一种便于在线维护的膜厚监控设备的制作方法
一种便于在线维护的膜厚监控设备的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种应用于真空制膜镀膜机中监控膜厚及镀膜速率的监控仪器设备，尤指不需要停止生产作业线的一种便于在线维护的膜厚监控设备及其维护工艺；设备主要包括监控系统、控制系统和工作炉体，监控系统包括监控探测仪、腔体和密封端盖，监控探测仪为带有监控探头的长条杆状，可伸缩移动安装在腔体内部，从腔体一端贯穿腔体内部延伸到另外一端；在正常工作时，监控系统安装在工作炉体上使其合为一体，并通过控制系统对监控系统实时在线监控和操作，对监控系统进行维护工作时，只需将监控探测仪脱离工作炉体后在外界进行正常的维护工作，保证工作炉体的清洁度，实现在线维护，降低了维护难度和维护成本，提高了维护工作的质量。
【专利说明】一种便于在线维护的膜厚监控设备
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种应用于真空制膜镀膜机中监控膜厚及镀膜速率的监控仪器 设备，尤指一种在对膜厚监控仪器设备进行维护时不需要停止生产作业线的一种便于在线 维护的膜厚监控设备。
【背景技术】
[0002] 随着科技的发展，出现了很多性能凸显的产品，如LED原件、发光二极管、显示器、 钢化玻璃等，而在对这些产品使用时，为了延长产品的使用寿命或提高产品的质量，通常会 对这些产品进行制备薄膜或镀膜保护，而在制膜或镀膜过程中通常是采用真空镀膜机在真 空的状态下进行制膜镀膜，真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体 包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多 种，这些生产设备及工艺通常都是在真空状态下进行，这样才能提高及准确监控到制膜或 镀膜的质量，在对制膜或镀膜的膜厚及速率进行监控时，通常是采用监控仪器设备，监控仪 器设备的重要部件就是监控探头，由于监控探头的成分通常是石英晶精准片，在使用时间 长的时候要对监控仪器设备或监控探头进行更换、维修、养护等维护工作，由于监测探头、 晶片等都处于工作炉子内部，通常在进行维护工作时，会把整个作业线停止，然后将监控仪 器设备工作所在工作炉体的真空空间进行放气后，使得真空空间不再是真空状态，这时再 通过机械手或人工进入工作炉体进行维护工作，所以进行维护工作时停止整个生产作业线 会给生产带来很多不便，同时如人工进入工作炉体进行维护工作会使得工作炉体的清洁度 遭到破坏，不仅增加维护成本，消耗大量因停工或处置真空状态的时间，更重要的加大了维 护的难度，且维护精度不高。
【发明内容】
[0003] 为了弥补现有技术中的的不足，本实用新型旨在提供一种应用于真空制膜镀膜机 中监控膜厚及镀膜速率的监控仪器设备，包括应用于真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束 外延，PLD激光溅射沉积等很多种，尤指一种在对膜厚监控仪器设备进行维护时不需要停止 生产作业线的一种便于在线维护的膜厚监控设备。
[0004] 为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种便于在线维护的膜厚监控 设备，所述的设备主要包括监控系统、控制系统和工作炉体，监控系统与工作炉体连接，控 制系统与监控系统电性相连；所述的监控系统包括监控探测仪、腔体和密封端盖，监控探测 仪为带有监控探头的长条杆状，可伸缩移动安装在腔体内部，从腔体一端贯穿腔体内部延 伸到另外一端；当监控探测仪处于工作状态时，控制系统控制监控探测仪往密封端盖方向 伸长移动，使得探头部分贯穿密封端盖延伸在腔体外；当监控探测仪处于维护状态时，控制 系统控制监控探测仪背向密封端盖侧收缩移动，使得探头部分收缩在腔体内部；腔体正对 收缩在腔体内部的探头位置上开设有通孔，通孔上安装有阀门，打开阀门后腔体内部通过 阀门与外界环境相通，维护工具可以从阀门进入腔体内部对监控探测仪或探头进行维护， 关闭阀门使得通孔处于密封状态；腔体上安装有气阀，气阀上连接有压力计；所述的腔体 一端开口，密封端盖安装在腔体开口端，腔体通过密封端盖与工作炉体连接；所述的密封端 盖可密封镶嵌在工作炉体内部，当密封端盖关闭时，腔体内部与外界环境隔绝密封，当密封 端盖打开时，腔体内部与外界环境相通。
[0005] 所述的监控探测仪通过与气缸或马达连接可伸缩移动式安装在腔体内部。
[0006] 所述的腔体为一端开口的圆柱体状。
[0007] 所述的气阀可对腔体内部进行放气或抽气操作，压力计显示腔体内部的气压情 况。
[0008] 所述的密封端盖包括滑轨结构和密封块，滑轨结构直接安装在腔体的开口端上， 密封块的厚度与滑轨结构上的滑槽相适配构成滑动连接，密封块沿着滑槽移动可打开或密 封腔体。
[0009] 所述的设备在正常工作时，监控系统通过将密封端盖密封镶嵌在工作炉体内部使 得监控系统与工作炉体连接成一体。
[0010] 本实用新型的有益效果体现在：首先，本实用新型在正常工作时，监控系统安装在 工作炉体上使其合为一体，并通过控制系统对监控系统实时在线监控和操作，不会影响监 控系统的正常工作性能，更重要的是要对监控系统进行更换、维修、养护等维护工作时，只 需要通过控制系统单独将监控系统的监控探测仪脱离工作炉体的真空环境后在工作炉体 的外界进行正常的维护工作，而不需要整个作业线停止，将空气排入工作炉体中后进入工 作炉体内部进行维护工作，不仅保证了工作炉体的清洁度，更重要的是不需要停止作业线 实现在线维护，降低了维护难度和维护成本，提高了维护工作的质量。
【专利附图】
【附图说明】
[0011] 图1是本实用新型的组装结构示意图。
[0012] 图2是本实用新型监控系统处于伸长状态的立体结构示意图。
[0013] 图3是本实用新型监控系统处于收缩状态的立体结构示意图。
[0014] 附图标注说明：1 -工作炉体，2-监控系统，21-监控探测仪，22-腔体，23-密封端 盖，5-阀门，6-气阀，7-压力计，8-气缸或马达，24-滑轨结构，25-密封块，26-探头。
【具体实施方式】
[0015] 下面结合【专利附图】
【附图说明】本实用新型的【具体实施方式】：
[0016] 一种便于在线维护的膜厚监控设备，所述的设备主要包括监控系统2、控制系统和 工作炉体1，监控系统2与工作炉体1连接，控制系统与监控系统2电性相连；所述的监控系 统2包括监控探测仪21、腔体22和密封端盖23,监控探测仪21为带有监控探头的长条杆 状，可伸缩移动安装在腔体22内部，从腔体22-端贯穿腔体22内部延伸到另外一端，监控 探测仪21通过与气缸或马达8连接可伸缩移动式安装在腔体22内部；当监控探测仪21处 于工作状态时，控制系统控制监控探测仪21往密封端盖23方向伸长移动，使得探头26部 分贯穿密封端盖23延伸在腔体22外；当监控探测仪21处于维护状态时，控制系统控制监 控探测仪21背向密封端盖23侧收缩移动，使得探头26部分收缩在腔体22内部；腔体22 正对收缩在腔体22内部的探头26位置上开设有通孔，通孔上安装有阀门5,打开阀门5后 腔体22内部通过阀门5与外界环境相通，维护工具可以从阀门5进入腔体22内部对监控 探测仪21或探头26进行维护，关闭阀门5使得通孔处于密封状态；腔体22上安装有气阀 6,气阀6上连接有压力计7,气阀6可对腔体22内部进行放气或抽气操作，压力计7显示腔 体22内部的气压情况；所述的为一端开口的圆柱体状，密封端盖23安装在腔体22开口端， 腔体22通过密封端盖23与工作炉体1连接；所述的密封端盖23可密封镶嵌在工作炉体1 内部，密封端盖23包括滑轨结构24和密封块25,滑轨结构24直接安装在腔体22的开口端 上，密封块25的厚度与滑轨结构24上的滑槽相适配构成滑动连接，密封块25沿着滑槽移 动可打开或密封腔体22,当密封端盖23关闭时，腔体22内部与外界环境隔绝密封，当密封 端盖23打开时，腔体22内部与外界环境相通；所述的设备在正常工作时，监控系统2通过 将密封端盖23密封镶嵌在工作炉体1内部使得监控系统2与工作炉体1连接成一体。
[0017] 一种便于在线维护的膜厚监控设备的维护工艺，当设备处于正常工作状态时，监 控探测仪21的探头26部分处于收缩状态收缩在腔体22内部，使其正常工作的工艺是，控 制系统控制密封块25沿着滑轨结构24的滑槽移动以关闭密封腔体22,并控制气阀6对腔 体22内部进行抽气操作，通过压力计7可以直观的观测到腔体22内部的气压情况，直到腔 体22内部的空气被抽尽处于真空状态后关闭气阀6,然后控制密封块25沿着滑轨结构24 的滑槽移动打开腔体22与工作炉体1的真空环境相通，驱动监控探测仪21往密封端盖23 方向伸长移动，使得探头26部分贯穿密封端盖23延伸在腔体22外处于工作炉体1的内部 环境，进行正常制膜或镀膜时监控膜厚和速率。
[0018] 一种便于在线维护的膜厚监控设备的维护工艺，当设备处于需要维护状态时，监 控探测仪21的探头26部分处于伸长状态延伸在腔体22外部及工作炉体1的内部，对其进 行维护的工艺是，控制系统驱动监控探测仪21背向密封端盖23方向收缩移动，使得探头26 部分脱离工作炉体1工作环境收缩在腔体22内部，然后控制密封块25沿着滑轨结构24的 滑槽移动以关闭密封腔体22,并控制气阀6对腔体22内部进行放气操作，通过压力计7可 以直观的观测到腔体22内部的气压情况，直到腔体22内部充满空气处于非真空状态后打 开阀门5，使得腔体22内部环境通过阀门5与外界非真空环境相通，然后机械手或人工通过 阀门5进入腔体22内部对监控探测仪21或其探头26进行更换、修理、养护等维护工作。
[0019] 本实用新型在正常工作时，监控系统2安装在工作炉体1上使其合为一体，并通过 控制系统对监控系统2实时在线监控和操作，不会影响监控系统2的正常工作性能，更重要 的是要对监控系统2进行更换、维修、养护等维护工作时，只需要通过控制系统单独将监控 系统2的监控探测仪21脱离工作炉体1的真空环境实现分体后，在工作炉体1的外界进行 正常的维护工作，而不需要整个作业线停止,将空气排入工作炉体1中后进入工作炉体1内 部进行维护工作，不仅保证了工作炉体1的清洁度，更重要的是不需要停止作业线实现在 线维护，降低了维护难度和维护成本，提高了维护工作的质量。
[0020] 以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型的技术范围作任何 限制，本行业的技术人员，在本技术方案的启迪下，可以做出一些变形与修改，凡是依据本 实用新型的技术实质对以上的实施例所作的任何修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用 新型技术方案的范围内。
【权利要求】
1. 一种便于在线维护的膜厚监控设备，所述的设备主要包括监控系统、控制系统和工 作炉体，监控系统与工作炉体连接，控制系统与监控系统电性相连；其特征在于：所述的监 控系统包括监控探测仪、腔体和密封端盖，监控探测仪为带有监控探头的长条杆状，可伸缩 移动安装在腔体内部，从腔体一端贯穿腔体内部延伸到另外一端；当监控探测仪处于工作 状态时，控制系统控制监控探测仪往密封端盖方向伸长移动，使得探头部分贯穿密封端盖 延伸在腔体外；当监控探测仪处于维护状态时，控制系统控制监控探测仪背向密封端盖侧 收缩移动，使得探头部分收缩在腔体内部；腔体正对收缩在腔体内部的探头位置上开设有 通孔，通孔上安装有阀门，打开阀门后腔体内部通过阀门与外界环境相通，维护工具可以从 阀门进入腔体内部对监控探测仪或探头进行维护，关闭阀门使得通孔处于密封状态；腔体 上安装有气阀，气阀上连接有压力计； 所述的腔体一端开口，密封端盖安装在腔体开口端，腔体通过密封端盖与工作炉体连 接； 所述的密封端盖可密封镶嵌在工作炉体内部，当密封端盖关闭时，腔体内部与外界环 境隔绝密封，当密封端盖打开时，腔体内部与外界环境相通。
2. 根据权利要求1所述的一种便于在线维护的膜厚监控设备，其特征在于：所述的监 控探测仪通过与气缸或马达连接可伸缩移动式安装在腔体内部。
3. 根据权利要求1所述的一种便于在线维护的膜厚监控设备，其特征在于：所述的腔 体为一端开口的圆柱体状。
4. 根据权利要求1所述的一种便于在线维护的膜厚监控设备，其特征在于：所述的气 阀可对腔体内部进行放气或抽气操作，压力计显示腔体内部的气压情况。
5. 根据权利要求1所述的一种便于在线维护的膜厚监控设备，其特征在于：所述的密 封端盖包括滑轨结构和密封块，滑轨结构直接安装在腔体的开口端上，密封块的厚度与滑 轨结构上的滑槽相适配构成滑动连接，密封块沿着滑槽移动可打开或密封腔体。
6. 根据权利要求1-5任一项所述的一种便于在线维护的膜厚监控设备，其特征在于： 所述的设备在正常工作时，监控系统通过将密封端盖密封镶嵌在工作炉体内部使得监控系 统与工作炉体连接成一体。
【文档编号】C23C14/54GK203999802SQ201420402261
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年7月21日 优先权日:2014年7月21日
【发明者】刘双良 申请人:东莞市华星镀膜科技有限公司, 东莞市华星纳米科技有限公司
【专利摘要】本实用新型涉及一种应用于真空制膜镀膜机中监控膜厚及镀膜速率的监控仪器设备，尤指不需要停止生产作业线的一种便于在线维护的膜厚监控设备及其维护工艺；设备主要包括监控系统、控制系统和工作炉体，监控系统包括监控探测仪、腔体和密封端盖，监控探测仪为带有监控探头的长条杆状，可伸缩移动安装在腔体内部，从腔体一端贯穿腔体内部延伸到另外一端；在正常工作时，监控系统安装在工作炉体上使其合为一体，并通过控制系统对监控系统实时在线监控和操作，对监控系统进行维护工作时，只需将监控探测仪脱离工作炉体后在外界进行正常的维护工作，保证工作炉体的清洁度，实现在线维护，降低了维护难度和维护成本，提高了维护工作的质量。
【专利说明】一种便于在线维护的膜厚监控设备
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种应用于真空制膜镀膜机中监控膜厚及镀膜速率的监控仪器 设备，尤指一种在对膜厚监控仪器设备进行维护时不需要停止生产作业线的一种便于在线 维护的膜厚监控设备。
【背景技术】
[0002] 随着科技的发展，出现了很多性能凸显的产品，如LED原件、发光二极管、显示器、 钢化玻璃等，而在对这些产品使用时，为了延长产品的使用寿命或提高产品的质量，通常会 对这些产品进行制备薄膜或镀膜保护，而在制膜或镀膜过程中通常是采用真空镀膜机在真 空的状态下进行制膜镀膜，真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体 包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多 种，这些生产设备及工艺通常都是在真空状态下进行，这样才能提高及准确监控到制膜或 镀膜的质量，在对制膜或镀膜的膜厚及速率进行监控时，通常是采用监控仪器设备，监控仪 器设备的重要部件就是监控探头，由于监控探头的成分通常是石英晶精准片，在使用时间 长的时候要对监控仪器设备或监控探头进行更换、维修、养护等维护工作，由于监测探头、 晶片等都处于工作炉子内部，通常在进行维护工作时，会把整个作业线停止，然后将监控仪 器设备工作所在工作炉体的真空空间进行放气后，使得真空空间不再是真空状态，这时再 通过机械手或人工进入工作炉体进行维护工作，所以进行维护工作时停止整个生产作业线 会给生产带来很多不便，同时如人工进入工作炉体进行维护工作会使得工作炉体的清洁度 遭到破坏，不仅增加维护成本，消耗大量因停工或处置真空状态的时间，更重要的加大了维 护的难度，且维护精度不高。
【发明内容】
[0003] 为了弥补现有技术中的的不足，本实用新型旨在提供一种应用于真空制膜镀膜机 中监控膜厚及镀膜速率的监控仪器设备，包括应用于真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束 外延，PLD激光溅射沉积等很多种，尤指一种在对膜厚监控仪器设备进行维护时不需要停止 生产作业线的一种便于在线维护的膜厚监控设备。
[0004] 为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种便于在线维护的膜厚监控 设备，所述的设备主要包括监控系统、控制系统和工作炉体，监控系统与工作炉体连接，控 制系统与监控系统电性相连；所述的监控系统包括监控探测仪、腔体和密封端盖，监控探测 仪为带有监控探头的长条杆状，可伸缩移动安装在腔体内部，从腔体一端贯穿腔体内部延 伸到另外一端；当监控探测仪处于工作状态时，控制系统控制监控探测仪往密封端盖方向 伸长移动，使得探头部分贯穿密封端盖延伸在腔体外；当监控探测仪处于维护状态时，控制 系统控制监控探测仪背向密封端盖侧收缩移动，使得探头部分收缩在腔体内部；腔体正对 收缩在腔体内部的探头位置上开设有通孔，通孔上安装有阀门，打开阀门后腔体内部通过 阀门与外界环境相通，维护工具可以从阀门进入腔体内部对监控探测仪或探头进行维护， 关闭阀门使得通孔处于密封状态；腔体上安装有气阀，气阀上连接有压力计；所述的腔体 一端开口，密封端盖安装在腔体开口端，腔体通过密封端盖与工作炉体连接；所述的密封端 盖可密封镶嵌在工作炉体内部，当密封端盖关闭时，腔体内部与外界环境隔绝密封，当密封 端盖打开时，腔体内部与外界环境相通。
[0005] 所述的监控探测仪通过与气缸或马达连接可伸缩移动式安装在腔体内部。
[0006] 所述的腔体为一端开口的圆柱体状。
[0007] 所述的气阀可对腔体内部进行放气或抽气操作，压力计显示腔体内部的气压情 况。
[0008] 所述的密封端盖包括滑轨结构和密封块，滑轨结构直接安装在腔体的开口端上， 密封块的厚度与滑轨结构上的滑槽相适配构成滑动连接，密封块沿着滑槽移动可打开或密 封腔体。
[0009] 所述的设备在正常工作时，监控系统通过将密封端盖密封镶嵌在工作炉体内部使 得监控系统与工作炉体连接成一体。
[0010] 本实用新型的有益效果体现在：首先，本实用新型在正常工作时，监控系统安装在 工作炉体上使其合为一体，并通过控制系统对监控系统实时在线监控和操作，不会影响监 控系统的正常工作性能，更重要的是要对监控系统进行更换、维修、养护等维护工作时，只 需要通过控制系统单独将监控系统的监控探测仪脱离工作炉体的真空环境后在工作炉体 的外界进行正常的维护工作，而不需要整个作业线停止，将空气排入工作炉体中后进入工 作炉体内部进行维护工作，不仅保证了工作炉体的清洁度，更重要的是不需要停止作业线 实现在线维护，降低了维护难度和维护成本，提高了维护工作的质量。
【专利附图】
【附图说明】
[0011] 图1是本实用新型的组装结构示意图。
[0012] 图2是本实用新型监控系统处于伸长状态的立体结构示意图。
[0013] 图3是本实用新型监控系统处于收缩状态的立体结构示意图。
[0014] 附图标注说明：1 -工作炉体，2-监控系统，21-监控探测仪，22-腔体，23-密封端 盖，5-阀门，6-气阀，7-压力计，8-气缸或马达，24-滑轨结构，25-密封块，26-探头。
【具体实施方式】
[0015] 下面结合【专利附图】
【附图说明】本实用新型的【具体实施方式】：
[0016] 一种便于在线维护的膜厚监控设备，所述的设备主要包括监控系统2、控制系统和 工作炉体1，监控系统2与工作炉体1连接，控制系统与监控系统2电性相连；所述的监控系 统2包括监控探测仪21、腔体22和密封端盖23,监控探测仪21为带有监控探头的长条杆 状，可伸缩移动安装在腔体22内部，从腔体22-端贯穿腔体22内部延伸到另外一端，监控 探测仪21通过与气缸或马达8连接可伸缩移动式安装在腔体22内部；当监控探测仪21处 于工作状态时，控制系统控制监控探测仪21往密封端盖23方向伸长移动，使得探头26部 分贯穿密封端盖23延伸在腔体22外；当监控探测仪21处于维护状态时，控制系统控制监 控探测仪21背向密封端盖23侧收缩移动，使得探头26部分收缩在腔体22内部；腔体22 正对收缩在腔体22内部的探头26位置上开设有通孔，通孔上安装有阀门5,打开阀门5后 腔体22内部通过阀门5与外界环境相通，维护工具可以从阀门5进入腔体22内部对监控 探测仪21或探头26进行维护，关闭阀门5使得通孔处于密封状态；腔体22上安装有气阀 6,气阀6上连接有压力计7,气阀6可对腔体22内部进行放气或抽气操作，压力计7显示腔 体22内部的气压情况；所述的为一端开口的圆柱体状，密封端盖23安装在腔体22开口端， 腔体22通过密封端盖23与工作炉体1连接；所述的密封端盖23可密封镶嵌在工作炉体1 内部，密封端盖23包括滑轨结构24和密封块25,滑轨结构24直接安装在腔体22的开口端 上，密封块25的厚度与滑轨结构24上的滑槽相适配构成滑动连接，密封块25沿着滑槽移 动可打开或密封腔体22,当密封端盖23关闭时，腔体22内部与外界环境隔绝密封，当密封 端盖23打开时，腔体22内部与外界环境相通；所述的设备在正常工作时，监控系统2通过 将密封端盖23密封镶嵌在工作炉体1内部使得监控系统2与工作炉体1连接成一体。
[0017] 一种便于在线维护的膜厚监控设备的维护工艺，当设备处于正常工作状态时，监 控探测仪21的探头26部分处于收缩状态收缩在腔体22内部，使其正常工作的工艺是，控 制系统控制密封块25沿着滑轨结构24的滑槽移动以关闭密封腔体22,并控制气阀6对腔 体22内部进行抽气操作，通过压力计7可以直观的观测到腔体22内部的气压情况，直到腔 体22内部的空气被抽尽处于真空状态后关闭气阀6,然后控制密封块25沿着滑轨结构24 的滑槽移动打开腔体22与工作炉体1的真空环境相通，驱动监控探测仪21往密封端盖23 方向伸长移动，使得探头26部分贯穿密封端盖23延伸在腔体22外处于工作炉体1的内部 环境，进行正常制膜或镀膜时监控膜厚和速率。
[0018] 一种便于在线维护的膜厚监控设备的维护工艺，当设备处于需要维护状态时，监 控探测仪21的探头26部分处于伸长状态延伸在腔体22外部及工作炉体1的内部，对其进 行维护的工艺是，控制系统驱动监控探测仪21背向密封端盖23方向收缩移动，使得探头26 部分脱离工作炉体1工作环境收缩在腔体22内部，然后控制密封块25沿着滑轨结构24的 滑槽移动以关闭密封腔体22,并控制气阀6对腔体22内部进行放气操作，通过压力计7可 以直观的观测到腔体22内部的气压情况，直到腔体22内部充满空气处于非真空状态后打 开阀门5，使得腔体22内部环境通过阀门5与外界非真空环境相通，然后机械手或人工通过 阀门5进入腔体22内部对监控探测仪21或其探头26进行更换、修理、养护等维护工作。
[0019] 本实用新型在正常工作时，监控系统2安装在工作炉体1上使其合为一体，并通过 控制系统对监控系统2实时在线监控和操作，不会影响监控系统2的正常工作性能，更重要 的是要对监控系统2进行更换、维修、养护等维护工作时，只需要通过控制系统单独将监控 系统2的监控探测仪21脱离工作炉体1的真空环境实现分体后，在工作炉体1的外界进行 正常的维护工作，而不需要整个作业线停止,将空气排入工作炉体1中后进入工作炉体1内 部进行维护工作，不仅保证了工作炉体1的清洁度，更重要的是不需要停止作业线实现在 线维护，降低了维护难度和维护成本，提高了维护工作的质量。
[0020] 以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型的技术范围作任何 限制，本行业的技术人员，在本技术方案的启迪下，可以做出一些变形与修改，凡是依据本 实用新型的技术实质对以上的实施例所作的任何修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用 新型技术方案的范围内。
【权利要求】
1. 一种便于在线维护的膜厚监控设备，所述的设备主要包括监控系统、控制系统和工 作炉体，监控系统与工作炉体连接，控制系统与监控系统电性相连；其特征在于：所述的监 控系统包括监控探测仪、腔体和密封端盖，监控探测仪为带有监控探头的长条杆状，可伸缩 移动安装在腔体内部，从腔体一端贯穿腔体内部延伸到另外一端；当监控探测仪处于工作 状态时，控制系统控制监控探测仪往密封端盖方向伸长移动，使得探头部分贯穿密封端盖 延伸在腔体外；当监控探测仪处于维护状态时，控制系统控制监控探测仪背向密封端盖侧 收缩移动，使得探头部分收缩在腔体内部；腔体正对收缩在腔体内部的探头位置上开设有 通孔，通孔上安装有阀门，打开阀门后腔体内部通过阀门与外界环境相通，维护工具可以从 阀门进入腔体内部对监控探测仪或探头进行维护，关闭阀门使得通孔处于密封状态；腔体 上安装有气阀，气阀上连接有压力计； 所述的腔体一端开口，密封端盖安装在腔体开口端，腔体通过密封端盖与工作炉体连 接； 所述的密封端盖可密封镶嵌在工作炉体内部，当密封端盖关闭时，腔体内部与外界环 境隔绝密封，当密封端盖打开时，腔体内部与外界环境相通。
2. 根据权利要求1所述的一种便于在线维护的膜厚监控设备，其特征在于：所述的监 控探测仪通过与气缸或马达连接可伸缩移动式安装在腔体内部。
3. 根据权利要求1所述的一种便于在线维护的膜厚监控设备，其特征在于：所述的腔 体为一端开口的圆柱体状。
4. 根据权利要求1所述的一种便于在线维护的膜厚监控设备，其特征在于：所述的气 阀可对腔体内部进行放气或抽气操作，压力计显示腔体内部的气压情况。
5. 根据权利要求1所述的一种便于在线维护的膜厚监控设备，其特征在于：所述的密 封端盖包括滑轨结构和密封块，滑轨结构直接安装在腔体的开口端上，密封块的厚度与滑 轨结构上的滑槽相适配构成滑动连接，密封块沿着滑槽移动可打开或密封腔体。
6. 根据权利要求1-5任一项所述的一种便于在线维护的膜厚监控设备，其特征在于： 所述的设备在正常工作时，监控系统通过将密封端盖密封镶嵌在工作炉体内部使得监控系 统与工作炉体连接成一体。
【文档编号】C23C14/54GK203999802SQ201420402261
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年7月21日 优先权日:2014年7月21日
【发明者】刘双良 申请人:东莞市华星镀膜科技有限公司, 东莞市华星纳米科技有限公司
相关技术
网友询问留言
已有0条留言
- 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞！
1