专利名称：连续式水平溅镀机传输机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种连续式水平溅镀机传输机构。
背景技术：
连续式水平溅镀机是一种在高真空条件下，利用气体放电产生的荷能离子在电场的作用下高速轰击阴极靶材，使靶材原子和分子逸出而沉积到基片上形成薄膜的机器，传输马达带动链条转动从而带动传输导轮使载盘前进的传输方式被广泛应用，如图1和图2所示，目前连续式水平溅镀机所使用的这种传输方式，在长时间的传输过程中经常会出现传输载盘传动受阻和卡在两侧侧面导向轴承之间的设备故障，造成生产停止，使维护成本提高，如果不能及时处理，会浪费大量的人力和物力，最终造成生产成本的提高。
实用新型内容目的为了克服现有技术中存在的不足，解决现有技术中正常生产时载盘在传输过程中发生跑偏而卡住载盘而使生产停止的问题，本实用新型提供一种连续式水平溅镀机传输机构，使用方便，结构简单，成本低，能有效的降低溅镀腔的传动故障率，提高了机台的稼动率并节约了大量的劳动力与生产成本。技术方案为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为一种连续式水平溅镀机传输机构，包括传输 马达、侧面导向轴承、传输胶轮、传输链条、传输主轴、传输支架和传输载盘，其特征在于所述连续式水平溅镀机传输机构的传输侧面设置有用于保护侧面导向轴承和维持传输载盘在固定的轨道上传输的侧面导向支撑，所述侧面导向支撑为内空结构，侧面导向轴承安装在所述侧面导向支撑内部外露部分外径。所述侧面导向支撑为长条形结构，材质为不锈钢。所述传输载盘的四个角为圆角。有益效果本实用新型提供的连续式水平溅镀机传输机构，在传输侧面增加侧面导向支撑结构，侧面导向轴承安装在里面只露出小部分外径大大减少了溅镀粉尘进入侧面导向轴承，很好的保护了侧面导向轴承，另此侧面支撑把各侧面导向轴承连接起来使两侧一直保证在水平线上，另传输载盘的四个直角改为圆角，所以即使传输载盘跑偏也只会接触到侧面导向支撑，由于角度很小不会造成传输载盘卡在其传动处，能有效的降低溅镀腔的传动故障率，提高了机台的稼动率，并节约了大量的劳动力与生产成本。
图1和图2为现有技术的连续式水平溅镀机传输机构的示意图；图3和图4为本实用新型连续式水平溅镀机传输机构的示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作更进一步的说明。[0011]如图3和图4所不为一种连续式水平派镀机传输机构,包括传输马达1、侧面导向轴承3、传输胶轮4、传输链条5、传输主轴6、传输支架7和传输载盘8,其特征在于所述连续式水平溅镀机传输机构的传输侧面设置有用于保护侧面导向轴承3和维持传输载盘8在固定的轨道上传输的侧面导向支撑2，所述侧面导向支撑2为内空结构，侧面导向轴承3安装在所述侧面导向支撑2内部外露部分外径；所述侧面导向支撑2为长条形结构，材质为不锈钢；所述传输载盘8的四个角为圆角。所述传输胶轮4固定在传输主轴6和传输支架7上,并由传输链条5相互按顺序连接，由传输马达I转动带动传输主轴6，从而带动传输链条5转动传输胶轮4达到传输载盘8的方式，并由两侧面导向轴承3和侧面导向支撑2来维持传输载盘8在固定的轨道上传输，此侧面导向支撑2结构为内空结构，侧面导向轴承3安装在里面只露出5_外径大大减少了溅镀粉尘进入侧面导向轴承3，很好的保护了侧面导向轴承3，另此侧面支撑2把各侧面导向轴承3连接起来使两侧一直保证在水平线上此种设计很好的控制住传输载盘8跑偏的角度使其角度很小，确保不会造成传输载盘8卡在其传动处。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的 保护范围。
权利要求1.连续式水平溅镀机传输机构，包括传输马达、侧面导向轴承、传输胶轮、传输链条、传输主轴、传输支架和传输载盘，其特征在于所述连续式水平溅镀机传输机构的传输侧面设置有用于保护侧面导向轴承和维持传输载盘在固定的轨道上传输的侧面导向支撑，所述侧面导向支撑为内空结构，侧面导向轴承安装在所述侧面导向支撑内部外露部分外径。
2.根据权利要求1所述的连续式水平溅镀机传输机构，其特征在于所述侧面导向支撑为长条形结构，材质为不锈钢。
3.根据权利要求1或2所述的连续式水平溅镀机传输机构，其特征在于所述传输载盘的四个角为圆角。
专利摘要本实用新型公开了一种连续式水平溅镀机传输机构，包括传输马达、侧面导向轴承、传输胶轮、传输链条、传输主轴、传输支架和传输载盘，其特征在于所述连续式水平溅镀机传输机构的传输侧面设置有用于保护侧面导向轴承和维持传输载盘在固定的轨道上传输的侧面导向支撑，所述侧面导向支撑为内空结构，侧面导向轴承安装在所述侧面导向支撑内部外露部分外径；所述传输载盘的四个角为圆角。本实用新型提供的连续式水平溅镀机传输机构，在传输侧面增加侧面导向支撑结构，很好的保护了侧面导向轴承，把各侧面导向轴承连接起来使两侧一直保证在水平线上，能有效的降低溅镀腔的传动故障率，提高了机台的稼动率，并节约了大量的劳动力与生产成本。
文档编号C23C14/56GK202865332SQ20122051166
公开日2013年4月10日 申请日期2012年10月8日 优先权日2012年10月8日
发明者黄国兴, 费文池, 王光华, 姜建峰 申请人:赫得纳米科技(昆山)有限公司