一种mocvd上下盘结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种驱动MOCVD载片盘上下移动的装置，具有用以承载MOCVD盘的载片盘机构（3）、机架、扁平而狭长的墙板（1）、固定于墙板正面的沿墙板长轴方向水平分布的水平导轨（2）、固定在机架与墙板背面之间的传动机构，所述载片盘机构卡接在水平导轨上并可沿水平导轨水平移动，所述传动机构包括：固定在机架上的电机（4），电机通过涡轮机构驱动丝杆机构，驱动载片盘机构上下移动。与现有技术相比，本实用新型简化进盘结构，降低了设备的制造成本；由于简化了进盘结构，使制造、安装和调试变得简单易行；进盘结构操作简便，易于观察。
【专利说明】—种MOCVD上下盘结构
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及M0CVD生产设备，尤其涉及一种M0CVD搬运进反应室的M0CVD上下盘结构。
【背景技术】
[0002]M0CVD是以III族、II族元素的有机化合物和V、VI族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种II1-V族、I1-VI族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。通常M0CVD系统中的晶体生长都是在常压或低压(lO-lOOTorr)下通H2的冷壁石英反应室中进行。由于其反应室内部的温度高达几百至上千摄氏度，故必须使用机械手进行进出盘的操作。目前的进出盘结构是:使用手动加机械手联合的方式搬运载片盘。现有的机械手存在以下缺陷:1、现有的机械手结构，其运行轨迹为复杂的曲线运动，使得其本身构造复杂，加工精度高，装配难度大，调试困难，控制过程复杂。2、现有的进盘结构中，手动搬运操作需要通过无尘胶手套，操作过程不灵便。机械手搬运过程处于封闭腔体内，不便于对运行过程的观察，也难以发现问题。3、机械手制造困难，成本高昂。
实用新型内容
[0003]本实用新型是要解决现有技术的上述问题，提出进行直线运动的M0CVD上下盘结构。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型提出的技术方案是设计一种M0CVD上下盘结构，具有用以承载M0CVD盘的载片盘机构，其特征在于，包括:机架、扁平而狭长的墙板、固定于墙板正面的沿墙板长轴方向水平分布的水平导轨、固定在机架与墙板背面之间的传动机构，所述载片盘机构卡接在水平导轨上并可沿水平导轨水平移动，所述传动机构包括:固定在机架上的电机，电机两端伸出水平传动轴，水平传动轴的两端分别连接左蜗轮和右蜗轮，左右蜗轮分别啮合一条下垂的左蜗杆和右蜗杆，左蜗杆和右蜗杆下端同轴连接左丝杆和右丝杆，左丝杆和右丝杆分别与左丝杆螺母和右丝杆螺母啮合传动，左右丝杆螺母皆固定在墙板背面。
[0005]在所述墙板背面的两端分别与机架之间设置有导向装置。
[0006]所述导向装置包括竖直导轨，竖直导轨两端设有固定在所述机架上的固定座，竖直导轨中部套接至少一个套管，该套管固定在所述墙板背面。
[0007]所述墙板背面设有一遮光片，所述机架上设有上光电开关和下光电开关，上下光电开关分别位于遮光片的上方和下方。
[0008]与现有技术相比，本实用新型简化进盘结构，降低了设备的制造成本；由于简化了进盘结构，使制造、安装和调试变得简单易行；进盘结构操作简便，易于观察。
【专利附图】
【附图说明】[0009]下面结合附图和实施例对本实用新型作出详细的说明，其中:
[0010]图1为本实用新型较佳实施例的背视图；
[0011]图2为本实用新型较佳实施例的俯视图。
【具体实施方式】
[0012]本实用新型一种M0CVD上下盘结构，其具有用以承载M0CVD盘的载片盘机构3、机架(附图中未绘出)、扁平而狭长的墙板1、固定于墙板正面的沿墙板长轴方向水平分布的水平导轨2、固定在机架与墙板背面之间的传动机构，所述载片盘机构卡接在水平导轨上并可沿水平导轨水平移动，所述传动机构包括:固定在机架上的电机4，电机两端伸出水平传动轴5，水平传动轴的两端分别连接左蜗轮6和右蜗轮7，左右蜗轮分别啮合一条下垂的左蜗杆和右蜗杆，左蜗杆和右蜗杆下端同轴连接左丝杆和右丝杆，左丝杆和右丝杆分别与左丝杆螺母9和右丝杆螺母10啮合传动，左右丝杆螺母皆固定在墙板背面。
[0013]参看图1，墙板1为长方形的一块板，侧立放置，其长轴方向保持水平；载片盘机构3可沿着其正面的水平导轨2水平移动，用以将载片盘送入反应室或将载片盘由反应室中取出；传动机构驱动墙板1和载片盘机构3上下移动。电机4提供动力驱动水平传动轴5旋转，经蜗轮机构减速后，动力传递到丝杆，丝杆与杆螺母啮合可带动墙板1上下移动。图1中蜗轮机构和丝杆机构分为左右两套，是考虑到墙板1长度较长，布置左右两套蜗轮机构和丝杆机构有利于平稳升降墙板1。较佳实施例中还在水平传动轴5与电机4和蜗轮的连接处设置联轴器17，以便于生产和安装。
[0014]为了使墙板1上下移动时平稳运行，在所述墙板1背面的两端分别与机架之间设
置有导向装置。
[0015]较佳实施例中，导向装置包括竖直导轨11，竖直导轨两端设有固定在所述机架上的固定座12，竖直导轨中部套接至少一个套管13，该套管固定在所述墙板1背面。参看图1，套管13有上下两个，这样可以减少耗材、减轻重量，并能保证良好的导向。竖直导轨可采用圆形钢管。
[0016]为提供限位保护，在墙板1背面设有一遮光片16，在机架上设有上光电开关14和下光电开关15，上下光电开关分别位于遮光片的上方和下方。工作中，墙板1上移，带动遮光片16上移，遮光片16插入上光电开关14的发射头和接收头之间，阻断的光线的传递，上光电开关14被触发，触发信号传递给控制电路，控制电路控制电机停止转动；墙板1下移时，控制方式与上移相同，不再赘述。
[0017]以上实施例仅为举例说明，非起限制作用。任何未脱离本申请精神与范畴，而对其进行的等效修改或变更，均应包含于本申请的权利要求范围之中。
【权利要求】
1.一种MOCVD上下盘结构，具有用以承载MOCVD盘的载片盘机构(3 )，其特征在于包括:机架、扁平而狭长的墙板(1)、固定于墙板正面的沿墙板长轴方向水平分布的水平导轨(2)、固定在机架与墙板背面之间的传动机构，所述载片盘机构卡接在水平导轨上并可沿水平导轨水平移动，所述传动机构包括:固定在机架上的电机(4)，电机两端伸出水平传动轴(5)，水平传动轴的两端分别连接左蜗轮(6)和右蜗轮(7)，左右蜗轮分别啮合一条下垂的左蜗杆和右蜗杆，左蜗杆和右蜗杆下端同轴连接左丝杆和右丝杆，左丝杆和右丝杆分别与左丝杆螺母(9)和右丝杆螺母(10)啮合传动，左右丝杆螺母皆固定在墙板背面。
2.如权利要求1所述的M0CVD上下盘结构，其特征在于:在所述墙板(1)背面的两端分别与机架之间设置有导向装置。
3.如权利要求2所述的M0CVD上下盘结构，其特征在于:所述导向装置包括竖直导轨(11)，竖直导轨两端设有固定在所述机架上的固定座(12)，竖直导轨中部套接至少一个套管(13 )，该套管固定在所述墙板(1)背面。
4.如权利要求1至3任一项所述的M0CVD上下盘结构，其特征在于:所述墙板(1)背面设有一遮光片(16),所述机架上设有上光电开关(14)和下光电开关(15),上下光电开关分别位于遮光片的上方和下方。
【文档编号】C23C16/44GK203498503SQ201320476723
【公开日】2014年3月26日 申请日期:2013年8月6日 优先权日:2013年8月6日
【发明者】杨宝立 申请人:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司