一种真空镀膜机的工件架的制作方法

文档序号:8442539阅读:341来源:国知局
一种真空镀膜机的工件架的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种真空镀膜设备,尤其是涉及一种真空镀膜机的工件架。
【背景技术】
[0002]在现代科学技术与工业生产中,真空镀膜技术占有非常重要的地位。在镀膜过程中,由于对于蒸镀的材料进行高温加热,造成真空腔体内温度过高以及真空度过低等原因,会造成蒸镀完的工件边缘会出现“黑边”,影响工件的镀膜质量;另外,对于不同的工件我们需要不同的工件架与之配套,这样会造成资源的浪费,并且在工件架的拆卸过程中也会造成效率的降低。

【发明内容】

[0003]本发明的目的是提供一种真空镀膜机的工件架,结构简单,能够防止工件边缘”黑边”的出现,提高镀膜质量,并且能够对不同尺寸的工件进行镀膜,节省人力物力,降低了成本。
[0004]本发明的技术方案是:一种真空镀膜机的工件架,包括中心轴和若干十字架;所述的十字架上设置有可以放置基板的模板槽;任意十字架的开口处设置有挡板;所述的挡板与中心轴活动连接。
[0005]进一步的,所述的模板槽底部两侧分别设置有滑槽;所述的滑槽内设置有滑板;所述的滑槽与滑板活动连接。
[0006]进一步的,所述的十字架形状可以为“十”字形或者形。
[0007]进一步的,所述的挡板可以拆卸。
[0008]本发明具有的优点和积极效果是:由于采用上述技术方案,结构简单,能够防止工件边缘”黑边”的出现,提高镀膜质量,并且能够对不同尺寸的工件进行镀膜,节省人力物力,降低了成本。
【附图说明】
[0009]图1是本发明的结构示意图。
[0010]图2是模板槽的结构示意图。
[0011]图中:
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图对本发明做详细说明。
[0013]如图1-2所示,本发明一种真空镀膜机的工件架,包括中心轴I和若干十字架2 ;所述的十字架2上设置有可以放置基板的模板槽3 ;任意十字架2的开口处设置有挡板4 ;所述的挡板4与中心轴I活动连接。
[0014]进一步的,所述的模板槽3底部两侧分别设置有滑槽5 ;所述的滑槽5内设置有滑板6 ;所述的滑槽5与滑板6活动连接。
[0015]进一步的,所述的十字架2形状可以为“十”字形或者形。
[0016]进一步的,所述的挡板4可以拆卸。
[0017]使用时,挡板4可以防止工件“黑边”的现象;另外,将工件放入模板槽3内,根据工件尺寸的大小调节模板槽3底部的滑板6的位置,这样可以适用于不同尺寸的工件,省时省力,节省资源。
[0018]以上对本发明的一个实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本发明的较佳实施例,不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。
【主权项】
1.一种真空镀膜机的工件架,包括中心轴(I)和若干十字架(2);其特征在于:所述的十字架(2)上设置有可以放置基板的模板槽(3);任意十字架(2)的开口处设置有挡板(4);所述的挡板(4 )与中心轴(I)活动连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的工件架,其特征在于:所述的模板槽(3)底部两侧分别设置有滑槽(5);所述的滑槽(5)内设置有滑板(6);所述的滑槽(5)与滑板(6)活动连接。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的工件架,其特征在于:所述的十字架(2)形状可以为“十”字形或者形。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的工件架,其特征在于:所述的挡板(4)可以拆卸。
【专利摘要】本发明提供一种真空镀膜机的工件架,包括中心轴和若干十字架;所述的十字架上设置有可以放置基板的模板槽;任意十字架的开口处设置有挡板;所述的挡板与中心轴活动连接,本发明的有益效果是结构简单,能够防止工件边缘”黑边”的出现,提高镀膜质量,并且能够对不同尺寸的工件进行镀膜,节省人力物力,降低了成本。
【IPC分类】C23C14-24, C23C14-50
【公开号】CN104762597
【申请号】CN201410009021
【发明人】吴军
【申请人】天津普利爱特真空镀膜有限公司
【公开日】2015年7月8日
【申请日】2014年1月6日
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