专利名称：钼反应腔的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及有机金属化学气象沉积设备领域，更具体的说涉及一种钥反应腔，使用于MOCVD工艺。
背景技术：
随着化合物半导体器件(如GaAs丽1C、InP丽IC以及GaN蓝光LED)市场的不断扩大，MOCVD系统的需求量不断增长。目前国际上实力最为雄厚的MOCVD系统制造商有德国、美国、英国等。因为MOCVD系统最关键的问题就是保证材料生长的均匀性和重复性，因此不同厂家的MOCVD系统最主要的区别在于反应室结构。目前国内使用于MOCVD设备主要是LED光电行业，而且MOCVD设备相对国内 的LED厂商来讲都是全进口设备，对于该设备的部件，基本上都是采用德国原厂的部件，以保证设备的正常使用，其进口的钥反应腔是由2个扇形组成的结构。因此MOCVD设备及其备品备件基本上都是国外设备公司垄断。根据国内LED厂商实际使用状况，我们国内LED芯片厂商为了降低生产成本，就需要部分设备备品备件都国产化。因此我们有必要进行自行设计和开发钥反应腔。实用新型内容本实用新型的目的是针对现有技术的不足之处，提供一种钥反应腔，其连接牢固，使用寿命长。本实用新型的技术解决措施如下钥反应腔，所述钥反应腔是由四个钥体外侧板、四个钥体内侧板和四个钥体底板拼接而成的环形腔室结构，且四个钥体外侧板的高度大于四个钥体内侧板的高度；所述四个钥体外侧板、四个钥体内侧板与底板之间分别采用链接的方式连接在一起；所述四个钥体外侧板之间、四个钥体内侧板之间分别采用搭接的方式连接在一起；所述四个钥体外侧板和四个钥体内侧板之间采用螺杆螺母结构锁紧在一起；所述四个钥体外侧板和四个钥体内侧板的上边缘分别设有包边。作为优选，所述螺杆螺母结构共16个，在侧板搭接处两侧对称各有一组螺杆螺母结构，其中一组螺杆螺母结构上还锁有一折钩，且螺杆螺母结构的中心线与侧板搭接处的中心线之间形成的角度为3. 9°。作为优选，所述螺杆螺母结构的螺杆头部与螺母平齐。作为优选，所述四个钥体外侧板上均布设有多个通孔。本实用新型的有益效果在于本实用新型的钥反应腔由四个钥体外侧板、四个钥体内侧板和四个钥体底板拼接而成的环形腔室结构，连接处用钥的螺杆螺母连接，更具有热胀冷缩的伸缩性，使钥反应腔能够整体得到平衡，不至于钥反应腔在短时间内因为高温的变形而破坏钥腔体。同时本实用新型钥反应腔的环形结构更接近真圆度，使用寿命长。
以下结合附图对本实用新型做进一步的说明[0017]图I为本实用新型的主视图；图2为本实用新型的附视图；图3为图2中的A-A剖视图；图4为图I中的I处的放大示意图；图5为图I中的II处的放大示意图；图6为图3中的III处的放大示意图；图7为图3中的IV处的放大示意图。
具体实施方式
以下所述仅为本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型的范围进行限定。实施例，见附图f 3，钥反应腔，所述钥反应腔是由四个钥体外侧板I、四个钥体内侧板2和四个钥体底板3拼接而成的环形腔室结构，且四个钥体外侧板的高度大于四个钥体内侧板的高度。附图4是四个钥体外侧板之间、四个钥体内侧板之间分别采用搭接的方式连接在一起，且采用订书钉的搭接方式连接。附图5是四个钥体外侧板与底板之间采用链接的方式连接在一起；附图6是四个钥体内侧板与底板之间采用链接的方式连接在一起。附图7是四个钥体外侧板和四个钥体内侧板的上边缘分别设有包边5、6的结构示意图。所述四个钥体外侧板和四个钥体内侧板之间采用螺杆螺母结构4锁紧在一起，螺杆螺母结构都采用钥的材质，由于钥反应腔是在1200°C高温的真空环境下工作，采用钥的材质具有热胀冷缩的伸缩性，使钥反应腔能够整体得到平衡，不至于钥反应腔在短时间内因为高温的变形而破坏钥腔体。所述螺杆螺母结构共16个，在侧板搭接处两侧对称各有一组螺杆螺母结构，其中一组螺杆螺母结构上还锁有一折钩7，且四个带折钩的螺杆螺母结构对称分布在钥反应腔四周。同时螺杆螺母结构的中心线与侧板搭接处的中心线之间形成的角度为3. 9°。这样共有8个螺杆螺母结构分布在搭接处两侧，其余8个分别均匀布置在四个侧板上，每个侧板两个，这两个螺杆螺母结构的中心线之间以及与相邻螺杆螺母结构的中心线之间形成的角度均为27. 4°。所述螺杆螺母结构的螺杆头部与螺母平齐。所述四个钥体外侧板上均布设有12个通孔8,通孔的直径为20mm。
权利要求1.钥反应腔，其特征在于所述钥反应腔是由四个钥体外侧板、四个钥体内侧板和四个钥体底板拼接而成的环形腔室结构，且四个钥体外侧板的高度大于四个钥体内侧板的高度；所述四个钥体外侧板、四个钥体内侧板与底板之间分别采用链接的方式连接在一起；所述四个钥体外侧板之间、四个钥体内侧板之间分别采用搭接的方式连接在一起；所述四个钥体外侧板和四个钥体内侧板之间采用螺杆螺母结构锁紧在一起；所述四个钥体外侧板和四个钥体内侧板的上边缘分别设有包边。
2.根据权利要求I所述的钥反应腔，其特征在于所述螺杆螺母结构共16个，在侧板搭接处两侧对称各有一组螺杆螺母结构，其中一组螺杆螺母结构上还锁有一折钩，且螺杆螺母结构的中心线与侧板搭接处的中心线之间形成的角度为3.9°。
3.根据权利要求2所述的钥反应腔，其特征在于所述螺杆螺母结构的螺杆头部与螺母平齐。
4.根据权利要求I所述的钥反应腔，其特征在于所述四个钥体外侧板上均布设有多个通孔。
专利摘要本实用新型涉及一种钼反应腔，钼反应腔是由四个钼体外侧板、四个钼体内侧板和四个钼体底板拼接而成的环形腔室结构，且四个钼体外侧板的高度大于四个钼体内侧板的高度；四个钼体外侧板、四个钼体内侧板与底板之间分别采用链接的方式连接；四个钼体外侧板之间、四个钼体内侧板之间分别采用搭接的方式连接；四个钼体外侧板和四个钼体内侧板之间采用螺杆螺母结构锁紧在一起；四个钼体外侧板和四个钼体内侧板的上边缘分别设有包边；螺杆螺母结构共16个，在侧板搭接处两侧对称各有一组螺杆螺母结构，其中一组螺杆螺母结构上还锁有一折钩，且螺杆螺母结构的中心线与侧板搭接处的中心线之间形成的角度为3.9°。本实用新型连接牢固，使用寿命长。
文档编号C23C16/44GK202671649SQ20122028556
公开日2013年1月16日 申请日期2012年6月14日 优先权日2012年6月14日
发明者高建锋 申请人:湖州维德光电科技有限公司