多晶硅沉积方法及用于其的沉积装置与流程

文档序号：17012820发布日期：2019-03-02 02:19阅读：来源：国知局

技术总结
本发明涉及一种利用模组移动方式的多晶硅沉积方法及用于所述多晶硅沉积方法的沉积装置。

技术研发人员：徐祥准
受保护的技术使用者：成均馆大学校产学协力团
技术研发日：2016.07.20
技术公布日：2019.03.01