1.制备球形纯钛或钛合金粉末的等离子雾化设备，包括等离子体炬(1)、雾化仓(2)、向雾化仓(2)送料的送料系统(3)、与雾化仓(2)相连的粉末收集装置(4)、与粉末收集装置(4)相连的气体净化循环系统(5)；其特征在于：
所述气体净化循环系统(5)包括气体循环动力装置(510)；
在雾化仓(2)上设有进气口(210)；所述气体循环动力装置(510)与雾化仓(2)的进气口(210)管路连接；在气体循环动力装置(510)与进气口(210)的通路上设有加热器(6)和控制进气口(210)处的进气压的电磁阀(7)。
2.如权利要求1所述的制备球形纯钛或钛合金粉末的等离子雾化设备，其特征在于：所述雾化仓(2)的进气口(210)处的进气压为0.2-0.5Mpa。
3.如权利要求1或2所述的制备球形纯钛或钛合金粉末的等离子雾化设备，其特征在于：在雾化仓(2)上设有排气口(220)，所述排气口(220)与进气口(210)相对设置，所述排气口(220)与气体循环动力装置(510)管路连接。
4.如权利要求3所述的制备球形纯钛或钛合金粉末的等离子雾化设备，其特征在于：所述排气口(220)位于雾化仓(2)的顶部。
5.如权利要求1或2所述的制备球形纯钛或钛合金粉末的等离子雾化设备，其特征在于：在雾化仓(2)的内壁设有氧氮含量检测仪(8)；所述氧氮含量检测仪(8)与控制器通信连接。
6.如权利要求5所述的制备球形纯钛或钛合金粉末的等离子雾化设备，其特征在于：所述气体净化循环系统(5)还包括回收罐(530)，所述回收罐(530)与气体循环动力装置(510)相连，在回收罐(530)与气体循环动力装置(510)的连接通路上设有控制阀(10)；还设有与控制器通信连接的位于雾化仓(2)内的压力传感器(9)。
7.如权利要求1权利要求所述的制备球形纯钛或钛合金粉末的等离子雾化设备，其特征在于：所述等离子体炬(1)上设有计时器(110)；所述计时器(110)与报警器连接。
8.如权利要求7所述的制备球形纯钛或钛合金粉末的等离子雾化设备，其特征在于：所述等离子体炬(1)的火炬喷口(101)的外壳上设有水冷装置(120)。
9.如权利要求8所述的制备球形纯钛或钛合金粉末的等离子雾化设备，其特征在于：在雾化仓(2)上安装有监控摄像头(11)。