技术总结
本发明公开了一种防止研磨头与研磨垫修整器相撞的装置、方法及研磨设备，通过分别将两个磁场发生器封装到研磨头及研磨垫修整器内部，同时将高斯计安装在研磨垫修整器上，并通过高斯计监测到的磁场强度变化来判断研磨头与研磨垫修整器之间的距离，当磁场强度高于设定的临界值时，可使研磨头立刻停止位移，同时研磨垫修整器内置磁场开始工作，产生与研磨头相斥的磁场，使研磨垫修整器开始反向运动，从而有效防止了研磨头与研磨垫修整器相撞的事故。
技术研发人员：吴科
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
文档号码：201611076614
技术研发日：2016.11.30
技术公布日：2017.03.08