1.一种加热掺杂气体的喷淋结构，包括喷淋板本体，其特征在于，该喷淋结构还包括气体A入口，配气环，掺杂气体B入口及加热环；所述喷淋板本体上设有气体A入口向喷淋板本体中通入气体A，所述配气环上设有掺杂气体B入口向配气环中通入掺杂气体B，所述加热环安装于所述配气环外围后与配气一同置于喷淋板主体上的凹槽内。
2.如权利要求1所述的一种加热掺杂气体的喷淋结构，其特征在于，所述喷淋板本体与配气环的内部为气体环形通道。
3.如权利要求1所述的一种加热掺杂气体的喷淋结构，其特征在于，所述加热环对所述配气环中通入的掺杂气体B进行加热。