在基板支架的两个相背离的宽侧分别支承基板的基板支架的制作方法

文档序号:11888204阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于布置在CVD反应器或PVD反应器(20)内的、尤其用于沉积碳纳米管和石墨的基板支架,所述基板支架具有用于容纳待涂覆的基板(6)的第一宽侧面(2)和与第一宽侧面(2)相背离的第二宽侧面(3),其中,所述第一宽侧面(2)和第二宽侧面(3)分别具有基板容纳区域(4、5),在所述基板容纳区域(4、5)中设有固定件(14、14’、15),基板(6)或基板(6)的区段借助所述固定件(14、14’、15)能够分别固定在宽侧面(2、3)上,其特征在于,所述基板支架(1)是扁平体,并且所述基板容纳区域(4、5)具有两个相互背离的第一边缘(4’)和横向于第一边缘(4’)延伸的第二边缘(11),其中,在所述第一边缘(4’)上分别邻接着操作区段(7),所述操作区段(7)具有超出所述第二边缘(11)突伸的凸起(12)。

2.按照权利要求1所述的基板支架,其特征在于,所述基板支架(1)由石英构成。

3.按照前述权利要求之一所述的基板支架,其特征在于,所述基板容纳区域(4、5)具有基本上矩形的轮廓外形。

4.按照前述权利要求之一所述的基板支架,其特征在于,实心的扁平体具有最大10mm的厚度和最小100mm的边长。

5.按照前述权利要求之一所述的基板支架,其特征在于,所述操作区段(7)具有窗口形状的、尤其矩形的开口(8、9、10)。

6.按照前述权利要求之一所述的基板支架,其特征在于,所述基板容纳区域(4、5)的至少一个第二边缘(11)是所述基板支架(1)的尤其倒圆的边棱,柔性的基板(6)围绕该边棱布置,使得所述基板(6)能够通过两个区段分别固定在所述基板容纳区域(4、5)中。

7.按照前述权利要求之一所述的基板支架,其特征在于,所述第二边缘(11)相对于所述凸起(12)的基本平行于第二边缘(11)延伸的边棱凹进地走向。

8.一种CVD反应器,具有根据前述权利要求之一所述的基板支架(1)和反应器壳体(20),其特征在于,所述反应器壳体(20)具有导引件(21、22、23),所述基板支架(1)能够通过基板支架的凸起(12)沿着所述导引件(21、22、23)滑动,其中尤其规定,仅所述凸起(12)嵌入由所述导引件(21、22、23)构成的凹槽(21’、22’、33’)中。

9.按照权利要求8所述的CVD反应器,其特征在于,所述基板支架(1)能够沿竖直的定向穿过沿竖向延伸的装载开口(23)移入反应器壳体(20)的两个进气机构(24)之间的空隙中。

10.一种基板支架或CVD反应器,其特征在于前述权利要求之一所述的一个或多个技术特征。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1