沉积环及卡盘组件的制作方法

技术特征：

1.一种沉积环(50)，其在卡盘组件中与盖环和基座配合使用，包括：

具有上表面(52)和下表面(53)的环形本体(51)；

形成于所述上表面(52)的环形凹槽(55)；

其特征在于，所述沉积环还包括卡接部(58)，所述卡接部用于将所述沉积环(50)卡接到所述基座上，以将所述沉积环(50)固定在所述基座上。

2.根据权利要求1所述的沉积环，还包括

形成于所述上表面(52)的凸起(56)，所述凸起(56)与所述盖环配合，以使所述沉积环(50)和所述盖环的位置同心。

3.根据权利要求2所述的沉积环，还包括

形成于所述上表面(52)的位于所述凸起(56)的径向外侧的凹陷(57)，所述凹陷(57)与所述凸起(56)在所述沉积环(50)和所述盖环之间形成迷宫结构。

4.根据权利要求1所述的沉积环，其中

所述卡接部(58)为形成于所述环形本体(51)中的┏形通道(58A)，所述┏形通道的走向沿着所述环形本体(51)的下侧转至所述环形本体(51)的径向外侧。

5.根据权利要求4所述的沉积环，其中

所述┏形通道(58A)的夹角为70°至85°。

6.根据权利要求1所述的沉积环，其中

所述卡接部为形成于所述环形本体(51)下侧的┛形挂钩(58B)，所述┛形挂钩的走向沿着所述环形本体(51)的下侧转至所述环形本体(51)的径向内侧。

7.根据权利要求6所述的沉积环，其中

所述┛形挂钩(58B)的夹角为70°至85°。

8.根据权利要求1所述的沉积环，其中

所述卡接部为形成于所述环形本体(51)下侧的沿竖直方向排列的锯齿列(58C)，所述锯齿列的锯齿的上表面平行于水平面或向下凹入。

9.一种卡盘组件，包括盖环(60)、基座(70)，以及与所述盖环(60)和所述基座(70)配合使用的沉积环(50)，所述沉积环(50)包括具有上表面(52)和下表面(53)的环形本体(51)；以及形成于所述上表面(52)的环形凹槽(55)；

其特征在于，所述沉积环(50)还包括用于将所述沉积环卡接到所述基座(70)上的卡接部(58)；所述基座还包括卡扣件(80)，所述卡扣件(80)包括与所述基座(70)相连的下侧部(801)、与所述卡接部(58)相卡接的上侧部(803)以及连接所述下侧部(801)和所述上侧部(803)的中间部(802)。

10.根据权利要求9所述的卡盘组件，其中

所述沉积环(50)还包括形成于所述上表面(52)的凸起(56)，所述凸起(56)与形成于所述盖环下表面的凹陷配合，以使所述沉积环(50)和所述盖环(60)的位置同心。

11.根据权利要求10所述的卡盘组件，其中

所述沉积环(50)还包括形成于所述上表面(52)的位于所述凸起(56)的径向外侧的凹陷(57)，所述凹陷(57)与形成在所述盖环下表面的凸起配合，以在所述沉积环(50)和所述盖环(60)之间形成迷宫结构。

12.根据权利要求11所述的卡盘组件，其中

所述卡接部(58)为形成于所述环形本体(51)中的┏形通道(58A)，所述┏形通道的走向沿着所述环形本体(51)的下侧转至所述环形本体(51)的径向外侧；

所述卡扣件(80)的中间部(802)沿竖直方向，所述卡扣件(80)的上侧部(803)能够进入所述┏形通道(58A)。

13.根据权利要求12所述的卡盘组件，其中

所述┏形通道(58A)的夹角为70°至85°。

14.根据权利要求11所述的卡盘组件，其中

所述卡接部为形成于所述环形本体(51)下侧的┛形挂钩(58B)，所述┛形挂钩的走向沿着所述环形本体(51)的下侧转至所述环形本体(51)的径向内侧；

所述卡扣件(80)的上侧部具有容纳所述┛形挂钩的开口。

15.根据权利要求14所述的卡盘组件，其中

所述┛形挂钩(58B)的夹角为70°至85°。

16.根据权利要求11所述的卡盘组件，其中

所述卡接部为形成于所述环形本体(51)下侧的沿竖直方向排列的锯齿列(58C)，所述锯齿列的锯齿的上表面平行于水平面或向下凹入；所述卡扣件(80)的所述上侧部具有锯齿列，卡扣件(80)的所述锯齿列能够与所述卡接部的所述锯齿列卡合。

17.根据权利要求9-16中任一所述的卡盘组件，其中

所述卡扣件(80)的下侧部(801)为弧形片，所述弧形片的周向两侧具有安装孔(8011)，通过所述安装孔(8011)，所述卡扣件(80)被可拆卸地安装到所述基座(70)上。