技术总结
腔体起辉共振点的测量方法，其具体步骤为：步骤1.将矢量网络分析仪发射信号端口的测试同轴电缆线连接至PECVD设备网络匹配器的射频输入端；步骤2.设置矢量网络分析仪参数：测试量为输入端反射系数S11，测量频率范围为10MHz～20MHz，测试点频率为13.56MHz，该频率即射频电源频率；步骤3.调节PECVD设备网络匹配器中两个可调电容的容值，使13.56MHz的标记点为S11曲线的最小值，此时的电容值即为腔体的共振点。本发明方法简单，可以很容易的找到腔体起辉的共振点。
技术研发人员：王莹莹;周仁;刘忠武;吕欣
受保护的技术使用者：沈阳拓荆科技有限公司
文档号码：201510585284
技术研发日：2015.09.14
技术公布日：2017.03.22