专利名称：研磨垫拆卸工具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种研磨垫拆卸工具。
背景技术：
在当前这个半导体飞速发展的时代，高产能、高效率是一个半导体制造厂成功发展必不可少的条件。化学机械抛光(CMP,Chemical Mechanical Polishing)作为集成电路制程中的一道新型的工序持续了有二十多年的时间，它也由起步阶段发展成为集成电路制造工艺中非常重要的一部分。目前，较为常用的CMP的机台包括研磨单元和清洗单元两部分，研磨单元有很多耗材，为了满足高产能、高良率的要求，工程师必须不断地更换这些耗材，其中更换研磨垫是设备工程师每天非常大的一项任务，但是一直以来，工程师的重点都放在产品技术的更 新和良率的提高上面，工程师操作方法和工作效率往往被忽略。 晶圆研磨过程中通常分为粗磨(粗研磨)和细磨(精研磨)两个阶段，晶圆在做粗磨过程中会使用研磨单元，一般研磨单元最多可以同时研磨4片12英寸的晶圆，因此，需要用到50英寸的研磨垫。研磨垫为了能很好的固定在研磨平台(platen)上，背面附着有很强的粘胶，设备工程师在更换研磨垫时必须先将研磨平台旋转到一个易于操作位置，然后需要两个以上的设备工程师同时作业，从研磨平台上手工用力撕下报废的研磨垫。因为是人为操作，所以研磨平台的位置以及用力的大小都很难控制，这对设备的长期维护非常不利，而且每天更换十张以上的研磨垫，设备工程师的体力耗费很大，工作效率很低。因此，如何提供一种可以结构简单、易于操作的研磨垫拆卸工具是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种结构简单、易于操作的研磨垫拆卸工具。为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案一种研磨垫拆卸工具，包括手柄和连接杆，所述连接杆的一端垂直连接于所述手柄的中部，所述连接杆上沿连接杆的纵向设有一长条形槽。优选的，在上述的研磨垫拆卸工具中，所述长条形槽的长度范围是15-20厘米。优选的，在上述的研磨垫拆卸工具中，所述长条形槽的宽度范围是2-5厘米。优选的，在上述的研磨垫拆卸工具中，所述连接杆的长度范围是100-120厘米。优选的，在上述的研磨垫拆卸工具中，所述连接杆是空心圆管。优选的，在上述的研磨垫拆卸工具中，所述连接杆的外径范围是5-8厘米。优选的，在上述的研磨垫拆卸工具中，所述手柄的长度范围是40-50厘米。优选的，在上述的研磨垫拆卸工具中，所述手柄是空心圆管。优选的，在上述的研磨垫拆卸工具中，所述手柄的外径范围是5-8厘米。优选的，在上述的研磨垫拆卸工具中，所述手柄和连接杆是一体成型的。[0018]本实用新型提供的研磨垫拆卸工具，结构简单、易于操作，使用时，先将研磨垫的一小部分卷起，插入到连接杆的长条形槽中，然后，转动手柄将研磨垫全卷绕在连接杆上数圈，最后利用杠杆原理，以研磨垫下方的研磨平台的边缘为支点，向下按手柄，使得研磨垫抬起，从而，实现对研磨平台上的研磨垫的快速、有效拆卸，省时省力，有效提高了工作效率。
本实用新型的研磨垫拆卸工具由以下的实施例及附图给出。图I是本实用新型的研磨垫拆卸工具一实施例的结构示意图；图中1-手柄、2-连接杆、21-长条形槽。
具体实施方式
以下将对本实用新型的研磨垫拆卸工具作进一步的详细描述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。请参阅图1，本实用新型提供的研磨垫拆卸工具，包括手柄I和连接杆2，所述连接杆2的一端垂直连接于所述手柄I的中部，所述连接杆2上沿连接杆2的纵向设有一长条形槽21。所述研磨垫拆卸工具结构简单、易于操作，使用时，先将研磨垫的一小部分卷起，插入到连接杆2的长条形槽21中，使得研磨垫深入长条形槽21中5-6厘米；然后，转动手柄I将研磨垫全卷绕在连接杆2上数圈；最后利用杠杆原理，以研磨垫下方的研磨平台的边缘为支点，向下按手柄1，使得研磨垫抬起，从而，实现对研磨平台上的研磨垫的快速、有效拆卸，省时省力，有效提高了工作效率。优选的，在上述的研磨垫拆卸工具中，所述连接杆2是空心圆管，以使整个拆卸工具更加轻便，并且节省材料。优选的，在上述的研磨垫拆卸工具中，所述连接杆2的长度B1范围是100-120厘米，所述连接杆2的外径Id1范围可以是5-8厘米。上述结构的连接杆2，适用于50英寸的研磨垫拆卸。当然，连接杆2的长度范围也可以根据所需要拆卸的研磨垫的大小进行调整。优选的，在上述的研磨垫拆卸工具中，所述长条形槽21的长度a2范围可以是15-20厘米，所述长条形槽21的宽度b2范围是2-5厘米，使得长条形槽21的宽度略微大于研磨垫的厚度，以和研磨垫的厚度相适应，便于长条形槽21卷绕所述研磨垫。优选的，在上述的研磨垫拆卸工具中，所述手柄I是空心圆管，以使整个拆卸工具更加轻便，并且节省材料。优选的，在上述的研磨垫拆卸工具中，所述手柄I的长度a3范围可以是40-50厘米，所述手柄I的外径范围可以是5-8厘米。上述结构的手柄I便于设备工程抓握，提高使用的便利性和舒适度。当然，手柄I的长度范围也可以进行适应性调整。优选的，在上述的研磨垫拆卸工具中，所述手柄I和连接杆2的材质均是金属，当然，所述手柄I和连接杆2也可以由其它具有一定刚度的材料制成。优选的，在上述的研磨垫拆卸工具中，所述手柄I和连接杆2是一体成型的，以便于加工制作。综上所述，本实用新型提供的研磨垫拆卸工具，结构简单、易于操作，使用时，先将·研磨垫的一小部分卷起，插入到连接杆的长条形槽中，然后，转动手柄将研磨垫全卷绕在连接杆上数圈，最后利用杠杆原理，以研磨垫下方的研磨平台的边缘为支点，向下按手柄，使得研磨垫抬起，从而，实现对研磨平台上的研磨垫的快速、有效拆卸，省时省力，有效提高了工作效率。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种研磨垫拆卸工具，其特征在于，包括手柄和连接杆，所述连接杆的一端垂直连接于所述手柄的中部，所述连接杆上沿连接杆的纵向设有一长条形槽。
2.根据权利要求I所述的研磨垫拆卸工具，其特征在于，所述长条形槽的长度范围是15-20厘米。
3.根据权利要求2所述的研磨垫拆卸工具，其特征在于，所述长条形槽的宽度范围是2-5厘米。
4.根据权利要求2所述的研磨垫拆卸工具，其特征在于，所述连接杆的长度范围是100-120 厘米。
5.根据权利要求I所述的研磨垫拆卸工具，其特征在于，所述连接杆是空心圆管。
6.根据权利要求5所述的研磨垫拆卸工具，其特征在于，所述连接杆的外径范围是5-8厘米。
7.根据权利要求I所述的研磨垫拆卸工具，其特征在于，所述手柄的长度范围是40-50厘米。
8.根据权利要求I所述的研磨垫拆卸工具，其特征在于，所述手柄是空心圆管。
9.根据权利要求8所述的研磨垫拆卸工具，其特征在于，所述手柄的外径范围是5-8厘米。
10.根据权利要求1-9中任意一项所述的研磨垫拆卸工具，其特征在于，所述手柄和连接杆是一体成型的。
专利摘要本实用新型公开了一种研磨垫拆卸工具，包括手柄和连接杆，所述连接杆的一端垂直连接于所述手柄的中部，所述连接杆上沿连接杆的纵向设有一长条形槽。本实用新型提供的研磨垫拆卸工具，结构简单、易于操作，使用时，先将研磨垫的一小部分卷起，插入到连接杆的长条形槽中，然后，转动手柄将研磨垫全卷绕在连接杆上数圈，最后利用杠杆原理，以研磨垫下方的研磨平台的边缘为支点，向下按手柄，使得研磨垫抬起，从而，实现对研磨平台上的研磨垫的快速、有效拆卸，省时省力，有效提高了工作效率。
文档编号B24B53/017GK202702031SQ20122041023
公开日2013年1月30日 申请日期2012年8月17日 优先权日2012年8月17日
发明者朱思静, 马岚 申请人:武汉新芯集成电路制造有限公司, 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司