专利名称：盖体的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种盖设于容器上方的盖体，尤其涉及一种在离子辅助蒸镀中使用的盖体。
背景技术：
在离子辅助蒸镀镀膜工艺中，一般将膜料放入钳锅内，并经由电子束打击坩锅内的膜料表面，使其受热熔融后冷却形成平整表面，以供后续真空镀膜使用。膜料在熔化或镀膜过程中常常会喷出微小颗粒(副产物)，通常会先用盖体遮住使其不喷发到被镀基材上。待稳定后再打开盖体，此时膜料被喷发至被镀基材上成膜。当镀膜时间太长时，盖体上的膜层由于附着太厚而发生脱膜。脱落的膜层掉落到钳锅内而被电子束再次蒸发至被镀基材上，就会造成镀膜的质量降低。同时在镀膜完成后，由于大量水汽灌入腔体，盖体上的膜层吸收水汽后容易脱落至钳锅内，造成钳锅的清洗困难。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种有效防止膜层脱落回钳锅的盖体。本发明提供一种盖体，其用于盖在一装有膜料的容器上，该盖体包括与容器相对的第一端面以及沿着径向延伸的若干分流道，该第一端面上开设一容置腔，该容置腔内固定有一遮挡网，所述遮挡网用于附着从所述容器中喷出的颗粒物，若干分流道用于容置一定温度范围的液体，从而保持该盖体处于预定的温度范围内。
使用本发明之盖体能够有效附着从所述容器中喷出的颗粒物并形成膜层，同时能够避免膜层脱落会容器内，进而保证基板镀膜的品质。
图1为本发明一较佳实施方式盖体的立体图。图2为图1所不盖体盖设于某一容器上方的立体图。图3为图1所示盖体II1-1II方向上的剖面视图。图4为图1所示盖体IV-1V方向上的剖面视图。主要元件符号说明_
权利要求
1.一种盖体，用于盖在一装有膜料的容器上，该盖体包括与容器相对的第一端面以及沿着径向延伸的若干分流道，该第一端面上开设一容置腔，该容置腔内固定有一遮挡网，所述遮挡网用于附着从所述容器中喷出的颗粒物，若干分流道用于容置一定温度范围的液体，从而保持该盖体处于预定的温度范围内。
2.根据权利要求1所述的盖体，其特征在于:所述盖体为一体成型。
3.根据权利要求1所述的盖体，其特征在于:所述盖体还包括与第一端面背对的第二端面，该第二端面凸起有一第一接头，其中第一接头上开设有与若干分流道连通的进口流道。
4.根据权利要求3所述的盖体，其特征在于:所述盖体还开设有一中间孔，该中间孔分别连通上述进口流道和若干分流道。
5.根据权利要求3所述的盖体，其特征在于:所述盖体还包括连接上述若干分流道的环流道。
6.根据权利要求5所述的盖体，其特征在于:所述盖体还包括位于第一端面和第二端面之间的侧面，该侧面上凸起有一第二接头，该第二接头上开设有与环流道连通的出口流道。
7.根据权利要求6所述的盖体，其特征在于:所述侧面还包括有一连接部。
全文摘要
本发明提供一种盖体，其用于盖在一装有膜料的容器上，该盖体包括与容器相对的第一端面以及沿着径向延伸的若干分流道，该第一端面上开设一容置腔，该容置腔内固定有一遮挡网，所述遮挡网用于附着从所述容器中喷出的颗粒物，若干分流道用于容置一定温度范围的液体，从而保持该盖体处于预定的温度范围内。本发明之盖体能够有效附着从所述容器中喷出的颗粒物并形成膜层，同时能够避免膜层脱落会容器内，进而保证基板镀膜的品质。
文档编号C23C14/30GK103205717SQ201210009540
公开日2013年7月17日 申请日期2012年1月13日 优先权日2012年1月13日
发明者裴绍凯 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司