一种用于在管腔内壁喷涂TiO2纳米涂层的装置的制作方法

文档序号:14747749发布日期:2018-06-22 01:49阅读:来源:国知局
技术特征:

1.一种用于在管腔内壁喷涂TiO2纳米涂层的装置,包括介质阻挡放电等离子体发生器、钛源、电动机、高压电源,其特征在于:所述介质阻挡放电等离子体发生器的介质为可塑形的中空电介质管,并根据需镀膜管腔的管径及弯曲程度进行设计。

2.根据权利要求1所述的一种在管腔内壁喷涂TiO2纳米涂层的装置,其特征在于:所述可塑形的中空电介质管侧壁开设有微孔阵列。当等离子体发生器工作时,荆棘状等离子体由所述微孔阵列射出,在管腔内壁喷涂TiO2纳米涂层。

3.根据权利要求1所述的一种在管腔内壁喷涂TiO2纳米涂层的装置,其特征在于:所述可塑形的中空电介质管前端封闭。

4.根据权利要求1所述的一种在管腔内壁喷涂TiO2纳米涂层的装置,其特征在于:所述的介质阻挡放电等离子体发生器连接电动机,并在电动机驱动下旋转。

5.根据权利要求1所述的一种在管腔内壁喷涂TiO2纳米涂层的装置,其特征在于:所述高压电源为交流或脉冲电源,电压为3~15KV,频率为10~50KHz。

6.根据权利要求1所述的一种在管腔内壁喷涂TiO2纳米涂层的装置,其特征在于:等离子体发生器的工作气体选自空气、氮气、氧气、氦气、氩气和氖气中的一种或多种,钛源选自四氯化钛或四异丙醇钛。

7.根据权利要求1所述的一种在管腔内壁喷涂TiO2纳米涂层的装置,其特征在于:所述等离子体发生器产生的等离子体射流温度不高于100℃,电子密度不低于1015/cm3

8.根据权利要求2所述的微孔阵列,其特征在于:微孔阵列的孔间距为400~800μm,孔直径为100~300μm。

9.根据权利要求2所述的TiO2纳米涂层,其特征在于:该涂层具有光催化自清洁功能。

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