一种制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具及其使用方法
【专利摘要】本发明公开了一种制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具及其使用方法，用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具包括边框架及在所述边框架上的开口，其特征在于,所述边框架包括两组相对共四条对边并在四条对边中央形成中空区域，所述开口为位于四条所述对边上的长条开口或离散开口；所述对边由内边和外边构成，所述开口位于所述内边和所述外边之间。本发明提供的用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具可以将掩模板四边联接并固定使其具有一定的张力从而使其表面平整，在经过相应的处理线时，不出现形变，提高产品质量，减少报废率，节约生产成本，提升效率。
【专利说明】一种制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具及其使用方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及OLED蒸镀用掩模板制造领域，尤其涉及一种用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具。
[0002]
【背景技术】
[0003]有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,简写为0LED)是继阴极射线管(Cathode-ray Tube,简写为 CRT)、液晶显不(Liquid Crystal Display,简写为 LCD)之后的第三代显示技术，因其可以自发光不需要背光灯，所以可视范围宽(大于170° )，而且还具有低功耗、低成本、使用温度范围广(-40°~80° )等突出优点，由此决定OLED成为未来最具前途的产品之一。
[0004]制备高质量OLED屏的一种核心技术是采用高精密OLED掩模板在ITO玻璃基板上蒸镀R、G、B三原色的有机材料制得，蒸镀工序用到的掩模板的质量直接影响到OLED屏的质量，所以制造蒸镀用掩模板的每一个环节都很重要。通常蒸镀用掩模板的制作工序包括:前处理一贴膜一曝光一显影一蚀刻(或电铸)一脱膜一固定等工序，其中显影、蚀刻、前处理工序中掩模板需要经过相应的处理线(显影处理线、蚀刻处理线、前处理线等)，由于掩模板非常薄(通常为50 μ m左右)，在过处理线过程中由于掩模板处于一定程度的自由状态，极易发生形变，掩膜板常常因此而报废，有鉴于此，有必要发明一种工具，解决掩模板因过处理线变形报废的问题。
[0005]
【发明内容】
[0006]有鉴于此，需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。本发明提供了一种用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具。
[0007]所述用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具，包括边框架及在所述边框架上的开口，其特征在于，所述边框架包括两组相对共四条对边并在四条对边中央形成中空区域，所述开口为位于四条所述对边上的长条开口或离散开口 ；所述对边由内边和外边构成，所述开口位于所述内边和所述外边之间。
[0008]根据本发明【背景技术】中对现有技术所述，在通常蒸镀用掩模板的制作工序包括:前处理一贴膜一曝光一显影一蚀刻(或电铸)一脱膜一固定等工序，其中显影、蚀刻、前处理工序中掩模板需要经过相应的处理线(显影处理线、蚀刻处理线、前处理线等)，由于掩模板非常薄(通常为50 μ m左右)，在过处理线过程中由于掩模板处于一定的自由状态，极易发生形变，导致产品质量差，变形严重的甚至会导致产品报废，掩膜板常常因此而报废；本发明提供的用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具可以将掩模板四边进行联接并固定使其具有一定的张力从而使其表面平整，在经过相应的处理线时，不出现形变，减少报废率，节约生产成本，提升效率。
[0009] 另外，根据本发明公开的用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具还具有如下附加技术特征:所述边框架是一体成型结构或四条独立所述对边拼接形成的结构。
[0010]所述边框架可以是一体加工成型结构，使得整体精度更高，误差更小；在进行精密加工过程中，能够达到更高的精度要求,但此方法的成本相对要高；所述边框架还可以是由四条独立所述对边拼接形成的结构，从此，使得边框架加工更加简便，通过定位机构的精确定位及牢固的固定连接方式进行连接也可达到相同的效果。
[0011]进一步地，所述边框架形成的中空区域是多边形或者圆形 优选地，所述多边形为矩形。
[0012]优选地，所述多边形夹角处为过渡曲线。
[0013]进一步地，定位机构可以是定位销形成的定位机构，或者是定位边形成的定位机构。
[0014]进一步地,所述拼接结构为铆接或粘结或螺钉连接结构。
[0015]优选地，所述拼接结构是粘结结构。
[0016]所述内边宽度为大于等于1cm，且可以根据情况进行不同的宽度设计，即可以在上述范围内进行扩展，但不能遮挡掩模板上的图形区域；所述内边宽度越大，可以支撑所述掩模板的部位越多，越能避免所述掩模板因自身重力造成的悬空部分下垂所引起的相应变形，减少加工过程中成品的报废率，提高产品质量，减少产品的报废率。
[0017]所述外边宽度为大于等于lcm，且可以根据情况进行不同的宽度设计，即可以在上述范围内进行扩展，所述 内边和外边宽度的增加，一方面增加了整体的重量，另一方面增加了所述辅助治具与处理线传输机构的接触面积，增加了传送过程中的稳定性，减少传送过程中可能出现的位置变动形成新的误差来源。
[0018]所述用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具还包括与所述内边框相连的横梁和竖梁，所述辅助治具可以只有横梁或只有竖梁。
[0019]所述横梁和竖梁的厚度可以和所述辅助治具厚度相同，或者小于所述辅助治具的厚度，增加的所述横梁、竖梁也增加了对所述掩模板的支撑，减少所述掩模板因自身重力造成的悬空部分下垂所引起的相应变形。所述横梁和竖梁的形状也不能遮挡住所述掩模板的图形区域。
[0020]优选地,所述横梁和所述竖梁相互垂直。
[0021]本发明还提供了相应的用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具使用方法，其特征在于包括:
S1:对位步骤，将掩模板贴紧放置在所述辅助治具表面，将所述掩模板的图形区域对应所述辅助治具上的所述中空区域以及将所述掩模板的边孔区域对应所述辅助治具上的所述长条开口或所述离散开口，并确认所述掩模板图形区域和所述边孔区域不被遮挡；
S2:固定步骤，将所述掩模板的四边紧密连接在所述辅助治具的所述外边上。
[0022]另外，根据本发明公开的用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具使用方法还具有如下附加技术特征:
所述辅助治具使用方法还包括在对位步骤之后且固定步骤之前的绷紧步骤，所述绷紧步骤中，将所述掩模板四边施力使所述掩模板表面平整。
[0023]进一步地，所述固定步骤中，所述连接是使用粘结材料进行连接或使用固体连接部件进行连接。[0024]进一步地，所述对位步骤中，将所述掩模板和所述辅助治具一对一进行对位，或是所述掩模板和所述辅助治具一对二进行对位，即将所述掩模板置于两块所述辅助治具之间。两块辅助治具的同时使用，进一步促进了掩模板的表面平整，减少了加工过程中的形变，减少了报废率。
[0025]本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
[0026]【专利附图】
【附图说明】
[0027]本发明的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中:
图1是一种用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具平面结构示意图；
图2是另一用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具平面结构示意图；
图3是本发明的一种外边加宽的实施例平面结构示意图；
图4为本发明的一种具有横梁、竖梁的实施例平面结构示意图；
图5为掩模板固定到辅助治具后掩模板一侧的示意图；
图6为将掩模板固定到辅助治具后辅助治具一侧的平面结构示意图；
图7是本发明辅助治具上开口为离散开口的实施例示意图；
图8是本发明辅助治具上没`有长条开口的实施例示意图；
图9是本发明辅助治具上只有一组对边上设置长条开口的实施例示意图；
图1中，11为边框架；12为长条开口 ；111、112为对边；1111、1121为外边；1112、1122为内边；A为中空区域；
图4中，113为横梁；114为竖梁；
图5中，21为掩模板；211为图形区域；212为边孔；31为粘接部件。
[0028]【具体实施方式】
[0029]下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。
[0030]在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“底”、“顶”、“前”、“后”、“内”、“外”、“横”、“竖”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
[0031]在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“联接”、“连通”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，一体地连接，也可以是可拆卸连接；可以是两个元件内部的连通；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
[0032]本发明的发明构思如下，通常蒸镀用掩模板的制作工序包括:前处理一贴膜一曝光一显影一蚀刻(或电铸)一脱膜一固定等工序，其中显影、蚀刻、前处理工序中掩模板需要经过相应的处理线(显影处理线、蚀刻处理线、前处理线等)，由于掩模板非常薄(通常为
50μ m左右)，在过处理线过程中由于掩模板处于一定的自由状态，极易发生形变，掩膜版常常因此而报废，本发明提供的用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具通过对预经处理线(显影处理线、蚀刻处理线、前处理线等)加工的掩模板进行施力绷紧固定保证了掩模板表面平整无变形，减少报废率，节约生产成本，提升效率。
[0033]
下面将参照附图来描述本发明的用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具，其中图1是一种用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具平面结构示意图；图2是另一用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具平面结构示意图；图3是本发明的一种外边加宽的实施例平面结构示意图；图4为本发明的一种具有横梁、竖梁的实施例平面结构示意图；图5为掩模板固定到辅助治具后掩模板一侧的示意图；图6为将掩模板固定到辅助治具后辅助治具一侧的平面结构示意图；图7是本发明辅助治具上开口为离散开口的实施例示意图；图8是本发明辅助治具上没有长条开口的实施例示意图；图9是本发明辅助治具上只有一组对边上设置长条开口的实施例示意图。
[0034]根据本发明的实施例，如图1_4、7所示，所述用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具包括边框架11及在所述边框架11上的开口 12，所述边框架11包括两组相对共四条对边111、112并在四条对边中央形成中空区域A所述开口为位于四条所述对边上的长条开口 12或离散开口 120 ;所述对边111、112由内边1112、1122和外边1111、1121构成，所述开口位于所述内边1112、1122和所述外边1111、1121之间。
[0035]另外，根据本发明公开的用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具的还具有如下附加技术特征:` 根据本发明的一些实施例，所述边框架11是一体成型结构或四条独立所述对边111、112拼接形成的结构，如图1_4、7所示。
[0036]所述边框架11可以是一体加工成型结构，使得整体精度更高，误差更小，在进行精密加工过程中，能够达到更高的精度要求,但此方法的成本相对要高；所述边框架11还可以是由四条独立所述对边111、112拼接形成的结构，由此，使得边框架11加工更加简便，通过定位机构的精确定位及牢固的固定连接方式进行连接也可达到相同的效果。
[0037]根据本发明的一些实施例，所述边框架形成的中空区域A是多边形或者圆形，图1-4、7所示。
[0038]优选地，所述多边形为矩形。
[0039]优选地，所述多边形夹角处为过渡曲线。
[0040]根据本发明的一些实施例，定位机构可以是定位销形成的定位机构，
可选地，定位机构是设置在对边111、112上的定位边形成的定位机构。
[0041]根据本发明的一些实施例，所述拼接结构为铆接或粘结或螺钉连接结构。
[0042]优选地，所述拼接结构是粘结结构。
[0043]根据本发明的实施例，如图3、4所示，所述内边1112、1122宽度为大于等于lcm，且可以根据情况进行不同的宽度设计，即可以在上述范围内进行扩展，但不能遮挡掩模板21上的图形区域211 ;所述内边1112、1122宽度越大，可以支撑所述掩模板21的部位越多，越能避免所述掩模板21因自身重力造成的悬空部分下垂所引起的相应变形，减少加工过程中成品的报废率，提高产品质量。
[0044]根据本发明的实施例，如图3、4所示，所述外边1111、1121宽度为大于等于1cm，且可以根据情况进行不同的宽度设计，即可以在上述范围内进行扩展，所述内边1112、1122和外边1111、1121宽度的增加，一方面增加了整体的重量，另一方面增加了所述辅助治具与处理线传输机构的接触面积，增加了传送过程中的稳定性，减少传送过程中可能出现的位置变动形成新的误差来源。
[0045]根据本发明的实施例，如图4所示，所述用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具还包括与所述内边1112、1122相连的横梁113和竖梁114，所述辅助治具可以只有横梁113或只有竖梁114。[0046]所述横梁113和竖梁114的厚度可以和所述辅助治具厚度相同，或者小于所述辅助治具的厚度，增加的所述横梁113、竖梁114也增加了对所述掩模板21的支撑，减少所述掩模板因自身重力造成的悬空部分下垂所引起的相应变形。所述横梁和竖梁的形状也不能遮挡住所述掩模板21的图形区域211。
[0047]优选地,所述横梁113和所述竖梁114相互垂直，如图4所示。
[0048]根据本发明的一些实施例，所使用的辅助治具可以不带长条开口，如图8所示，其边框为3cm，可以相应的调整边框的宽度，以及适当的添加横梁或竖梁，其原因在于当模板过前处理线(主要是清洗、除油污)时对边孔开口的要求不高，可以不进行清洗、除油等处理，。
[0049]根据本发明的一些实施例，当掩模板只在一组对边上设有边孔时，则对应的在辅助治具上也只在一组对边上设计长条开口，如图9所示。
[0050]本发明还提供了相应的用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具使用方法。
[0051 ] 根据本发明的实施例，包括:
51:对位步骤，将掩模板21贴紧放置在所述辅助治具表面，将所述掩模板的图形区域对应所述辅助治具上的所述中空区域A以及所述将所述掩模板的边孔区域对应所述辅助治具上的所述长条开口 12或所述离散开口 120，并确认所述掩模板21图形区域211和所述边孔区域不被遮挡；
52:固定步骤，将所述掩模板21的四边紧密连接在所述辅助治具的所述外边1111、1121 上。
[0052]另外，根据本发明公开的用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具使用方法还具有如下附加技术特征:
根据本发明的一些实施例，所述辅助治具使用方法还包括在对位步骤之后且固定步骤之前的绷紧步骤，所述绷紧步骤中，将所述掩模板21四边施力使掩模板21产生绷紧力从而使所述掩模板21表面平整。
[0053]进一步地，所述固定步骤中，所述连接是使用粘结部件31进行连接或使用固体连接部件进行连接，如图5、6所示。
[0054]进一步地，所述对位步骤中，将所述掩模板21和所述辅助治具一对一进行对位，或是所述掩模板21和所述辅助治具一对二进行对位，即将所述掩模板21置于两块所述辅助治具之间。两块辅助治具的同时使用，进一步促进了掩模板21的表面平整，减少了加工过程中的形变，减少了报废率。
[0055]任何提及“ 一个实施例”、“实施例”、“示意性实施例”等意指结合该实施例描述的具体构件、结构或者特点包含于本发明的至少一个实施例中。在本说明书各处的该示意性表述不一定指的是相同的实施例。而且，当结合任何实施例描述具体构件、结构或者特点时，所主张的是，结合其他的实施例实现这样的构件、结构或者特点均落在本领域技术人员的范围之内。
[0056]尽管参照本发明的多个示意性实施例对本发明的【具体实施方式】进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本发明原理的精神和范围之内。具体而言，在前述公开、附图以及权利要求的范围之内，可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进，而不会脱离本发明的精神。除了零部件和/或布局方面的变型和改进，其范围由所附权利要求及其等同物限定。`
【权利要求】
1.一种制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具，包括边框架及在所述边框架上的开口，其特征在于，所述边框架包括两组相对共四条对边并在四条对边中央形成中空区域，所述开口为位于四条所述对边上的长条开口或离散开口 ；所述对边由内边和外边构成，所述开口位于所述内边和所述外边之间。
2.根据权利要求1所述的用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具，其特征在于，所述边框架是一体成型结构或四条独立所述对边拼接形成的结构。
3.根据权利要求1所述的用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具，其特征在于，所述拼接结构为铆接或粘结或螺钉连接结构。
4.根据权利要求1所述的用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具，其特征在于，所述用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具还包括与所述内边框相连的横梁和竖梁。
5.根据权利要求1所述的用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具，其特征在于，所述横梁和所述竖梁相互垂直。
6.一种用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具使用方法，其特征在于，包括: S1:对位步骤，将掩模板贴紧放置在所述辅助治具表面，将所述掩模板的图形区域对应所述辅助治具上的所述中空区域以及将所述掩模板的边孔区域对应所述辅助治具上的所述长条开口或所述离散开口，并确认所述掩模板图形区域和所述边孔区域不被遮挡； S2:固定步骤，将所述掩模板的四边紧密连接在所述辅助治具的所述外边上。
7.根据权利要求6所述的用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具使用方法，其特征在于，所述辅助治具使用方法还包括在对位步骤之后且固定步骤之前的绷紧步骤，所述绷紧步骤中，将所述掩模板四边施力使所述掩模板表面平整。
8.根据权利要求6所述的用于`制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具使用方法，其特征在于，所述固定步骤中，所述连接是使用粘结部件进行连接或使用固体连接部件进行连接。
9.根据权利要求6所述的用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具使用方法，其特征在于，所述对位步骤中，将所述掩模板和所述辅助治具一对一进行对位，或是所述掩模板和所述辅助治具一对二进行对位，即将所述掩模板置于两块所述辅助治具之间。
【文档编号】C23C14/04GK103866228SQ201210525031
【公开日】2014年6月18日 申请日期:2012年12月10日 优先权日:2012年12月10日
【发明者】魏志凌, 高小平, 王海峰, 杨志龙 申请人:昆山允升吉光电科技有限公司