一种具有可调节电极的PECVD设备的制作方法

本实用新型属于PECVD设备领域，更具体地说，是指一种具有可调节电极的PECVD设备。

背景技术：

PECVD(等离子体增强化学气相沉积)通过等离子放电产生活性基团来促进薄膜生成的反应，能显著降低CVD薄膜制备的温度，使某些原本需要在高温下进行的CVD镀膜反应可以在较低温度下进行。

PECVD所使用的设备包含电极板，目前PECVD设备的电极板一般为固定结构，电极板之间的间距不能调节，当加工不同尺寸规格的产品时，不能有效的利用镀膜空间，例如对某些较薄的产品(如电路板)进行纳米防水加工，如果电极之间的间距较大，一腔能够摆入的产品较少，白白的浪费了的空间，同时浪费了药水(即纳米薄膜的原材料)；对某些较大尺寸的产品(如靴子)进行纳米防水加工时，电极之间的间距又显得过小，靴子难以放置，因此针对以上之不足，急需针对PECVD设备的电极进行改进。

技术实现要素：

本实用新型为了克服现有技术之不足，提出了一种具有可调节电极的PECVD设备。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的。

一种具有可调节电极的PECVD设备，所述PECVD设备具有矩形的镀膜空腔，镀膜空腔的前端开口且开口处铰接有一可打开的密封门，镀膜空腔的左右两竖直侧壁分别固定安装有左绝缘条阵列和右绝缘条阵列，所述左绝缘条阵列和右绝缘条阵列包括多个上下等间隔设置的长条形绝缘条，长条形绝缘条远离竖直侧壁的侧面固定安装有与射频电源连接的触片，所述左绝缘条阵列的多个长条形绝缘条和右绝缘条阵列的多个长条形绝缘条一一正对设置，还包括多个可活动抽取的电极模组，每个电极模组包括阴极电极板以及固定连接在阴极电极板下方的阳极电极板，所述阴极电极板左右侧边之间的宽度大于阳极电极板左右侧边之间的宽度，所述阴极电极板与阳极电极板通过绝缘体固定连接，当所述电极模组插入时，阴极电极板的左右侧边与镀膜空腔的左右两竖直侧壁接触形成接地，阳极电极板的左右侧边通过触片与射频电源连接。

作为本实用新型的一种改进，PECVD设备的镀膜空腔的顶部固定安装有与射频电源连接的阳极电极板，镀膜空腔的底部固定安装有阴极电极板。

作为本实用新型的一种改进，电极模组的阴极电极板左右两侧边安装有能够有弹性伸缩的金属滚轮，阳极电极板的左右两侧边安装有能够弹性伸缩的金属滚轮。

本实用新型的有益效果在于，本装置中的电极模组可以根据需要任意地抽出和推入到镀膜空腔内，由于多个长条形绝缘条等间隔设置，当对薄型工件(如电路板)等产品进行纳米防水镀膜时，按图4中的方式插入电极模组，电极模组之间的间距最小，可以最大化的利用镀膜空间，充分利用了纳米材料(药水)；当对较大的产品(如鞋子)进行纳米镀膜时，可以按图2方式插入电极模组；因此本电极之间的间距可以根据需要进行灵活调节，满足了不同大小工件的多样化加工需求，较大程度的利用了镀膜空间，大大节省了纳米材料。

附图说明

图1为PECVD镀膜设备的镀膜空腔的立体结构示意图。

图2为PECVD镀膜设备的镀膜空腔的前视图。

图3为镀膜空腔内插入电极模组的结构示意图之一。

图4为图3中A部分放大后的结构示意图。

图5为镀膜空腔内插入电极模组的结构示意图之二。

图6为实施例二的电极模组的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图给出本实用新型较佳实施例，以详细说明本实用新型的技术方案。

如图1至图5实施例一为一种具有可调节电极的PECVD设备，所述PECVD设备具有矩形的镀膜空腔，镀膜空腔的前端开口且开口处铰接有一可打开的密封门(图中未示出)，PECVD设备的镀膜空腔的顶部固定安装有与射频电源(图中未示出)连接的阳极电极板22，镀膜空腔的底部固定安装有阴极电极板23，镀膜空腔的左右两竖直侧壁10分别固定安装有左绝缘条阵列和右绝缘条阵列，所述左绝缘条阵列和右绝缘条阵列包括多个上下等间隔设置的长条形绝缘条21，长条形绝缘条21远离竖直侧壁的侧面固定安装有与射频电源(图中未示出)连接的触片22，所述左绝缘条阵列的多个长条形绝缘条和右绝缘条阵列的多个长条形绝缘条一一正对设置，还包括多个可活动抽取的电极模组3，每个电极模组3包括阴极电极板31以及固定连接在阴极电极板31下方的阳极电极板32，所述阴极电极板31左右侧边的宽度大于阳极电极板32左右侧边的宽度，所述阴极电极板31与阳极电极板32通过绝缘体33固定连接，当所述电极模组3插入镀膜空膜内时，阴极电极板31的左右侧边与镀膜空腔的左右两竖直侧壁10接触形成接地，阳极电极板32的左右侧边通过触片22与射频电源连接。

工作原理：所述电极模组3可以根据需要任意地抽出和推入到镀膜空腔内，由于多个长条形绝缘条21等间隔设置，当按图4的方式插入电极模组3时，相邻两个电极模组3之间的间距最小，比较适合对薄型工件(如电路板)等产品进行纳米镀膜，当按图2方式插入电极模组3时，相邻两个电极模组3之间的间距较大，比较适合对有一定高度的产品(如鞋子)进行纳米镀膜，因此电极之间的间距可以根据需要进行灵活调节，满足了加工多种工件的多样化需求，同时较大的节省了纳米材料。

如图6，一种具有可调节电极的PECVD设备的实施例二，电极模组3的阴极电极板31左右两侧边安装有能够弹性伸缩的金属滚轮34，阳极电极板32的左右两侧边安装有能够弹性伸缩的金属滚轮34，阴极电极板31左右两侧金属滚轮34之间的间距略大于镀膜腔体的左右两竖直侧壁10之间的内侧间距，阳极电极板32左右两侧金属滚轮34之间的间距略大于两个相对触片22之间的间距，这样当电极模组插入时，两侧的金属滚轮34会受到挤压，这种挤压状态，使电极板的电性接触更加稳定可靠，同时在抽出和推入过程中，由于金属滚轮的滚动，减少了摩擦和阻力。

虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这些仅是举例说明，本实用新型的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本实用新型的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本实用新型的保护范围。