专利名称：一种自动上下料pecvd石墨舟保护系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳能电池制造自动化设备领域，尤其涉及一种自动上下料PECVD石墨舟保护系统。
背景技术：
太阳能电池作为可再生的环保能源已经越来越受到人们的关注，与其相关的生产工艺及生产设备也得到了迅猛的发展。一直以来，传统的PECVD(Plasma EnhancedChemical Vapor Deposition),即等离子体增强化学气相沉积法一般都是手工将石墨舟放在SIC桨上，通过SIC桨将石墨舟放到石英管里面，当SIC桨放好石墨舟退出石英管后，以前的PECVD就是判断推舟板(SIC桨)到位后，就会关闭炉门，由于SIC桨在石英管的下降空间很小，且由于SIC桨前部微翘(前部微翘是为了使石墨舟放上后水平)，当SIC桨下降然后退出石英管时，SIC桨前面的横梁有可能挂出石墨舟，如果只判断推舟板(SIC桨)到 位就关炉门，石墨舟则很可能被炉门损坏，因此亟待开发一种实现自动上下料PECVD的石墨舟保护系统。
实用新型内容为了解决上述技术问题，本实用新型旨在提供一种用于自动上下料PECVD的石墨舟保护系统，保护石墨舟被SIC桨误挂出而不被损坏。为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是一种自动上下料PECVD石墨舟保护系统，其结构特点是，包括光纤发光探头固定板和光纤感光探头固定板，所述光纤发光探头固定板上装有光纤传感器发光探头，所述光纤感光探头固定板上装有光纤传感器感光探头；所述光纤传感器发光探头和光纤传感器感光探头分别通过信号传输线与一光纤传感器放大器相连。进一步地，所述光纤传感器放大器包括用于切换发光模式和感光模式的放大器工作模式切换开关，调节光强强弱的放大器光强设置开关，以及显示光强亮度值的放大器光强显示界面。所述光纤传感器传放大器操作简单，设置方便，有两种工作模式可以选择，数值显示测量值，指示灯显示状态。所述光纤传感器放大器上还设有显示传感器是否工作的放大器指示灯。所述光纤传感器放大器上设有与光纤传感器发光探头相连的放大器发光探头插入口和与光纤传感器感光探头相连的放大器感光探头插入口。所述光纤发光探头固定板开有用于固定光纤传感器发光探头的光纤传感器发光探头固定腰孔，为了方便调节光纤传感器发光探头；设计小巧，便于安装在炉口等空间狭小的地方；所述光纤感光探头固定板开有用于固定光纤传感器感光探头的光纤传感器感光探头固定腰孔，为了方便调节光纤传感器感光探头，设计半工字型，便于安装在炉口等空间狭小的地方。所述光纤发光探头固定板上装有发光探头安装板，该发光探头安装板安装在炉口位置。所述光纤感光探头固定板安装在炉ロ位置。所述光纤传感器发光探头和光纤传感器感光探头均为光纤材质制成，可以耐350 V高温，且对表面被镀上了 ー层减反射保护膜的石墨舟可以产生作用，发光探头和感光探头为对射安装传感器，但允许安装容差很大，非常便于狭小空间的安装。藉由上述结构，所述用于自动上下料PECVD石墨舟保护系统，包括光纤发光头固定板、发光头安装板、光纤感光头固定板、光纤传感器发光探头、光纤传感器感光探头、传感器放大器，其特征是光纤发光头固定板开设有光纤传感器发光探头固定孔，该孔为腰孔，便于光纤传感器发光探头和感光探头对射光信号強度可调，所述的发光探头安装板是光纤发光探头固定板的安装板，便于将光纤发光探头固定板固定在炉ロ附近安装，所述的光纤感光探头固定板为安装光纤传感器感光探头板，开设有固定腰孔，可以调节感光器感应光强的大小。所述的光纤传感器发光探头、光纤传感器感光探头、传感器放大器为石墨舟被SIC桨挂出的保护传感器部分。当SIC桨放好石墨舟退出炉管后，除了判断推舟板(带动SIC桨)上的光电传感器是否动作外，还需要判断安装在炉ロ的高温光纤传感器是否动作，只有这两个传感器都动作后，才关闭炉门，杜绝石墨舟被误伤的风险。本实用新型考虑到炉ロ附近安装空间和附近的高温环境，及必须是对表面被镀上了ー层减反射保护膜的石墨舟可以产生作用的特点，设计了一种既小巧，又能够耐高温的自动上下料PECVD石墨舟保护系统，杜绝了石墨舟可能被炉门砸坏的风险，提高了自动上下料PECVD可靠程度。
图I为本实用新型一种实施例的结构原理示意图。在图中1-光纤发光探头固定板； 2-发光探头安装板；3-光纤感光探头固定板； 4-光纤传感器发光探头；5-光纤传感器感光探头； 6-光纤传感器发光探头固定腰孔；7-光纤传感器感光探头固定腰孔； 8-光纤传感器放大器；9-放大器发光探头插入ロ ；10-放大器感光探头插入ロ ；11-放大器工作模式切换开关；12-放大器光强设置开关；13-放大器光强显示界面；14-放大器指示灯。
具体实施方式
以下结合附图详细说明本实用新型的实施例。需要说明的是附图序号只表示本实用新型的主要零部件，其它没有一一例出。—种自动上下料PECV石墨舟保护系统，如图I所示，主要由光纤发光探头固定板1、发光探头安装板2、光纤感光探头固定板3、光纤传感器发光探头4、光纤传感器感光探头
5、光纤传感器放大器8组成。[0028]为了安装方便和节省空间，设计了很小巧的光纤传感器固定块，光纤发光探头固定板I和光纤感光探头固定板3，光纤发光探头固定板I上开了光纤传感器发光探头固定腰孔6，光纤感光探头固定板3上开了光纤传感器感光探头固定腰孔7，便于调节传感器动作灵敏度。为了固定光纤发光探头固定板I在炉口，设计了发光探头安装板2。在光纤发光探头固定板I上安装一个型号为E32-T61-S的高温光纤传感器发光探 头，在光纤感光探头固定板3上安装高温光纤传感器感光探头，考虑到炉口位置的温度很高，且安装方便，另外石墨舟表面被镀上了一层减反射保护膜，传感器对光线的要求很高，普通的光电传感器对这种减反射保护膜不反应，因此在这儿特意选择了欧姆龙公司的高温光纤传感器E32-T61-S,光纤部分可以耐受350°C的高温,光纤探头米样信号很弱，通过光纤传感器放大器8放大信号，光纤传感器放大器型号为E3X-DA-S，放大器可以工作在两种模式，一种是入光时传感器动作，一种是遮光时传感器动作，两种工作模式可以通过放大器工作模式切换开关11切换，新型设计的自动上下料PECVD石墨舟保护系统的放大器工作模式为遮光时传感器动作，并且通过放大器光强设置开关12可以任意调整光强的动作设置值，光强的测量值通过放大器光强显示界面13显示，当放大器供电后放大器指示灯14的绿灯变亮，当传感器动作时，放大器指示灯14的红灯变亮。考虑到炉口安装很困难，因此机械安装很难达到很精确，因此选择的光纤传感器的光纤探头安装允许容差大，不一定要对的很准，避免由于传感器安装不到位引起的误动作。放大器采用遮光时传感器动作，如果SIC桨退出时没有挂舟，石墨舟没有遮挡传感器发光探头的光束，感光探头无光强状态变化，因此放大器不会动作，设备会继续自动工作，当SIC桨退出时有挂舟，石墨舟就会遮挡传感器发光探头的光束，感光探头就会有光强状态变化，放大器就会动作，同时放大器动作指示红灯就会变亮，提示机器有石墨舟被挂出，停止设备自动工作，保证石墨舟不会被炉门砸坏。以上所述仅为本实用新型的实施例，并非用于限定本实用新型的保护范围，而是用于说明本实用新型。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.I. ー种自动上下料PECVD石墨舟保护系统，其特征是，包括光纤发光探头固定板(I)和光纤感光探头固定板(3)，所述光纤发光探头固定板(I)上装有光纤传感器发光探头(4)，所述光纤感光探头固定板(3)上装有光纤传感器感光探头(5);所述光纤传感器发光探头(4)和光纤传感器感光探头(5)分别通过信号传输线与一光纤传感器放大器(8)相连。
2.根据权利要求I所述的自动上下料PECVD石墨舟保护系统，其特征是，所述光纤传感器放大器(8)包括用于切换发光模式和感光模式的放大器工作模式切换开关(11)，调节光强强弱的放大器光强设置开关(12)，以及显示光强亮度值的放大器光强显示界面(13)。
3.根据权利要求2所述的自动上下料PECVD石墨舟保护系统，其特征是，所述光纤传感器放大器(8 )上还设有显示传感器是否工作的放大器指示灯(14 )。
4.根据权利要求2所述的自动上下料PECVD石墨舟保护系统，其特征是，所述光纤传感器放大器(8)上设有与光纤传感器发光探头(4)相连的放大器发光探头插入口(9)和与光纤传感器感光探头(5)相连的放大器感光探头插入口(10)。
5.根据权利要求广4之一所述的自动上下料PECVD石墨舟保护系统，其特征是，所述光纤发光探头固定板(I)开有用于固定光纤传感器发光探头(4)的光纤传感器发光探头固定腰孔(6);所述光纤感光探头固定板(3)开有用于固定光纤传感器感光探头(5)的光纤传感器感光探头固定腰孔(7)。
6.根据权利要求广4之一所述的自动上下料PECVD石墨舟保护系统，其特征是，所述光纤发光探头固定板(I)上装有发光探头安装板(2)，该发光探头安装板(2)安装在炉ロ位置。
7.根据权利要求广4之一所述的自动上下料PECVD石墨舟保护系统，其特征是，所述光纤感光探头固定板(3)安装在炉ロ位置。
8.根据权利要求广4之一所述的自动上下料PECVD石墨舟保护系统，其特征是，所述光纤传感器发光探头(4)和光纤传感器感光探头(5)均为光纤材质制成。
专利摘要本实用新型公开了一种自动上下料PECVD石墨舟保护系统，为了防止石墨舟被炉门损坏，本实用新型包括光纤发光探头固定板和光纤感光探头固定板，所述光纤发光探头固定板上装有光纤传感器发光探头，所述光纤感光探头固定板上装有光纤传感器感光探头；所述光纤传感器发光探头和光纤传感器感光探头分别通过信号传输线与一光纤传感器放大器相连。本实用新型保护了贵重件石墨舟，提高了自动上下料PECVD可靠程度。
文档编号C23C16/44GK202658228SQ20122017211
公开日2013年1月9日 申请日期2012年4月21日 优先权日2012年4月21日
发明者金则军, 胡振东, 易文杰 申请人:中国电子科技集团公司第四十八研究所