汽车玻璃立式多腔共形复合膜系连续磁控溅射生产设备的制作方法

文档序号:11836381阅读:来源:国知局
技术总结
汽车玻璃立式多腔共形复合膜系连续磁控溅射生产设备,通过在进料段和出料段分别对称布置初抽低真空腔体组、中真空腔体组和高真空腔体组以前后衔接中段布置的多部薄膜溅射沉积腔体组支持生产线,同时合理控制温度和玻璃的输送速度,完成对汽车玻璃的连续磁控溅射镀膜工艺,从而在玻璃基片形成复合介质膜层,尤其适用于制备全介质膜系阳光选择节能玻璃,整个镀膜过程连续化生产,工艺可控,生产效率和产品合格率较高;具有成本低、膜层材料与基体玻璃结合牢、耐侯性强,无废气产生等优势;有益于推广应用。沉积薄膜后的玻璃的可见光透过率为大于76%,整个风挡玻璃面无明显的光学色差,光学畸变小于3′,具有极高的抗酸耐碱性和耐磨性,因此具有较长的使用寿命。

技术研发人员:庄志杰;周钧
受保护的技术使用者:赛柏利安工业技术(苏州)有限公司
文档号码:201620442691
技术研发日:2016.05.16
技术公布日:2016.11.30

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