一种用于高温扩散炉的石墨舟卡点装卸装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开一种用于高温扩散炉的石墨舟卡点装卸装置，包括一个支架，支架下方设置有用于安装石墨片的底座，支架上还设置有悬梁，悬梁上设置有可以上下滑动的滑杆，滑杆位于石墨片上方，滑杆前端连接有顶杆，石墨片上具有一工艺孔，底座上设置有与工艺孔对应的通孔，所述顶杆与工艺孔、通孔上下对应。在安装和卸载石墨舟卡点过程中，大大的降低了石墨舟片的隐裂，以及卡点边缘破损的机率，实现本实用新型的目的。
【专利说明】一种用于高温扩散炉的石墨舟卡点装卸装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种石墨舟片卡点装卸装置，特别涉及一种用于晶体硅太阳能电池生产的PECVD石墨舟卡点装卸装置。
【背景技术】
[0002]PECVD是利用高频电源辉光放电产生等离子体进行化学气相沉积的过程。其特点是:沉积温度低、电子密度高、电子平均能量大、富含大量化学气相沉积的活性粒子和自由基。PECVD等离子体中由于含有高密度的离子，这些具有一定动能的离子对沉积的减反射钝化膜进行轰击，可以提高膜的致密性和应力。
[0003]在管式PECVD设备中，基片沿极板立式放置，摆放很多组。在基片的装载与卸载过程中，容易对石墨舟卡点造成磨损；当石墨舟进反应炉后，在闻温和闻频辉光的环境中，石墨舟卡容易腐蚀及老化。从而需要大量更换石墨舟卡点。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的在于提供一种用于高温扩散炉的石墨舟卡点装卸装置，针对现有技术的不足，能在安装与拆卸过程中降低石墨舟卡点及石墨舟片隐裂的机率。
[0005]本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现:
[0006]一种用于高温扩散炉的石墨舟卡点装卸装置，包括一个支架，支架下方设置有用于安装石墨片的底座，支架上还设置有悬梁，悬梁上设置有可以上下滑动的滑杆，滑杆位于石墨片上方，滑杆前端连接有顶杆，石墨片上具有一工艺孔，底座上设置有与工艺孔对应的通孔，所述顶杆与工艺孔、通孔上下对应。
[0007]滑杆设置有一杆套，杆套固定在悬梁上，滑杆可上下的在杆套内滑动。
[0008]滑杆上方穿过杆套，滑杆穿过杆套部分设置有螺纹，滑杆带有螺纹部分套有螺母。
[0009]滑杆上还设置有切换扣，切换扣位于螺母下方。
[0010]悬架上还设置有一控制滑杆上下的摇杆。
[0011]所述顶杆通过一固定螺丝连接在滑杆下端。
[0012]当定位螺母调整适当位置后，打开切换扣即可快速拆卸石墨舟卡点；合上切换扣即可快速安装石墨舟卡点。实现快速切换石墨舟卡点装卸装置工作模式的快点切换。
[0013]有益效果，本实用新型所述的一种用于高温扩散炉的石墨舟卡点装卸装置，结构精巧，可以有效的避免石墨舟片的损坏，在安装与拆卸过程中降低石墨舟卡点及石墨舟片隐裂的机率。操作简单，使用方便。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型所述的一种用于高温扩散炉的石墨舟卡点装卸装置的整体装配结构示意图。
[0015]图2为图1的局部结构示意图。[0016]图3为本实用新型所述的摇杆结构装配分解图。
[0017]图4为本实用新型所述的石墨片示意图。
【具体实施方式】
[0018]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
[0019]参看图1一图4，一种用于高温扩散炉的石墨舟卡点装卸装置，包括一个支架1，支架I下方设置有用于安装石墨片5的底座2，支架I上还设置有悬梁3，悬梁3上设置有可以上下滑动的滑杆4，滑杆4位于石墨片5上方，滑杆4前端连接有顶杆6，石墨片5上具有一工艺孔51，底座上设置有与工艺孔对应的通孔21，所述顶杆6与工艺孔51、通孔21上下对应。
[0020]滑杆4设置有一杆套7，杆套7固定在悬梁3上，杆套7的一侧设有杆套口 71，滑杆4可上下的在杆套7内滑动。
[0021]滑杆4上方穿过杆套7，滑杆4穿过杆套上方部分设置有螺纹，滑杆4带有螺纹部分套有螺母8。通过调整螺母8的高度，可控制滑杆4下降的深度。滑杆4在杆套7中的部分带有齿纹72，用于滑杆与齿轮73的咬合，齿轮72则连接摇杆10，如图2。
[0022]滑杆4上还设置有切换扣9，切换扣9位于螺母8下方。
[0023]悬架3上还设置有悬架通孔79。用于固定齿轮73和连接轴74。连接轴上设置有花键75，花键75的形状与齿轮72通孔的形装相同，用于与齿轮的咬合，连接轴74上还设置有通孔76和丝孔，摇杆10穿过通孔76后用螺丝77可以固定。如图4，连接轴74穿过垫片78后，再穿过齿轮73，再穿这悬架通孔79，再穿垫片，最后用螺母固定在悬架3上。
[0024]悬架3上还设置有一控制滑杆4上下的摇杆10,摇杆的一端为配重球101,另一端为摇把，配重球101固定在摇杆上的，而摇把直接套在摇杆的。取下摇把，摇杆穿过连接轴通孔，用连接轴上的螺丝固定摇杆。在装卸卡点过程中，摇动摇杆后，摇杆会在配重球的重力作用下回到起始点，滑杆4也会上升至起始点，参看图3。
[0025]所述顶杆6通过一固定螺丝连接在滑杆下端。
[0026]将石墨片上的工艺孔51与如图1底座通孔21对齐，调整并固定MlO螺母，此时摇动摇杆，即可装卸卡点。底座孔径比石墨舟片上的卡点孔只大3-4mm，使得石墨舟片受力后形变小，所以不容易隐裂。
[0027]需要切换工作模式时，只需旋转切换扣。把切换扣旋至MlO螺母下方时，则可以安装石墨舟卡点，把切换扣移出去后则可以拆卸石墨舟卡点。
[0028]本实用新型所述的一种用于高温扩散炉的石墨舟卡点装卸装置，结构精巧，可以有效的避免石墨舟片的损坏，在安装与拆卸过程中降低石墨舟卡点及石墨舟片隐裂的机率。操作简单，使用方便。
【权利要求】
1.一种用于高温扩散炉的石墨舟卡点装卸装置，其特征在于，包括一个支架，支架下方设置有用于安装石墨片的底座，支架上还设置有悬梁，悬梁上设置有可以上下滑动的滑杆，滑杆位于石墨片上方，滑杆前端连接有顶杆，石墨片上具有一工艺孔，底座上设置有与工艺孔对应的通孔，所述顶杆与工艺孔、通孔上下对应。
2.根据权利要求1所述的一种用于高温扩散炉的石墨舟卡点装卸装置，其特征是，滑杆设置有一杆套，杆套固定在悬梁上，滑杆可上下的在杆套内滑动。
3.根据权利要求1所述的一种用于高温扩散炉的石墨舟卡点装卸装置，其特征是，滑杆上方穿过杆套，滑杆穿过杆套部分设置有螺纹，滑杆带有螺纹部分套有螺母。
4.根据权利要求1所述的一种用于高温扩散炉的石墨舟卡点装卸装置，其特征是，滑杆上还设置有切换扣，切换扣位于螺母下方。
5.根据权利要求1所述的一种用于高温扩散炉的石墨舟卡点装卸装置，其特征是，悬架上还设置有一控制滑杆上下的摇杆。
6.根据权利要求1所述的一种用于高温扩散炉的石墨舟卡点装卸装置，其特征是，所述顶杆通过一固定螺丝连接在滑杆下端。
【文档编号】C23C16/458GK203683661SQ201320885706
【公开日】2014年7月2日 申请日期:2013年12月31日 优先权日:2013年12月31日
【发明者】王元 申请人:上海索日新能源科技有限公司