一种镀膜机抽真空系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种应用在真空镀膜机上的抽真空系统，尤指一种以多台分子泵代替维持泵、扩散泵等从而节省空间且提高抽真空速率的一种镀膜机抽真空系统，主要包括抽真空装置、控制装置和管道，抽真空装置通过管道连接在镀膜机内腔，抽真空装置与控制装置电性连接；所述的抽真空装置主要包括机械泵、罗茨泵和分子泵，其中，机械泵包括第一机械泵和第二机械泵，分子泵包括主分子泵和辅助分子泵；第一机械泵、罗茨泵和镀膜机通过管道顺序连接形成一条由泵体通向镀膜机内腔的气路，第二机械泵、分子泵和镀膜机顺序连接形成另一条由泵体通向镀膜机内腔的气路，本实用新型以分子泵代替了体积大的扩散泵和高压阀，分子泵启动快、体积小，实现零污染；本实用新型采用分子泵可节省空间，降低耗能，减少了对环境的污染，而且具有较高的抽真空工作效率，实现稳定性强、真空度极限高并且污染小的抽真空工作。
【专利说明】一种镀膜机抽真空系统
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种应用在真空镀膜机上的抽真空系统，尤指一种以多台分子泵 代替扩散泵和高压阀达到维持常压高压状态的可节省空间且提高速率的一种镀膜机抽真 空系统。
【背景技术】
[0002] 为提高真空镀膜机的工作质量，镀膜机在做表面处理之前要抽真空，而真空度由 抽真空系统决定，传统的抽真空系统由机械泵、罗茨泵、扩散泵、维持泵和高压阀组成，如 说明书附图图1所示，抽真空系统由机械泵、罗茨泵、扩散泵和高压阀依次连接形成一条通 路，再将高压阀与镀膜机连接在一起；系统工作时，先利用机械泵抽真空，达到一定真空度 时，开启罗茨泵抽真空，当达到更高程度的真空度时，开启扩散泵抽真空，同时结合高压阀 对镀膜机的真空度进行控制，在这一系列的操作后，整个抽真空系统全面开启工作，所有泵 体均需开启；与此同时，由于真空系统在气量达到较小程度时，不能有效利用前级泵，因此 为保持原有的真空度，系统仍需要一台具有维持作用的泵对罗茨泵进行抽气控制。
[0003] 通过抽真空系统进行抽真空工作，保证了镀膜机内的真空度，使得镀膜机在进行 真空镀膜时可保证镀膜的纯净度和牢固度，但是，传统的镀膜机抽真空系统在工作时，需要 开启所有泵体，从而引起了废气的产生，且所使用的泵体的占用空间大、耗电量大、工作效 率不高，不利用现代化工业生产的发展。
【发明内容】
[0004] 为解决上述问题，本实用新型旨在公开一种应用在真空镀膜机上的抽真空系统， 尤指一种以多台分子泵代替扩散泵和高压阀达到维持常压高压状态的可节省空间且提高 速率的一种镀膜机抽真空系统。
[0005] 为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种镀膜机抽真空系统，抽真空 系统主要包括抽真空装置、控制装置和管道，抽真空装置通过管道连接在镀膜机内腔，抽真 空装置与控制装置电性连接；所述的抽真空装置主要包括机械泵、罗茨泵和分子泵，其中， 机械泵包括第一机械泵和第二机械泵，分子泵包括主分子泵和辅助分子泵；第一机械泵、罗 茨泵和镀膜机通过管道顺序连接形成一条由泵体通向镀膜机内腔的气路，第二机械泵、辅 助分子泵、主分子泵和镀膜机顺序连接形成另一条由泵体通向镀膜机内腔的气路。
[0006] 所述的分子泵设有12台或12台以上。
[0007] 所述的分子泵设有12台，包括11台主分子泵和1台辅助分子泵，主分子泵之间为 并联连接，辅助分子泵与主分子泵为串联连接。
[0008] 所述的主分子泵安装在镀膜机的侧面和顶面。
[0009] 所述的主分子泵可灵活分布在镀膜机的侧面或顶面，或呈阵列分布在镀膜机的侧 面或顶面。
[0010] 所述抽真空装置设有与之搭配的真空度检测仪，真空度检测仪安装在镀膜机外 腔。 toon] 本实用新型的有益效果体现在：本实用新型以分子泵代替了体积大的扩散泵和高 压阀，分子泵启动快、体积小，还可实现零污染；由于多台分子泵的加入，罗茨泵不需要长时 间持续工作，在分子泵启动时，罗茨泵可停止运行；因此，本实用新型采用了分子泵可大幅 度节省存放空间，以及降低耗能，减少了对工作环境与生活环境的污染，而且具有较高的抽 真空工作效率，实现了稳定性强、真空度极限高并且污染小的抽真空工作。
【专利附图】
【附图说明】
[0012] 图1是本实用新型【背景技术】的结构简图。
[0013] 图2是本实用新型的整体结构立体图。
[0014] 图3是本实用新型的整体结构俯视图。
[0015] 附图标注说明：1-第一机械泵，2-第二机械泵，3-罗茨泵，4-主分子泵，5-辅助分 子泵，6-镀膜机，7-管道。
【具体实施方式】
[0016] 下面结合附图详细说明本实用新型的【具体实施方式】：
[0017] 一种镀膜机抽真空系统，抽真空系统主要包括抽真空装置、控制装置和管道7,抽 真空装置通过管道7连接在镀膜机6内腔，抽真空装置与控制装置电性连接；所述的抽真空 装置主要包括机械泵、罗茨泵3和分子泵，其中，机械泵包括第一机械泵1和第二机械泵2， 分子泵包括主分子泵4和辅助分子泵5 ;第一机械泵1、罗茨泵3和镀膜机6通过管道7顺 序连接形成一条由泵体通向镀膜机6内腔的气路，第二机械泵2、辅助分子泵5、主分子泵4 通过管道7顺序连接，然后主分子泵4连接到镀膜机6内，形成另一条由泵体通向镀膜机6 内腔的气路；抽真空装置设有与之搭配的真空度检测仪，真空度检测仪安装在镀膜机6外 腔；所述的分子泵设有12台或12台以上，本实施例中所述的分子泵设有12台，包括11台 主分子泵4和1台辅助分子泵5,主分子泵4之间为并联连接，辅助分子泵5与主分子泵4 为串联连接，主分子泵4安装在镀膜机6的侧面和顶面，可灵活分布在镀膜机6的侧面或顶 面，或呈阵列分布在镀膜机6的侧面或顶面。
[0018] 当抽真空工作开启时，第一步，由控制装置控制第一机械泵1的开启，达到一定真 空度后开启罗茨泵3,使罗次泵对镀膜机6进行抽真空工作；第二步，控制第二机械泵2与 辅助分子泵5的启动，然后控制并联的十一台主分子泵4开启并对镀膜机6进行抽真空工 作，十一台主分子泵4因其并联的连接方式使其工作互不干扰；第三步，由控制装置控制第 一机械泵1和罗茨泵3通向镀膜机6的气路停止工作，即关闭罗茨泵3和第一机械泵1，而 另一气路的第二机械泵2与分子泵继续进行抽真空工作，抽真空工作过程中的真空度由真 空度检测仪进行监控；本抽真空系统以分子泵代替了体积大的扩散泵和高压阀，节省了较 多的占地位置，同时，由于多台分子泵的加入，第二气路连通时可断开第一气路，即罗茨泵3 在分子泵启动工作时可停止工作，这样一来，不仅从中节省了空间与降低了耗能，而且提高 了抽真空的工作效率，实现了稳定性强、真空度极限高并且污染大幅度降低的抽真空工作。
[0019] 以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型的技术范围作任何 限制，本行业的技术人员，在本技术方案的启迪下，可以做出一些变形与修改，凡是依据本 实用新型的技术实质对以上的实施例所作的任何修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用 新型技术方案的范围内。
【权利要求】
1. 一种镀膜机抽真空系统，抽真空系统主要包括抽真空装置、控制装置和管道，抽真 空装置通过管道连接在镀膜机内腔，抽真空装置与控制装置电性连接；其特征在于：所述 的抽真空装置主要包括机械泵、罗茨泵和分子泵，其中，机械泵包括第一机械泵和第二机械 泵，分子泵包括主分子泵和辅助分子泵；第一机械泵、罗茨泵和镀膜机通过管道顺序连接形 成一条由泵体通向镀膜机内腔的气路，第二机械泵、辅助分子泵、主分子泵和镀膜机顺序连 接形成另一条由泵体通向镀膜机内腔的气路。
2. 根据权利要求1所述的一种镀膜机抽真空系统，其特征在于：所述的分子泵设有12 台或12台以上。
3. 根据权利要求2所述的一种镀膜机抽真空系统，其特征在于：所述的分子泵设有12 台，包括11台主分子泵和1台辅助分子泵，主分子泵之间为并联连接，辅助分子泵与主分子 泵为串联连接。
4. 根据权利要求3所述的一种镀膜机抽真空系统，其特征在于：所述的主分子泵安装 在镀膜机的侧面和顶面。
5. 根据权利要求4所述的一种镀膜机抽真空系统，其特征在于：所述的主分子泵可灵 活分布在镀膜机的侧面或顶面，或呈阵列分布在镀膜机的侧面或顶面。
6. 根据权利要求1所述的一种镀膜机抽真空系统，其特征在于：所述抽真空装置设有 与之搭配的真空度检测仪，真空度检测仪安装在镀膜机外腔。
【文档编号】C23C14/56GK203999803SQ201420402258
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年7月21日 优先权日:2014年7月21日
【发明者】刘双良 申请人:东莞市华星镀膜科技有限公司, 东莞市华星纳米科技有限公司