技术总结
本发明提供一种溅射靶材，其能够抑制在溅射靶材的机械加工时、焊接工序中的翻转作业等处理中的裂纹的产生。一种溅射靶材，其为相对于金属成分整体，含有20原子％～50原子％的Sn、50原子％～80原子％的Zn的氧化物烧结体，在每1050μm2中，具有超过2.0μm的圆当量直径的孔隙不足1个，优选相对密度的平均值为98.5％以上，更优选其的距平均值的离散度为0.3％以下。
技术研发人员：玉田悠;齐藤和也;上坂修治郎;熊谷友正
受保护的技术使用者：日立金属株式会社
文档号码：201611127906
技术研发日：2016.12.09
技术公布日：2017.06.20