel)的液体柱的高度差满足下面的等式(I)
Lh=生
P^g
⑴，
并且Ap=蒸发器室和真空室(Pa)之间的压力差，Ah=虹吸管腿部中的水平差(mm)，P =液体密度(g/cm3), g=重力常数(9. 81m/s2)。液体包括优选硒,硫,碘,秘,铅,镉,铯,镓,铟,铷,締,铭,锡,锌和/或其混合物，特别优选硒。该液体优选的熔点小于450°C和在熔点时的蒸气压力小于5mbar。该液体将真空室与蒸发器室隔绝，并且能够在两个室中设定不同的压力水平。该液体优选它的组成对应于固体材料，并且能够连续的再填充蒸发器室。加热的真空活门优选具有直径为15mm-50mm,优选30mm-40mm的开口。对于材料的渗透率是通过移位该加热的真空活门的开口来调整。该加热的真空活门优选在供料器方向之上连接到冷却的连接件上和/或在真空室方向之下连接到加热的连接件上。该冷却的连接件和/或该加热的连接件优选包括具有开口的多孔板和加热器或者冷却器，机械支座(Gegenlager)，隔板，活门和活门罩。该活门罩和活门在外部安装到冷却的连接件和/或加热的连接件。活门是经由活门罩上的钻孔和连接件而连接到连接件内部空间中。多孔板和隔板取决于活门的位置，能够是材料可透过的或者不可透过的以及设置真空或者对相邻的连接件通风。活门优选直接连接到隔板上。当隔板的开口和多孔板的开口彼此叠置排列时，该排列是所述材料可透过的。此外，隔板中的开口和多孔板中的开口不具有共同的覆盖面积；因此，所述排列是材料不能透过的。冷却器和/或加热器优选以冷却回路或者电阻加热器的形式位于多孔板和/或隔板上，特别优选大面积包围着多孔板的开口和/或隔板开口。由多孔板和隔板制成的排列优选是以相对于材料引入的方向90°角来布置的。本发明进一步包括一种用于连续再填充蒸发器室的装置
d.用于固体材料的真空闸，
e.安装到该真空闸的真空室，其中该真空室具有仅仅液体材料能够透过的分隔壁，
f.蒸发器室中的连接通道，该连接通道安装在分隔壁后面的真空室，
g.该真空室和连接通道的加热套，和
h.在连接通道上的可切换的冷却装置。该装置包括用于固体材料的真空闸和安装到该真空闸的真空室。原则上，可以使用任何类型的锁装置来将固体材料转移到蒸发室。该锁装置必须对于大气压和蒸发器室中的真空之间的压力差是稳定的。该真空闸优选包括冷却的连接件，加热的真空活门和/或加热的连接件。该真空室具有分隔壁。该分隔壁优选在真空室底部具有狭缝，其仅仅允许液体材料透过。当真空室中的分隔壁固定焊接在其中时，这种变体表现得恰如一个虹吸管，仅仅刚好在底部具有穿孔，并且连接通道高于这个穿孔(参见图6)。分隔壁两侧的压力平衡必须这样来控制，即，在液体材料过热和可能蒸发的情况中，不发生材料明显不受控的传输到该连接通道中的情况。可选择的，该分隔壁可以配置成液体材料能够透过的多孔壁。小固体粒子的通过在上下文中是没有问题的。真空室上连接进入蒸发器室的连接通道。分隔壁将蒸发器室的填充区域与连接通道连接到其上的真空室区域分开。加热套包围着该真空室和连接通道。该加热套优选是以加热浴的形式，特别优选可循环加热浴的形式来使用的。可切换的冷却装置连接到该连接通道上。该可切换的冷却装置优选以管子的形式在连接通道周围局部的布置。这里，措词“局部”仅仅指的是连接通道的部分区域，优选是连接通道表面的1%_30%，特别优选2%-8%。当接通冷却液流量时，该连接通道在可切换的冷却装置的区域被冷却，并因此引起液体材料的冻结。该冻结的材料将真空室相对于蒸发器室封闭掉。当关闭冷冻液流量时，该材料重新变成液体，并且真空室经由连接通道直接连接到蒸发器室上。该可切换的冷却装置还可以作为可以是局部关闭的加热套使用。在这种情况中，用于可循环加热浴的“旁路”确保了特定位置上的温度的降低和液体材料的冻结。该加热套优选包含加热液体，优选耐温矿物油和/或硅油。该加热套优选具有填充装置和排出装置(Ausfiillvorrichtung)。该填充装置和排出装置优选是管状的，并且连接到泵上，优选连接到油泵上。泵能够使得加热液体在加热套中循环。在150°C _350°C范围的耐热容器中，该加热液体优选直接在真空室和连接通道周围流动，并因此能够恒温控制。该加热套能够(甚至强的)从外面在分隔壁区域供热，来加速作为固体填充的材料在该分隔壁区域中液化。该真空室，连接通道，填充装置和/或排出装置优选包括由瓷漆和/或特氟隆制成的覆层。该加热套优选包括螺旋板。螺旋板特别优选的布置在加热套中的连接通道区域中，并且能够另外的加热该连接通道。该螺旋板甚至能够用于液化启动冷却时存在于可切换的冷却装置的区域中的固体材料。该分隔壁包括优选金属或者碳，特别优选石墨。该分隔壁也可以由特氟隆制成。该分隔壁还可以配置成网状或者蜂窝形式；开口优选这样配置，即，它们截留了固体材料，并且能够透过液体材料。该冷却装置优选包含冷却剂。该冷却剂优选经由致冷器和循环泵来泵送穿过冷却装置。该冷却剂优选包含有机和/或无机溶剂，优选二醇，乙二醇，和/或水或者冷气，优选
二氧化碳或者氮气。本发明进一步包括将本发明的装置用于连续再填充蒸发器室，该蒸发器室用于 硫，硒，碲和/或其混合物。本发明进一步包括所述装置在薄膜太阳能电池生产中用于连续再填充硒蒸发器室的用途。本发明在下面参考附图
来详细解释。该附图纯粹是示意性的，而非真实尺寸。附图绝非限制本发明。它们表不了
图I是本发明装置的一种优选的实施方案的横截面图，
图2是冷却/加热装置(15)的各个部件示意图，
图3是本发明装置的一种可选择的实施方案的横截面图，
图4是本发明方法的一种优选的实施方案的流程图，
图5是本发明装置的另外一种优选的实施方案的横截面图，和 图6是图3所示内容的一种变体。图I表示了本发明的装置的一种优选的实施方案的横截面图。将硒⑴作为材料(I)经由供料器(6)填充到本发明的装置中，并且传送到蒸发器室(8)。为了不影响蒸发器室(8)中的真空，硒(I)向蒸发器室(8)中的添加是经由加热的真空活门(2)来进行的。本发明的该装置包含在供料器(6)之后的冷却的连接件(12)，加热的真空活门(2)和加热的连接件(13)。冷却的连接件(12)防止了固体硒⑴在填充过程中的粘附。加热的连接件(13)防止了气态硒(I)从本发明的装置中冷凝出来。连接件(12，13)是作为十字头来配置的，尺寸是210mmx210mm。冷却的连接件(12)和加热的连接件(13)包含长度为75mm的活门罩(10)以及长度为105mm的活门(11)。活门(11)可以在活门罩(10)中位移50mm的长度。活门(11)能够调控硒(I)在所述装置内部的透过性。因此，通过选择性打开或者关闭活门(11)以及连接到其上的冷却/加热装置(15)，所述装置的单个区域可以是硒可透过或者不可透过的。该加热的真空活门(2)调控了所述压力，并且用于排空和通风。因此，该真空室(3)可以在冷却的连接件(12)，加热的真空活门(2)和加热的连接件(13)在蒸发器室(8)方向上封闭时排空。冷却/加热装置(15)的运行模式在图2中解释。两个连接件(12/13)调控或者阻挡了硒⑴的透过性，并且它们的温度是经由冷却/加热装置(15)来控制的。加热的真空活门⑵调控所述压力。在通过加热的连接件(13)之后，硒⑴经由供料通道(16)到达真空室(3)中的虹吸管⑷中。真空室(3)可以经由连接件(18)排空。加热器(5)加热了位于虹吸管⑷中的硒(I)。硒⑴的液柱(17)的高度来自于真空室(3)和连接的蒸发器室(8)之间的压差。该液柱的高度可以通过观察窗(14)来监控。虹吸管⑷经由蒸发器室⑶中的漏斗(7)连接到盆(9)上，用于蒸发硒(I)。该用于连续再填充蒸发器室的装置可选择地包含(未示出)
a.用于固体材料(I)的真空闸(19)，
b.安装到该真空闸(19)的真空室(3)，其中该真空室(3)具有仅能让液体材料(I)透过的分隔壁(28)，
c.蒸发器室(8)中的连接通道(20)，该连接通道安装到分隔壁(28)后面的真空室
⑶，
d.该真空室(3)和连接通道(20)的加热套(29)，和
e.在连接通道(20)上的可切换的冷却装置(24)。虹吸管⑷包含液体,优选硒,硫,碘,秘,铅,镉,铯,镓,铟,铷,締,铭,锡,锌和/或其混合物，特别优选包含硒。冷却的/加热的连接件(12/13)和/或加热的真空活门⑵具有直径为15mm-50mm,优选 30mm-40mm 的开口(15d)。加热的真空活门⑵连接到冷却的连接件(12)上面和/或加热的连接件(13)下面。冷却的连接件(12)和/或加热的连接件(13)包括多孔板(15c)，具有开口(15b)和加热器/冷却器(15f)，机械支座(15a)，隔板(15e)，活门(11)和活门罩(10)。图2表示了处于半封闭状态的冷却/加热装置(15)的示意图。多孔板(15c)布置在机械支座(15a)上。多孔板(15b)中的开口被冷却器或者加热器(15f)所包围。隔板(15e)(具有在该隔板上的开口(15d))调控冷却/加热装置(15)对于所述材料(I)的透过性。当多孔板(15b)的开口和隔板(15d)的开口彼此叠置排列时，冷却/加热装置(15)是可透过的，并因此当隔板(15e)封闭位于多孔板(15b)的开口上时是不可透过的。如图I所示，冷却/加热装置(15)优选以相对于材料(I)填充方向大约90°角来布置，并且多孔板(15b)中的开口垂直于材料(I)的填充方向布置。隔板(15e)在多孔板(15c)上的位置是经由图I所示的包含活门(11)和活门罩(10)的布置来调控的。活门(11)优选直接连接到隔板(15e)上。图3表示了本发明装置的一种优选的可选择的实施方案的横截面图。硒⑴经由真空闸(19)进入真空室(3)中。真空室(3)被分隔壁(28)分成两个区域(3a/3b)。在真空闸(19)之后，所填充的硒⑴位于真空室(3)的填充区域(3a)中的分隔壁(28)前面。分隔壁(28)仅仅是液体硒能透过的。加热套(29)加热和液化了硒(I)，以使得硒(I)能够通过分隔壁(28)，并且到达流出区域(3b)。加热套(29)优选包括由金属，优选铁，铬钒铝，钛和/或不锈钢制成的外壳，在其中布置着加热液体(25)和包含真空室(3)和连接通道(20)的布置。加热套(29)包括填充装置(26)和排出装置(27)，经由其加热液体(25)例如高温稳定的硅油能够在加热套(29)内循环。液体硒(I)经由排出口(21)进入连接通道(20)和进入蒸发器室(8)(未示出)中。一个连接到连接通道(20)上的可切换的冷却装置(24)在接通冷却液流量(22)时能够固化连接通道(20)中的液体硒(I)和密封该连接通道(20)。连接到连接通道(20)区域中的加热套(29)上的螺旋板(23)驱动了加热液体(25)的流动，其在冷却装置(24)关闭时重新加热连接通道(20)。螺旋板(23)还可以用于液化位于可切换的冷却装置(24)区域中的固体硒(I)。图4表示了本发明的方法的一种优选的实施方案的流程图。在第一步中，固体硒(I)经由供料器(6)转移到加热的真空室(3)中的虹吸管⑷中。连接到供料器(6)和真空室(3)之间的并且加热到160°C -200°C的真空活门(2)能够打开和封闭真空室(3)。当硒供料完成后，封闭该加热的真空活门(2)。在该加热的真空活门(2)封闭后，真空室(3)由于施加真空而具有5mbar的压力。位于虹吸管⑷中的硒⑴是通过真空室(3)中的加热器(5)在230°C液化的，并且经由连接到虹吸管(4)端部的漏斗(7)转移到所连接的蒸发器室⑶的盆(9)中。蒸发器室⑶中和虹吸管⑷出口处优选的压力是10_5mbar和温度是 230 0C o图5表示了本发明的装置的另外一种优选的实施方案的横截面图。该装置的结构对应于图I所示，区别在于在供料器(6)和冷却的连接件(12)之间，布置有第一冷却的连接件(31)，冷却的真空活门(30)，第二冷却的连接件(32)和中间连接件(33)。
图6表示了图3的一种可选择的实施方案。当真空室(3)中的分隔壁(28)固定焊接在其中时，这种变体表现得恰如一个虹吸管，仅仅刚好在底部具有穿孔(34)，并且连接通道(20)高于这个穿孔(参考图6)。分隔壁(28)两侧的压力平衡必须这样来控制，即，在液体材料过热和可能蒸发的情况中，在连接通道中不发生强的不受控的材料传输。
实施例连续的硒再填充可以例如如下来进行。I.固体硒(I)填入供料器(6)中(I atm,30°C,300g,每 5min)
2.中间连接件(33)，第二冷却的连接件(32)，和冷却的连接件(12)从5mbar充气到I
atm03.打开第一冷却的连接件(31)中冷却的真空活门(30)和活门(11)。4.打开第二冷却的连接件(32)中的活门(11)，以使得固体硒⑴能够落入真空闸中，其由第二冷却的连接件(32)，中间连接件(33)和冷却的连接件(12)组成。固体硒(I)穿过冷却的真空活门(30)，穿过第二冷却的连接件(32)和穿过中间连接件(33)落到冷却的连接件(12)中的活门(11)上(Iatm和30°C，在每种情况中300g，每5min)。5.关闭第一冷却的连接件(31)中的活门(11)和关闭第二冷却的连接件(32)中的冷却的真空活门(30)和活门(11)。6.将中间连接件(33)，第二冷却的连接件(32)和冷却的连接件(12)与固体硒
(I)一起从Iatm排空到5mbar。7.打开第一加热的连接件(13)中的加热的真空活门⑵和活门(11)。8.打开冷却的连接件(12)中的活门(11)，以使得固体硒⑴能够落入虹吸管(4)中。固体硒(I)(在每种情况中300g，每5min)穿过加热的真空活门(2)和穿过加热的连接件(13)在160°C落入处于230°C和5mbar的虹吸管⑷中。9.用加热器(5)加热虹吸管⑷中的固体硒(1)，直到它在230°C和5mbar熔融。10.液体硒(I)从虹吸管⑷穿过加热的漏斗(7)连续流入处于10 mbar和230°C的蒸发器室(8)的盆(9)中。
附图标记列表
(1)材料/硒
(2)加热的真空活门
(3)真空室
(4)虹吸管
(5)加热器
(6)供料器
(7)漏斗 (8)蒸发器室
(9)盆
(10)活门罩
(11)活门
(12)冷却的连接件
(13)加热的连接件
(14)观察窗
(15)冷却/加热装置 (15a)机械支座 (15b)多孔板上的开口 (15c)多孔板
(15d)隔板中的开口 (15e)隔板
(15f)冷却器/加热器
(16)供料通道
(17)液柱高度
(18)连接件
(19)真空闸
(20)连接通道
(21)排出口
(22)冷却液
(23)螺旋板
(24)冷却装置
(25)加热液体
(26)填充装置
(27)排出装置
(28)分隔壁
(29)加热套
(30)冷却的真空活门
(31)第一冷却的连接件
(32)第二冷却的连接件(33)中间连接件，和
(34)分隔壁中的开口。 ·
权利要求
1.连续再填充蒸发器室的方法，其中 a.将固体材料(I)经由真空闸(19)转移到真空室(3)中，其中该真空室(3)具有仅能让液体材料(I)透过的分隔壁(28)， b.通过真空室(3)的加热套(29)在该真空室(3)中加热所述材料(I)直至液化，和 c.经由排出口(21)和连接通道(20)将所述材料(I)转移到蒸发器室(8)内的盆(9)中。
2.根据权利要求I的方法，其中所述材料(I)优选包含硒，硫，溴，碘，铋，铅，镉，铯，镓，铟，铷，碲，铊，锡，锌和/或其混合物，特别优选硒。
3.根据权利要求I或2的方法，其中将所述真空室(3)温度调节到160°C-250°C。
4.根据权利要求1-3之一的方法，其中将所述真空室(3)排空到压力P1为20mbar_lCT6mbar,优选 lOmbar-O. lmbar。
5.根据权利要求1-4之一的方法，其中将所述蒸发器室(8)排空到压力P2为102mbar_10 7mbar0
6.根据权利要求1-5之一的方法，其中将所述蒸发器室(8)加热到200°C-30(TC，优选2300C _270°C的温度。
7.用于连续再填充蒸发器室的装置，其包含 a.用于固体材料(I)的真空闸(19)， b.安装至该真空闸(19)的真空室(3)，其中该真空室(3)具有仅能让液体材料(I)透过的分隔壁(28)， c.在蒸发器室(8)中的安装到分隔壁(28)后面的真空室(3)的连接通道(20)， d.该真空室(3)和连接通道(20)的加热套(29)，和 e.在连接通道(20)上的可切换的冷却装置(24)。
8.根据权利要求7的装置，其中所述分隔壁(28)优选包含金属或者碳，特别优选石墨。
9.根据权利要求7或者8的装置，其中所述分隔壁(28)配置成网状或者蜂窝形式。
10.根据权利要求7-9之一的装置，其中所述加热套(29)包括螺旋板。
11.根据权利要求7-10之一的装置，其中所述加热套(29)优选包含加热液体，优选耐温矿物油和/或硅油。
12.根据权利要求7-11之一的装置，其中所述真空室(3)，连接通道(20)，填充装置(26)和/或排出装置(27)优选包含由瓷漆和/或特氟隆制成的覆层。
13.根据权利要求7-12之一的装置用于连续再填充用于硫，硒，碲和/或其混合物的蒸发器室的用途。
14.根据权利要求13的装置的用途，其用于在薄膜太阳能电池的生产中连续再填充硒蒸发器室。
全文摘要
一种连续再填充蒸发器室的方法，其中a.将固体材料(1)经由真空闸(19)转移到真空室(3)中，其中该真空室(3)具有仅能让液体材料(1)透过的分隔壁(28)；b.通过真空室(3)的加热套(29)在该真空室(3)中加热所述的材料(1)至液化；和c.经由排出口(21)和连接通道(20)将所述材料(1)转移到蒸发器室(8)内的盆(9)中。
文档编号C23C14/56GK102812151SQ201180016279
公开日2012年12月5日 申请日期2011年3月23日 优先权日2010年3月26日
发明者R.博格, A.雅恩克, T.格策 申请人:法国圣戈班玻璃厂