用于平板式PECVD设备的盖板开启机构的制作方法

本实用新型涉及平板式PECVD设备，具体涉及一种用于平板式PECVD设备的盖板开启机构。

背景技术：

近年来，为了降低太阳能电池的成本，硅片的厚度不断降低，但是随着硅片厚度的减薄，少数载流子的扩散长度可能接近或大于硅片的厚度，部分少数载流子将会扩散到电池背面而产生复合，这将对电池效率产生重要影响。因此，为了提高电池片的转换效率，需要在电池片表面镀减反射膜。目前镀减反射膜主要采用PECVD方法(等离子体增强化学气相沉积技术，Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)。PECVD方法能起到钝化的作用，降低电池片背面复合速率。

PECVD方法是制备减反膜方法中最为成熟，操作也较为简单，能够实现全自动化生产。目前的PECVD设备主要有两种，一种是管式PECVD设备，这种设备采用的工作方法是在单一腔室内连续实现镀减反膜的一系列过程；另一种是板式PECVD设备，这种设备能够实现连续生产，产能也很高。

平板式PECVD盖板重量大，开启过程非连续动作，且开启机构安装空间紧凑，为开启机构的设计安装带来麻烦。因此需设计合适的开启机构，既满足盖板开启的动力需求又做到安全可靠，同时还要做到结构紧凑、高效。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中存在的问题，提供一种用于平板式PECVD设备的盖板开启机构。

为解决技术问题，本实用新型的解决方案是：

提供一种用于平板式PECVD设备的盖板开启机构，包括双作用液压缸，以及安装在提升拉臂安装座上的提升拉臂；双作用液压缸的推杆与提升拉臂、提升板和盖板依次连接，连接处设活动铰链；提升拉臂的中部通过活动铰链与提升拉臂安装座连接，并以连接处作为提升拉臂的转动轴心；当提升拉臂分别位于转动行程起始位和终止位时，提升拉臂与提升拉臂安装座相接触，该两个接触位置各设置一组电气-机械限位保护组件；每组电气-机械限位保护组件均包括一个电气限位开关和至少一个机械限位块，电气限位开关通过导线连接至双作用液压缸的驱动液压泵；在提升拉臂转动并接近提升拉臂安装座的过程中，将先触发电气限位开关，再与机械限位块接触。

作为改进，所述电气限位开关和机械限位块安装方式是下述的任意一种：

(1)电气限位开关和一个机械限位块均安装在提升拉臂上；

(2)电气限位开关和一个机械限位块均安装在提升拉臂安装座上；

(3)电气限位开关和一个机械限位块分别安装在提升拉臂安装座和提升拉臂上。

作为改进，所述机械限位块有两个，分别设置在提升拉臂安装座和提升拉臂上的相对位置。

作为改进，所述电气限位开关具有触发限位块，触发限位块设在提升拉臂安装座和提升拉臂上与电气限位开关相对的位置。

作为改进，当提升拉臂分别位于转动行程起始位和终止位时，盖板呈开启或闭合状态。

作为改进，所述双作用液压缸安装在液压缸安装座上且通过铰链连接，双作用液压缸能实现限定幅度内的摆动。

作为改进，所述盖板安装在盖板安装座或转轴上，盖板的一侧通过活动铰链与盖板安装座或转轴连接，并以其作为盖板的转动轴心。

本实用新型的工作过程是：

双作用液压缸动作，带动提升拉臂绕提升拉臂安装座转动，提升拉臂带动提升板运动，提升板继而带动盖板绕盖板安装座或转轴运动实现盖板的开合动作。

电气-机械限位保护组件用于盖板开启和关闭时的限位保护：

当盖板完成开启或闭合时，安装在提升拉臂安装座上的电气限位开关响应，液压泵断电停止供油，保证盖板开启机构不会因为开启过程的过运动产生损坏；当电气限位开关意外故障时，安装在提升拉臂和提升拉臂安装座上的开启位置机械限位块接触，开启机构受到限位块作用而停止运动，保证机构不会因为开启过程的过运动产生损坏。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型的机构结构非常紧凑，工作效率高；通过设置有限位保护装置，能保证盖板完全开启或关闭后自动切断液压系统，保护液压系统和机械结构不被损坏；相较于传统的采用电缸或气缸作为动力源的开启机构，本实用新型采用液压缸作为动力源，成本优势明显。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为限位装置结构示意图。

图3为盖板闭合时限位装置工作示意图。

图4为盖板开启时限位装置工作示意图。

其中：1、液压缸安装座；2、双作用液压缸；3、提升拉臂；4、提升拉臂安装座；5、提升板；6、盖板；A、盖板开启位置的电气限位开关与触发限位块；B、盖板开启位置的机械限位块；C、盖板闭合位置的电气限位开关与触发限位块；D、盖板闭合位置的机械限位块。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的优选实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域的技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

如图1所示，用于平板式PECVD设备的盖板开启机构，包括双作用液压缸2，以及安装在提升拉臂安装座上的提升拉臂3；双作用液压缸2安装在液压缸安装座1上且通过铰链连接，双作用液压缸2能实现限定幅度内的摆动。盖板6安装在盖板安装座或转轴上，盖板6的一侧通过活动铰链与盖板安装座或转轴连接，并以其作为盖板6的转动轴心。

双作用液压缸2的推杆与提升拉臂3、提升板5和盖板6依次连接，连接处设活动铰链；提升拉臂3的中部通过活动铰链与提升拉臂安装座4连接，并以连接处作为提升拉臂3的转动轴心；当提升拉臂3分别位于转动行程起始位和终止位时，提升拉臂3与提升拉臂安装座4相接触，该两个接触位置各设置一组电气-机械限位保护组件；每组电气-机械限位保护组件均包括一个电气限位开关和两个机械限位块，电气限位开关通过导线连接至双作用液压缸的驱动液压泵；在提升拉臂3转动并接近提升拉臂安装座4的过程中，将先触发电气限位开关，再与机械限位块接触。

盖板开启机构以双作用液压缸2作为动力源，通过驱动提升拉臂3和提升板5实现盖板6的开合。当提升拉臂3分别位于转动行程起始位和终止位时，盖板6呈开启或闭合状态。

电气限位开关和机械限位块安装方式可以是下述的任意一种：(1)电气限位开关和一个机械限位块均安装在提升拉臂3上；(2)电气限位开关和一个机械限位块均安装在提升拉臂安装座4上；(3)电气限位开关和一个机械限位块分别安装在提升拉臂安装座3和提升拉臂上4。当机械限位块有两个时，分别设置在提升拉臂安装座4和提升拉臂3上的相对位置。当电气限位开关具有触发限位块时，触发限位块设在提升拉臂安装座4和提升拉臂3上与电气限位开关相对的位置。

例如图2中所示，电气-机械限位保护组件包括：盖板开启位置的电气限位开关与触发限位块A、盖板开启位置的机械限位块B、盖板闭合位置的电气限位开关与触发限位块C、以及盖板闭合位置的机械限位块D，分别用于盖板开启和关闭时的限位保护。

本实用新型的工作过程说明：

双作用液压缸2动作，带动提升拉臂3绕提升拉臂安装座4转动，提升拉臂3带动提升板5运动，提升板5继而带动盖板6绕转轴运动实现盖板的开合动作。

当盖板6完成开启时，安装在提升拉臂安装座4上的电气限位开关响应，通过导线传递控制信号至双作用液压缸的驱动液压泵液压泵，断电停止供油，保证盖板开启机构不会因为开启过程的过运动产生损坏；当电气限位开关意外故障时，分别安装在提升拉臂3和提升拉臂安装座4上的开启位置机械限位块相互接触，提升拉臂3受到限位作用而停止运动，保证盖板开启机构不会因为开启过程的过运动产生损坏。

当盖板6完成闭合时，安装在提升拉臂安装座4上的电气限位开关响应，通过导线传递控制信号至双作用液压缸的驱动液压泵液压泵，断电停止供油，保证盖板开启机构不会因为闭合过程的过运动产生损坏；当电气限位开关意外故障时，分别安装在提升拉臂3和提升拉臂安装座4上的闭合位置机械限位块相互接触，提升拉臂3受到限位作用而停止运动，保证盖板开启机构不会因为闭合程的过运动产生损坏。

以上仅仅以一个实施方式来说明本实用新型的设计思路，在系统允许的情况下，本实用新型可以扩展为同时外接更多的功能模块，从而最大限度扩展其功能。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其他实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所述的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。