金属板的制造方法、金属发热体的制作方法
【专利摘要】本发明得到一种金属板的制造方法以及金属发热体，其可以在通过湿蚀刻成型具有突起的金属板的情况下，使突起的产品形状接近设计值。切口（72）的前端部（72A）的抗蚀剂偏移量，基于前端部（72A）的曲率半径，设为比直线部（72B）的抗蚀剂偏移量小。由此，可以使通过湿蚀刻而形成的切口（72）的产品形状接近设计值。
【专利说明】金属板的制造方法、金属发热体
【技术领域】
[0001]本发明涉及金属板的制造方法及金属发热体。
【背景技术】
[0002]在专利文献I中记载了下述技术，即，在金属材料表面形成抗蚀图案后，使该抗蚀图案成为掩膜，对金属材料进行蚀刻，制造蚀刻产品，在这种蚀刻处理方法中，在抗蚀图案附近的规定位置配置控制抗蚀剂，进行蚀刻。
[0003]专利文献1:日本特开平09 - 128430号公报
【发明内容】
[0004]本发明的课题，是在通过湿蚀刻成型具有圆弧状形状的金属板的情况下，得到与设计值相同的产品形状。
[0005]本发明的技术方案I所涉及的金属板的制造方法的特征在于，具有下述工序:抗蚀剂形成工序，在该工序中，在为了从金属板的板面对所述金属板进行湿蚀刻而形成前端部为圆弧状且具有从所述前端部直至基端侧以直线状延伸的直线部的切口，而在所述金属板的板面上形成包覆所述切口的抗蚀剂以使所述切口不会因湿蚀刻而被侵蚀时，基于前端部的曲率半径，在所述金属板的板面上形成所述抗蚀剂，以使得所述前端部处的所述抗蚀剂的缘部和所述前端部之间的抗蚀剂偏移量，比所述直线部处的所述抗蚀剂的缘部和所述直线部之间的抗蚀剂偏移量小；以及蚀刻工序，在该工序中，使蚀刻液作用在通过所述抗蚀剂形成工序形成有所述抗蚀剂的所述金属板上，对所述金属板进行蚀刻。
[0006]本发明的技术方案2所涉及的金属板的制造方法的特征在于，具有下述工序:抗蚀剂形成工序，在该工序中，在`为了从金属板的板面对所述金属板进行湿蚀刻而形成圆弧状的突起、和相对于所述突起向内侧偏离相同的量而构成且由圆弧状的前端部及从所述前端部直至基端侧位置以直线状延伸的直线部构成的切口，而在所述金属板的板面上形成包覆所述切口及所述突起的抗蚀剂以使得所述突起及所述切口不会因湿蚀刻而被侵蚀时，基于前端部的曲率半径及圆弧部的曲率半径中的至少一个，在所述金属板的板面上形成所述抗蚀剂，以使得所述前端部处的所述抗蚀剂的缘部和所述前端部之间的抗蚀剂偏移量，比所述直线部处的所述抗蚀剂的缘部和所述直线部之间的抗蚀剂偏移量小，且使得所述突起处的圆弧状的圆弧部的所述抗蚀剂的缘部和所述圆弧部之间的抗蚀剂偏移量，比所述直线部处的所述抗蚀剂的缘部和所述直线部之间的抗蚀剂偏移量大；以及蚀刻工序，在该工序中，使蚀刻液作用在通过所述抗蚀剂形成工序形成有所述抗蚀剂的所述金属板上，对所述金属板进行蚀刻。
[0007]本发明的技术方案3所涉及的金属板的制造方法的特征在于，具有下述工序:抗蚀剂形成工序，在该工序中，在为了从金属板的板面对所述金属板进行蚀刻而形成圆弧状的突起和相对于所述突起向内侧偏离相同的量而构成的圆弧状的切口，而在所述金属板的板面上形成包覆所述切口及所述突起的抗蚀剂以使得所述突起及所述切口不会因湿蚀刻而被侵蚀时，基于所述切口的曲率半径及所述突起的曲率半径中的至少一方，在所述金属板的板面上形成所述抗蚀剂，以使得所述切口处的所述抗蚀剂的缘部和所述切口之间的抗蚀剂偏移量，比所述突起处的所述抗蚀剂的缘部和所述突起之间的抗蚀剂偏移量小；以及蚀刻工序，在该工序中，使蚀刻液作用在通过所述抗蚀剂形成工序形成有所述抗蚀剂的所述金属板上，对所述金属板进行蚀刻。
[0008]本发明的技术方案4所涉及的金属发热体的特征在于，其具有圆弧形状，使用技术方案I至3中任一项记载的金属板的制造方法制造。
[0009]发明的效果
[0010]根据本发明的技术方案I的金属板的制造方法，与圆弧状的前端部的抗蚀剂偏移量和直线部的抗蚀剂偏移量相同的情况相比，在通过湿蚀刻成型具有圆弧状的形状的金属板的情况下，可以得到与设计值相同的产品形状。
[0011]根据本发明的技术方案2的金属板的制造方法，与圆弧状的前端部的抗蚀剂偏移量、直线部的抗蚀剂偏移量、和圆弧状的突起部的抗蚀剂偏移量相同的情况相比，在通过湿蚀刻成型具有圆弧状的形状的金属板的情况下，可以得到与设计值相同的产品形状。
[0012]根据本发明的技术方案3的金属板的制造方法，与圆弧状的前端部的抗蚀剂偏移量、和圆弧状的突起部的抗蚀剂偏移量相同的情况相比，在通过湿蚀刻成型具有圆弧状的形状的金属板的情况下，可以得到与设计值相同的产品形状。
[0013]根据本发明的技术方案4的金属发热体，与利用除了技术方案I至3中任一项记载的金属板的制造方法以外的制造方法制造的金属发热体相比，可以改善发热均匀性。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1 (A)、(B)是表`示本发明的实施方式所涉及的金属发热体的制造方法中使用的蛇行图案、产品形状的说明图。
[0015]图2 (A)、(B)是表示本发明的实施方式的对比方式所涉及的金属发热体的制造方法中使用的蛇行图案、产品形状的说明图。
[0016]图3是表示本发明的实施方式所涉及的金属发热体的斜视图。
[0017]图4是表示本发明的实施方式所涉及的金属发热体的俯视图。
[0018]图5是用曲线表示在本发明的实施方式所涉及的金属发热体的制造方法中，确定抗蚀剂偏移量时使用的模拟的结果的图。
[0019]图6是用曲线表示在本发明的实施方式所涉及的金属发热体的制造方法中，确定抗蚀剂偏移量时使用的模拟的结果的图。
[0020]图7 (A)、(B)、(C)、(D)、(E)、(F)是表示本发明的实施方式所涉及的金属发热体的制造方法的各工序的说明图。
[0021]图8 (A)、(B)、(C)是在本发明的实施方式所涉及的金属发热体的制造方法中，用于确定抗蚀剂偏移量的说明所使用的示意图。
[0022]图9是表示使用本发明的实施方式所涉及的金属发热体的定影装置的侧视图。
[0023]图10 (A)、(B)是表示使用本发明的实施方式所涉及的金属发热体的定影装置的定影带的斜视图及主视图。
[0024]图11是使用本发明的实施方式所涉及的金属发热体的图像形成装置。[0025]图12 (A)、(B)是表示本发明的实施方式所涉及的金属发热体的变形例的俯视图及放大俯视图。
[0026]图13 (A)、(B)是表示本发明的实施方式所涉及的金属发热体的变形例的俯视图及放大俯视图。
[0027]标号的说明
[0028]64金属发热体
[0029]70 突起
[0030]70A圆弧部
[0031]70B直线部
[0032]72 切口
[0033]72A前端部
[0034]72B直线部
[0035]88金属发热体
[0036]90 突起
[0037]92 切口
[0038]92A前端部
[0039]92B直线部
[0040]98金属发热体
[0041]100 突起
[0042]100A 圆弧部
[0043]102 切口
[0044]102A 前端部
[0045]150板材(金属板的一个例子)
[0046]152光致抗蚀剂(抗蚀剂)
【具体实施方式】
[0047]按照图1至图3，对本发明的实施方式所涉及的金属板的制造方法及金属发热体的一个例子进行说明。首先，对具有通过本实施方式所涉及的金属板的制造方法制造的金属发热体的图像形成装置进行说明。另外，图中所示的箭头UP表示铅垂方向的上方。
[0048](图像形成装置)
[0049]〔图像形成部〕
[0050]如图11所示，图像形成装置10具有:像保持体12 ;带电部件14，其使像保持体12的表面带电；曝光装置16，其基于图像数据，向带电的像保持体12的表面照射激光，形成静电潜像；显像装置18，其将该静电潜像作为调色剂图像而可视化；转印辊22 ;其向沿输送路径20供给的作为记录介质的纸张部件P转印像保持体12表面的调色剂图像；定影装置24，其对转印的调色剂图像进行加热、加压而定影在纸张部件P上；以及清洁装置26，其对残留在进行调色剂图像转印后的像保持体12上的调色剂进行清洁。
[0051]另外，图像形成装置10由主体侧面盖IOB及顶板IOA包覆。并且，在主体侧面盖IOB的上端角部分具有轴10C，其使顶板IOA可旋转地与主体侧面盖IOB连结。由此，通过使顶板IOA以轴IOC为中心沿箭头A方向旋转，从而将图像形成装置10的内部打开。另外，关于定影装置如后详述。
[0052]〔手动供纸部〕
[0053]另外，在该图像形成装置10的侧方具有手动供纸台32，其可以手动地向由像保持体12和转印辊22形成的图像转印部31供给纸张部件P。在该手动供纸台32上设有半月形状的送出辊34。并且，在隔着纸张部件P而与送出辊34相对侧设有分离辊36，其将从手动供纸台32送出的纸张部件P —张一张地分离。
[0054]该分离辊36轴支撑在设置于两端部的未图示的支撑部件上，通过设置在支撑部件内部的螺旋弹簧的预紧力向送出辊34预紧。通过该结构，如果送出辊34旋转，则载置于手动供纸台32上的纸张部件P由送出辊34和分离辊36 —张一张地向图像转印部31输送。
[0055]〔供纸部〕
[0056]在图像形成装置10内的下侧设有供纸装置40，其将纸张部件P —张一张地向图像转印部31供给。供纸装置40具有载置多张纸张部件P的供纸部件41，堆置在供纸部件41上的纸张部件P，通过取出辊42依次取出。并且，通过旋转驱动的供纸辊44和设置在供纸部件41上的分离辊46，一张一张地输送纸张部件P。
[0057]〔其他〕
[0058]并且，配置有多个输送辊48，其沿纸张部件P的输送路径20输送纸张部件P，沿输送路径20向纸张部件P的输送方向的下游侧(以下简记为“输送方向下游侧”)输送纸张部件P。
[0059]另外，在图像转印部31的输送方向下游侧具有排出辊38，该排出辊38将通过定影装置24进行调色剂图像定影后的纸张部件P排出至顶盖IOA的上表面。
[0060](图像形成装置的作用)
[0061]在上述结构的图像形成装置10中，按照下述方式形成图像。
[0062]首先，施加有电压的带电部件14使像保持体12的表面同样地带电。然后，基于由未图示的扫描设备读取的图像数据或从外部输入的图像数据，曝光装置16使带电的像保持体12的表面曝光，在像保持体12的表面形成静电潜像。该静电潜像利用从显像装置18供给的调色剂作为调色剂图像而可视化。
[0063]由此，由取出辊42从供纸部件41取出的纸张部件P或手动从手动供纸台32供给的纸张部件P，向输送路径20输出。向输送路径20输出的纸张部件P，通过在像保持体12和转印棍22之间形成的图像转印部31，将调色剂图像转印到纸张部件P上。该转印的调色剂图像通过定影装置24而定影在纸张部件P上，纸张部件P通过排出辊38排出至顶盖IOA的上表面。
[0064](定影装置)
[0065]下面，对于定影装置24进行说明。
[0066]如图9所示，定影装置24具有:筒状的定影带50，其具有通过在施加磁场时产生的涡电流而发热的发热层(省略图示);按压辊52，在其与定影带50之间输送纸张部件P，并且将纸张部件P向定影带50按压；加压垫54,其将定影带50从定影带50的内周面朝向按压辊52按压；以及电磁感应方式的发热装置56，其通过流动交流电流而向定影带50的发热层施加磁场。[0067]在定影带50的一端部，如图10 (A) (B)所示，安装有使定影带50在定影带50的周方向旋转的驱动齿轮58。
[0068]并且，在驱动齿轮58的定影带50侧，以与定影带50的内周面面接触的方式一体地形成有凸缘部件59。该凸缘部件59的外周面和定影带50的内周面通过粘接剂等固定。并且，从未图示的电动机受到旋转力而旋转的驱动齿轮58，经由该凸缘部件59向定影带50传递旋转力。
[0069]另外，如图9所示，在隔着定影带50而与按压辊52相对一侧，配置有与定影带50的一部分相对的所述的发热装置56。发热装置56具有电磁感应线圈(励磁线圈)56A，使通过向电磁感应线圈56A施加交流电流而产生的磁场在励磁电路中变化,使定影带50的发热层产生涡电流。该涡电流由于发热层的电阻而变换为热(焦耳热)，从而使定影带50中的与发热装置56相对的部分发热。即，在该方式中，在周方向上与电磁感应线圈56A相对的定影带50的一部分发热。并且，在由定影装置24输送纸张部件P之前，预先使定影带50旋转，以使定影带50的整体达到用于使调色剂图像定影在纸张部件P上的定影温度。
[0070]并且，以与通过发热装置56发热部分的定影带50的内周面相对的方式，配置对定影带50进行加热的圆弧状的发热部件60 (辅助加热器)。
[0071]通过使该发热部件60发热而对定影带50进行加热，从而与不具有发热部件60的情况相比，可使定影带50在短时间内到达定影温度。
[0072](要部方法)
[0073]下面，对发热部件60进行说明。
[0074]如图3、图4所示，发热部件60具有:一对绝缘薄膜62，其向一个方向(图中箭头B方向)延伸，由聚酰亚胺树脂成型；以及金属发热体64，其由该一对绝缘薄膜62夹持。并且，各个绝缘薄膜62的膜厚 为50 [ μ m]。
[0075]另外，在各图中，为了易于理解发热部件60的结构，记载为成型为圆弧状之前的平板状的发热部件60。在后面的说明中，也以发热部件60为平板状进行说明。
[0076]另外，在将发热部件60向定影装置24上配置时，以使所述的一个方向成为装置里侧方向(图9的纸面里侧方向)的方式，将发热装置60配置在定影装置24上。
[0077]〔金属发热体〕
[0078]下面，对金属发热体64进行说明。
[0079]金属发热体64，使用厚度50μπι的SUS304(不锈钢钢板)形成。并且，如图3所示，该金属发热体64具有:蛇行部位66,其向一个方向形成S形；以及电压施加部位68,其形成在蛇形部位66的两端侧，向一个方向延伸，并且向绝缘薄膜62 (例如，聚酰亚胺制薄膜)的外部露出。通过利用未图示的电压施加部件向该电压施加部件68施加电压，从而使金属发热体64发热。
[0080]如图1 (B)所示，蛇行部位66具有:凸状的突起70 ;以及切口 72，其相对于突起70向内侧偏离相同的量(偏移量为相同量:在本实施例中为70[μπι])而构成。并且，以由该切口 72包围的方式形成切口区域73。
[0081]并且，切口 72具有:圆弧状的前端部72Α ;以及一对直线部72Β，其从该前端部72Α直至基端侧(图中下侧)以直线状延伸。
[0082]并且，该前端部72Α的内径(图中所示的Rl)为80[μ m]，一对直线部72B向与所述的一个方向(图中箭头B方向)正交的正交方向(图中箭头C方向)延伸。
[0083]〔金属发热体的制造方法〕
[0084]下面，作为金属板的制造方法的一个例子，对金属发热体的制造方法进行说明。
[0085]如图7 (A) (B)所示，首先，在抗蚀剂涂敷工序中，在厚度50[μ m]的SUS304的板材150 (金属板的一个例子)的两个表面，以厚度1[μπι]涂敷正性光致抗蚀剂152。
[0086]然后，如图7 (C)所示，在曝光工序中，使形成有蚀刻图案的胶片底板154紧贴在涂敷有光致抗蚀剂152的板材150上并固定。并且，向胶片底板154进行曝光，将蛇行图案160 (参照图1 (A))光致抗蚀剂152烧入。另外，关于蛇行图案160如后详述。
[0087]然后，如图7 (D)所示，在显像工序中，使用显像液对在光致抗蚀剂152上曝光转印蛇行图案160的板材150进行显像处理。由此，已曝光的区域的光致抗蚀剂152溶解在显像液中，光致抗蚀剂152以S形的方式形成。
[0088]然后，如图7(E)所示，在蚀刻工序中，将板材150浸溃在蚀刻液(在本实施方式中，作为一个例子为氯化亚铁溶液)中，或向板材150喷洒(喷淋)蚀刻液,从而对通过显像而露出的板材150的露出部分进行蚀刻。
[0089]然后，如图7 (F)所示，在抗蚀剂剥离工序中，利用氢氧化钠溶液，将涂敷在板材150上的光致抗蚀剂152去除。由此，制造金属发热体64。
[0090]〔蛇行图案〕
[0091]下面，对于向光致抗蚀剂152烧入的蛇行图案160进行说明。
`[0092]在图1中，示出蛇行图案160的弯曲部位。用于通过湿蚀刻形成由图1 (A)的双点划线示出的突起70及切口 72的蛇行图案160 (蚀刻图案)，必须向切口 72的缘部的内侧偏移，并向突起70的缘部的外侧偏移。由此，蛇行图案160具有:内侧蛇行图案160Α，其与切口 72的缘部相比向内侧偏移；以及外侧蛇行图案160Β，其与突起70的缘部相比向外侧偏移(图中实线)。
[0093]在蚀刻工序中蚀刻液侵入蛇行图案160的里面，对板材150进行蚀刻(所谓侧面蚀刻法)。由此，切口 72相对于内侧蛇行图案160Α形成得较大，另外，突起70相对于外侧蛇行图案160Β形成得较小。另外，将光致抗蚀剂相对于设计上的产品的缘部(图1 (A)所示的双点划线)偏移的量称为抗蚀剂偏移量。
[0094]并且，在本实施方式中，切口 72中的前端部72Α的抗蚀剂偏移量(图中E尺寸)，与直线部72Β的抗蚀剂偏移量(图中F尺寸)不同，基于前端部72Α的曲率半径，设为比直线部72Β的抗蚀剂偏移量小。其原因在于，侧面蚀刻一边向周围扩散一边侵入(进行)，因此，在前端部72Α中，侧面蚀刻的侵入量与直线部72Β相比较少。
[0095]即，如图2 (A)所示，如果使抗蚀剂偏移量在前端部72Α和直线部72Β处为相同的量(距离)，则如图2 (B)所示，在蚀刻工序后得到的前端部的切口量(实线)，将比设计上的前端部的切口量(虚线)小。
[0096]另一方面，如图1 (A)所示，突起70中的圆弧状的圆弧部70Α的抗蚀剂偏移量(图中G尺寸)与突起70中的直线状的直线部70Β的抗蚀剂偏移量(图中H尺寸)不同，基于圆弧部70Α的曲率半径，其比直线部70Β的抗蚀剂偏移量大。
[0097]其原因在于，由于侧面蚀刻从周围侵入，因此在圆弧部70Α处，侧面蚀刻的侵入量与直线部70Β相比较多。[0098]即，如图2 (A)所示，如果使抗蚀剂偏移量在圆弧部70A和直线部70B处成为相同的量(距离)，则如图2 (B)所示，在蚀刻工序后得到的圆弧部的突出量(实线)比设计上的前端部的突出量(虚线)小。
[0099]另外，如图1 (A)所示，突起70的直线部70B的抗蚀剂偏移量(图中H尺寸)、和所述切口 72的直线部72B的抗蚀剂偏移量(图中F尺寸)，对于侧面蚀刻的侵入来说为相同的条件，因此成为相同的量。
[0100]在这里，对于侧面蚀刻的侵入量不同的理由具体地进行说明。
[0101]图8中用实线表示产品形状，用双点划线表示光致抗蚀剂。将光致抗蚀剂的缘部的线长设为总长L，在对直线部(参照图8 (A))进行成型的情况、对凹圆角部(参照图8 (B))进行成型的情况、对凸圆角部(参照图8 (C))进行成型的情况下，侧面蚀刻的侵入量会产生差异。其原因在于，通过蚀刻而侵蚀母材的量(各图中示出的斜线面积S)相同。
[0102]如上所述，由于母材的侵蚀量(各图所示的斜线面积S)相同，因此，凹圆角部中的侧面蚀刻的侵入量(图8 (B)的尺寸Q)，与直线部中的侧面蚀刻的侵入量(图8 (A)的尺寸P)相比较小。
[0103]另一方面，凸圆角部中的侧面蚀刻的侵入量(图8 (C)的尺寸R)，与直线部中的侧面蚀刻的侵入量(图8 (A)的尺寸P)相比较大。
[0104]然后，对确定切口 72的前端部72A的抗蚀剂偏移量、及突起70的圆弧部70A的抗蚀剂偏移量的顺序进行说明。
[0105]首先，对图6所示的曲线进行说明。在图6中，模拟切口 72的前端部72A的曲率半径和在前端位置(切入最多的位`置)处的未达到量之间的关系，将该结果以曲线示出。
[0106]图6所示的曲线的横轴表示切口 72的前端部72A的曲率半径[μ m],纵轴表示在板厚50 [μ m]的SUS304的板材的情况下、侧面蚀刻没有到达产品端部的未到达量[μ m]。
[0107]具体地说，在抗蚀剂偏移量为35 [ μ m]的情况下,表不相对于该35 [ μ m],前端部72A处的未到达量[μπι]。即，未到达量10[μπι]情况下的侧面蚀刻的侵入量为，从抗蚀剂偏移量35 [μ m]中减去未达到量10 [μ m]，为25 [μ m]。根据该曲线可知，前端部72A的曲率半径[ym]越小，未达到量越大。
[0108]在本实施例中，将直线部72B的抗蚀剂偏移量设为35[ μ m]。对于前端部72A，由于曲率半径为80[μπι]，因此，根据图6，未达到量为12.1[μπι]。由此，在前端位置(图1 (A)所示的位置Y)处，前端部72Α的抗蚀剂偏移量成为22.9[ μ m] (35 — 12.1)。
[0109]下面，对图5所示的曲线进行说明。对突起70的圆弧部70A的曲率半径和前端位置(最突出的位置)处的后退量之间的关系进行模拟，图5将该结果以曲线示出。
[0110]图5所示的曲线的横轴设为突起70的圆弧部70A的曲率半径[μ m]，纵轴设为在板厚50 [ μ m]的SUS304的板材的情况下，产品端部由于侧面蚀刻而后退的后退量[μ m]。
[0111]具体地说，在将抗蚀剂偏移量设为35 [μ m]的情况下，表示相对于该35 [μ m]，圆弧部70A处的后退量[μπι]。即，后退量10[μπι]的情况下的侧面蚀刻的侵入量为，将抗蚀剂偏移量35[μ--]加上后退量10[μπι]，*45[μπι]。根据该曲线可知，圆弧部70Α的曲率半径[μπι]越小,后退量越大。
[0112]在本实施例中，与直线部72Β同样地，将直线部70Β的抗蚀剂偏移量设为35 [ μ m]。对于圆弧部70A，由于曲率半径为150 [ μ m]，因此，根据图5，后退量为6.4 [ μ m]。由此，对于圆弧部70A的抗蚀剂偏移量，在前端位置(图1 (A)所示的位置Z)处，为41.4[μπι] (35 +6.4)。
[0113](要部方法的作用)
[0114]如上所述，根据本实施方式所涉及的金属发热体的制造方法，突起70中的圆弧部70Α的抗蚀剂偏移量，基于圆弧部70Α的曲率半径，设为比直线部70Β的抗蚀剂偏移量大。由此，通过湿蚀刻而形成的突起70的产品形状接近设计值。另外，切口 72的前端部72Α的抗蚀剂偏移量，基于前端部72Α的曲率半径，设为比直线部72Β的抗蚀剂偏移量小。由此，通过湿蚀刻而形成的切口 72的产品形状接近设计值。
[0115]总之，由于金属发热体64的产品形状接近设计值，因此可以降低由于形状不同而导致的次品率。
[0116]另外，由于金属发热体64的产品形状接近设计值，因此可以得到均匀性良好且接近规定值(设计目标值)的金属发热体64的发热量。
[0117]另外，针对特定的实施方式，详细地对本发明进行了说明，但本发明不限定于实施方式，在本发明的范围内，可以实现其它多种实施方式，对于本领域技术人员来说是清楚的。例如，在上述实施方式中，对于具有突起70及切口 72的金属发热体的制造方法进行了说明，但如图12 (A) (B)所示，有时不在金属发热体88的突起90形成本实施方式所示的圆弧部，而在切口 92如本实施方式所示形成圆弧状的前端部92Α和直线部92Β。在该情况下，可以仅对切口 92使用本实施方式的思想。
[0118]具体地说，切口 92的前端部92Α的抗蚀剂偏移量(图中J尺寸)，与直线部92Β的抗蚀剂偏移量(图中K尺寸)不同，基于前端部92Α的曲率半径，设为比直线部92Β的抗蚀剂 偏移量小。
[0119]另外，在上述实施方式中，对于具有突起70以及形成有直线部72Β的切口 72的金属发热体的制造方法进行了说明，但如图13(Α)(Β)所示，存在在金属发热体98的切口 102没有形成本实施方式所示的直线部，而是在切口 102仅形成本实施方式所示的圆弧状的前端部102Α，并在突起100仅形成圆弧部100Α的情况。在该情况下，可以对切口 102的前端部102Α和突起100的圆弧部100Α使用本实施方式的思想。
[0120]具体地说，切口 102的前端部102Α的抗蚀剂偏移量(图中L尺寸)与圆弧部100Α的抗蚀剂偏移量(图中M尺寸)不同，基于前端部102Α的曲率半径或圆弧部100Α的曲率半径，设为比圆弧部100Α的抗蚀剂偏移量小。
[0121]另外，在上述实施方式中，以具有圆弧形状的金属发热体的制造方法为例进行了说明，但也可以将本实施方式所涉及的金属板的制造方法用于具有圆弧形状的其他金属板的制造方法。
[0122]另外，在上述实施方式中，使用厚度30 μ m的SUS304的板材进行了说明，但也可以使用其它厚度及材质的金属板。
【权利要求】
1.一种金属板的制造方法，具有: 抗蚀剂形成工序，在该工序中，在为了从金属板的板面对所述金属板进行湿蚀刻而形成前端部为圆弧状且具有从所述前端部直至基端侧以直线状延伸的直线部的切口，而在所述金属板的板面上形成包覆所述切口的抗蚀剂以使所述切口不会因湿蚀刻而被侵蚀时，基于前端部的曲率半径，在所述金属板的板面上形成所述抗蚀剂，以使得所述前端部处的所述抗蚀剂的缘部和所述前端部之间的抗蚀剂偏移量，比所述直线部处的所述抗蚀剂的缘部和所述直线部之间的抗蚀剂偏移量小；以及 蚀刻工序，在该工序中，使蚀刻液作用在通过所述抗蚀剂形成工序形成有所述抗蚀剂的所述金属板上，对所述金属板进行蚀刻。
2.一种金属板的制造方法，具有: 抗蚀剂形成工序，在该工序中，在为了从金属板的板面对所述金属板进行湿蚀刻而形成圆弧状的突起、和相对于所述突起向内侧偏离相同的量而构成且由圆弧状的前端部及从所述前端部直至基端侧位置以直线状延伸的直线部构成的切口，而在所述金属板的板面上形成包覆所述切口及所述突起的抗蚀剂以使得所述突起及所述切口不会因湿蚀刻而被侵蚀时，基于前端部的曲率半径及圆弧部的曲率半径中的至少一个，在所述金属板的板面上形成所述抗蚀剂，以使得所述前端部处的所述抗蚀剂的缘部和所述前端部之间的抗蚀剂偏移量，比所述直线部处的所述抗蚀剂的缘部和所述直线部之间的抗蚀剂偏移量小，且使得所述突起处的圆弧状的圆弧部的所述抗蚀剂的缘部和所述圆弧部之间的抗蚀剂偏移量，t匕所述直线部处的所述抗蚀剂的缘部和所述直线部之间的抗蚀剂偏移量大；以及 蚀刻工序，在该工序中，使蚀刻液作用在通过所述抗蚀剂形成工序形成有所述抗蚀剂的所述金属板上，对所述金属板进行蚀刻。
3.一种金属板的制造方法，其特征在于，具有: 抗蚀剂形成工序，在该工序中，在为了从金属板的板面对所述金属板进行蚀刻而形成圆弧状的突起和相对于所述突起向内侧偏离相同的量而构成的圆弧状的切口，而在所述金属板的板面上形成包覆所述切口及所述突起的抗蚀剂以使得所述突起及所述切口不会因湿蚀刻而被侵蚀时，基于所述切口的曲率半径及所述突起的曲率半径中的至少一方，在所述金属板的板面上形成所述抗蚀剂，以使得所述切口处的所述抗蚀剂的缘部和所述切口之间的抗蚀剂偏移量，比所述突起处的所述抗蚀剂的缘部和所述突起之间的抗蚀剂偏移量小；以及 蚀刻工序，在该工序中，使蚀刻液作用在通过所述抗蚀剂形成工序形成有所述抗蚀剂的所述金属板上，对所述金属板进行蚀刻。
4.一种金属发热体， 其具有圆弧形状，使用权利要求1至3中任一项记载的金属板的制造方法制造。
【文档编号】C23F1/02GK103484859SQ201210526140
【公开日】2014年1月1日 申请日期:2012年12月7日 优先权日:2012年6月13日
【发明者】冈田纯二, 川上公之, 村上裕纪 申请人:富士施乐株式会社