技术特征:
技术总结
本发明提供了一种衬托器、一种气相生长装置及一种气相生长方法,所述衬托器用于所述气相生长装置,所述衬托器包括一底部和包围所述底部的侧部,所述底部和侧部限定有用以载置基底(例如半导体晶片)的凹坑,在所述衬托器的底部形成有顶杆孔,并且,所述衬托器还形成有一开口以及位于其底部的空心通道,所述开口通过所述空心通道与至少一个顶杆孔连通。使用本发明提供的气相生长方法,在气相生长过程中,由所述开口向所述空心通道内通入吹扫气体,吹扫气体流动到顶杆孔内,对位于顶杆孔下方的工艺气体具有阻挡作用,从而减少或避免工艺气体流动到基底的背面导致不必要的沉积。
技术研发人员:肖德元
受保护的技术使用者:上海新昇半导体科技有限公司
技术研发日:2017.07.26
技术公布日:2019.02.05