专利名称：可扩展的反应腔室的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及机械设计技术领域，特别涉及一种可扩展的反应腔室。
背景技术：
现有技术中的批处理原子层沉积(Atomic layer deposition, ALD)反应腔室包括内外两层腔室。外腔室为常压腔，其内壁设有加热元件，用 于对整个外腔进行加热，从而加热内腔室及置于其内的基板。内腔室位于外腔室的腔内，与外腔室固定连接。内腔室为低压腔，其包含工艺气体管道和真空元件，分别用于在内腔室内对基板进行ALD反应及保证内腔室的低压环境。这种腔室结构一旦内外腔室的尺寸确定，单次所能加工的基板数量也随之确定。若要在此基础上继续提高生产率，就要重新设计反应腔室的尺寸，另做一套腔室。这样不仅增长了设计时间和新设备的开发周期，同时也限制了设备生产率的提高。
实用新型内容(一 )要解决的技术问题本实用新型要解决的技术问题是如何使反应腔室能够扩展，实现在不需重新设计反应腔室的情况下，提高设备生产率。( 二 )技术方案为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种可扩展的反应腔室，所述反应腔室包括前门板和后门板，所述前门板和后门板之间设有至少一个模块化腔室。优选地，所述模块化腔室为内部设有空腔的腔体，所述腔体两端均设有第一法兰。优选地，所述反应腔室具有一个模块化腔室，所述前门板和后门板上均设有第二法兰，所述前门板和后门板分别与模块化腔室的开口通过第一法兰和第二法兰进行可拆式连接。优选地，所述第一法兰和第二法兰之间通过螺栓和螺母实现可拆式连接。优选地，所述第一法兰和第二法兰上均设有凸块，所述第一法兰和第二法兰之间通过爪形夹钳卡夹所述凸块来进行可拆式连接。优选地，所述反应腔室具有至少两个模块化腔室，所述前门板和后门板上均设有第二法兰，所述至少两个模块化腔室采用首尾相接的方式通过第一法兰进行可拆式连接，所述至少两个模块化腔室上未连接的两端分别与前门板和后门板的开口通过第一法兰和第二法兰进行可拆式连接。优选地，所述至少两个模块化腔室之间的第一法兰通过螺栓和螺母实现可拆式连接，所述第一法兰和第二法兰之间也通过螺栓和螺母实现可拆式连接。优选地，所述第一法兰和第二法兰上均设有凸块，所述至少两个模块化腔室之间的第一法兰通过爪形夹钳卡夹所述凸块来进行可拆式连接，所述第一法兰和第二法兰之间也通过爪形夹钳卡夹所述凸块来进行可拆式连接。优选地，所述空腔包括反应区域和抽气孔，所述抽气孔与所述反应区域连通。[0015]优选地，所述腔体上设有加热通道。(三)有益效果本实用新型通过在前门板、后门板和所述前门板和后门板之间设有的至少一个模块化腔室上设置法兰结构，使反应腔室能够扩展，实现了在不需重新设计反应腔室的情况下，提闻设备生广率。
图I是按照本实用新型一种实施例的可扩展的反应腔室的侧视图；图2是图I所示的反应腔室中模块化腔室的正视图；图3是图I所示的反应腔室中模块化腔室的侧视图；图4是采用螺栓和螺母连接时的结构示意图；图5是采用爪形夹钳连接时的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式
作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。实施例I下面以一个具有两个模块化腔室的反应腔室为例来说明本实用新型，参照图1，本实施例的反应腔室包括前门板5和后门板8，所述前门板5和后门板8之间设有两个模块化腔室(分别为附图I中的“6”和“7”)，本实施例中，所述反应腔室的材料选择铝，用于光伏领域为太阳能基板淀积三氧化二铝钝化薄膜。参照图2 3，所述模块化腔室为内部设有空腔的腔体，所述腔体两端均设有第一
法兰4。由于ALD反应需要在真空环境下实现，优选地，所述空腔包括反应区域2和抽气孔3，所述抽气孔3与所述反应区域2连通，本实施例中，所述抽气孔3与所述反应区域2之间通过设置狭缝实现连通，所述反应区域2可放置能够承载240片太阳能基板的基板承载装置，本实施例中的反应腔室由于具有两个模块化腔室，如此形成的反应区域，可放置能够承载480片太阳能基板的基板承载装置。由于ALD反应需要进行加热，优选地，所述腔体上设有加热通道1，所述加热通道用于放置加热棒，本实施例中，所述加热通道I可以是通孔。所述反应腔室具有两个模块化腔室，所述前门板5和后门板8上均设有第二法兰，所述两个模块化腔室采用首尾相接的方式通过第一法兰4进行可拆式连接，所述两个模块化腔室上未连接的两端分别与前门板5和后门板8的开口通过第一法兰4和第二法兰进行可拆式连接。参照图4，所述两个模块化腔室之间的第一法兰4通过螺栓10和螺母11实现可拆式连接，所述第一法兰4和第二法兰之间也通过螺栓10和螺母11实现可拆式连接。实施例2参照图5，本实施例的反应腔室结构与实施例I的结构相似，不同之处在于所述第一法兰4和第二法兰上均设有凸块，所述至少两个模块化腔室之间的第一法兰4通过爪形夹钳9卡夹所述凸块来进行可拆式连接，所述第一法兰4和第二法兰之间也通过爪形夹钳9卡夹所述凸块来进行可拆式连接。参照图4和5，为使法兰之间的气密性更好，优选地，通过法兰进行可拆式连接时，通过O形密封圈12进行密封，连接时一侧的法兰上设有用于放置所述O形密封圈12的凹槽13。优选地，所述第一法兰4和第二法兰的厚度符合ISO 1609法兰设计要求。本实用新型的反应腔室与现有技术相比，其优势在于连接法兰结构便于腔室之间首尾相连，为腔室结构的模块化提供可能，而模块化的腔室结构，方便随时扩展反应区域以适应生产需求、提高生产率，且在生产需求量不大时，可拆卸掉部分模块，避免造成资源 浪费。以上实施方式仅用于说明本实用新型，而并非对本实用新型的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本实用新型的范畴，本实用新型的专利保护范围应由权利要求限定。
权利要求1.ー种可扩展的反应腔室，其特征在于，所述反应腔室包括前门板和后门板，所述前门板和后门板之间设有至少ー个模块化腔室。
2.如权利要求I所述的反应腔室，其特征在于，所述模块化腔室为内部设有空腔的腔体，所述腔体两端均设有第一法兰。
3.如权利要求2所述的反应腔室，其特征在于，所述反应腔室具有一个模块化腔室，所述前门板和后门板上均设有第二法兰，所述前门板和后门板分别与模块化腔室的开ロ通过第一法兰和第二法兰进行可拆式连接。
4.如权利要求3所述的反应腔室，其特征在于，所述第一法兰和第二法兰之间通过螺栓和螺母实现可拆式连接。
5.如权利要求3所述的反应腔室，其特征在干，所述第一法兰和第二法兰上均设有凸块，所述第一法兰和第二法兰之间通过爪形夹钳卡夹所述凸块来进行可拆式连接。
6.如权利要求2所述的反应腔室，其特征在干，所述反应腔室具有至少两个模块化腔室，所述前门板和后门板上均设有第二法兰，所述至少两个模块化腔室采用首尾相接的方式通过第一法兰进行可拆式连接，所述至少两个模块化腔室上未连接的两端分别与前门板和后门板的开ロ通过第一法兰和第二法兰进行可拆式连接。
7.如权利要求6所述的反应腔室，其特征在于，所述至少两个模块化腔室之间的第一法兰通过螺栓和螺母实现可拆式连接，所述第一法兰和第二法兰之间也通过螺栓和螺母实现可拆式连接。
8.如权利要求6所述的反应腔室，其特征在干，所述第一法兰和第二法兰上均设有凸块，所述至少两个模块化腔室之间的第一法兰通过爪形夹钳卡夹所述凸块来进行可拆式连接，所述第一法兰和第二法兰之间也通过爪形夹钳卡夹所述凸块来进行可拆式连接。
9.如权利要求I 8中任一项所述的反应腔室，其特征在于，所述空腔包括反应区域和抽气孔，所述抽气孔与所述反应区域连通。
10.如权利要求I 8中任一项所述的反应腔室，其特征在于，所述腔体上设有加热通道。
专利摘要本实用新型公开了一种可扩展的反应腔室，涉及机械设计技术领域，所述反应腔室包括前门板和后门板，所述前门板和后门板之间设有至少一个模块化腔室。本实用新型通过在前门板、后门板和所述前门板和后门板之间设有的至少一个模块化腔室上设置法兰结构，使反应腔室能够扩展，实现了在不需重新设计反应腔室的情况下，提高设备生产率。
文档编号C23C16/44GK202610318SQ20122017271
公开日2012年12月19日 申请日期2012年4月20日 优先权日2012年4月20日
发明者彭文芳, 李春雷, 常青, 克雷格·伯考 申请人:北京七星华创电子股份有限公司