本实用新型涉及一种夹紧装置，尤其涉及一种蘑菇帽螺栓夹紧装置。
背景技术：
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磁控溅射镀膜设备在溅镀薄膜过程中，其腔室内壁和部分部件会使用阴极挡板进行保护，以防止靶材材料被溅射到用于沉积薄膜的基板以外的部件上，从而造成设备部件损坏，在设备中常用蘑菇帽螺栓来固定阴极挡板。随着溅射时间增长，阴极挡板表面膜层厚度越来越厚会造成业内所说的“阳极消失”的问题导致其无法正常溅射，而镀膜设备大约每月从真空状态放大气一次，当其溅射物从真空状态变为大气状态时，其膜层结构会发生改变，变得容易松动，若不清理干净，膜层会有脱离的风险。这时就要对阴极挡板和相应的蘑菇帽螺栓进行清理更换，除去表面堆积靶材膜层。
由于溅射物形成的膜层比较厚，而且硬度高，附着力强，用喷水等常规的清理方式无法有效清理，因此生产中主要利用喷砂机进行喷砂清理，而目前喷砂机传动机构由多根传输辊传输待喷砂物体，各传输辊间距较大，只适用于清理能通过传输辊的阴极挡板等大型零件，对于固定阴极挡板的蘑菇帽螺栓这种小型零件无法直接通过喷砂机进行喷砂清理，而蘑菇帽螺栓又属于镀膜线专用零件，并且数量比较多，每个月都需要集中清理，如果放弃清理，直接更换新蘑菇帽螺栓将产生巨大的维修费用，因此很多工厂会采取人工打磨的方式清理蘑菇帽螺栓上的膜层，但这样又费时又费力，且不均匀的敲击易造成蘑菇帽螺栓变形而报废；考虑到以上问题，一些工厂采用铁板等大型板状物做为蘑菇帽螺栓的支撑物，由铁板运载蘑菇帽螺栓通过喷砂机进行喷砂清理，但这种方式存在如下问题：蘑菇帽螺栓无法准确放置导致的清理不干净，同时在喷砂过程中，因喷砂机的喷砂力度过大会导致蘑菇帽螺栓错位，甚至掉落到喷砂机下方的钢珠收集装置，不利于寻找，而且有些蘑菇帽螺栓会有被冲落到喷砂机的钢珠输送装置中，导致喷砂机输送装置卡死的风险。
技术实现要素：
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本实用新型的目的是针对现有技术中无法利用喷砂机对蘑菇帽螺栓上的溅射膜层进行有效清理的问题，提供一种蘑菇帽螺栓夹紧装置，能够准确运载蘑菇帽螺栓平稳通过喷砂机进行喷砂清理，不会因为喷砂力度过大而掉落。
针对上述问题，本实用新型采用如下技术方案实现：
一种蘑菇帽螺栓夹紧装置，其特征在于，包括：
机架：包括底板、支撑台、多个固定板和导轨，所述底板的长度为200～250mm，所述支撑台有两个且分别布置于沿底板长度方向的两侧，所述支撑台与底板长度相等，所述两个支撑台之间固设多个固定板，所述固定板上开有一对通孔，所述导轨安装在支撑台上；
滑动夹紧机构：包括连接杆、滑动部件、偏心轮和挡板，所述连接杆有两根且穿过通孔设于两个支撑台之间，所述连接杆上设置数量与固定板相同的滑动部件，所述滑动部件与固定板两两相间排列布置，所述滑动部件两端与导轨滑动连接，所述偏心轮设置在连接杆远离固定板的一端，所述偏心轮上安装有偏心轮手柄，所述挡板的结构和尺寸与固定板相同，所述挡板穿过连接杆固设于支撑台之间，所述挡板位于偏心轮前端并与偏心轮面接触配合产生偏心力。装置上的滑动部件、连接杆和固定板共同构成了能够放置蘑菇帽螺栓的孔槽，而底板的长度大于喷砂机传输辊的间距，因而该装置能够运载蘑菇帽螺栓通过喷砂机进行喷砂清洗，同时能够通过滑动夹紧机构将蘑菇帽螺栓夹紧，保证蘑菇帽固定螺栓能够准确放置，同时在喷砂过程中，蘑菇帽螺栓不会因为喷砂力度太大而错位甚至被冲落，而底板的设置能够收集清理从蘑菇帽上掉落下来的溅射物，使溅射物不会污染到喷砂机。
其中，所述挡板上设有固定孔，支撑台两边侧面设有与固定孔同一中心轴的贯穿的长孔，长孔和固定孔内设有调整螺栓。
其中，所述长孔为矩形圆角孔。通过长孔和固定螺栓来改变挡板的位置，使滑动部件和固定板之间的宽度能够根据不同规格的蘑菇帽螺栓进行调整。
其中，所述滑动部件由滑动板和连接部组成，所述连接部设于滑动板两端的上部，所述连接部与导轨滑动连接。通过连接部在导轨上滑动带动滑动板在支撑台之间移动并与固定板共同夹紧蘑菇帽螺栓的蘑菇帽与螺栓之间的凸台部分。
其中，所述滑动板的上表面与固定板的上表面平齐。由于放置蘑菇帽螺栓时主要是由滑动板和固定板支撑，因此这样的设计能使蘑菇帽螺栓放置时更加平稳。
其中，所述连接杆远离固定板的一端设有杆端关节轴承，所述偏心轮与杆端关节轴承之间通过连接轴连接。杆端关节轴承使偏心轮在杆端能够任意角度转动，提高了偏心轮的调整灵活性，而且关节轴承还有具有载荷能力大，使用寿命长的优点。
其中，所述导轨为T型导轨。方便滑动板两端的连接部与其形成滑动连接，并保证连接部不易从导轨上脱落。
其中，所述支撑台的高度为15～20mm。因镀膜生产线上大部分的蘑菇帽螺栓的长度在15～20mm之间，保证蘑菇帽螺栓能够被滑动板和固定板夹紧的部分是凸台，使蘑菇帽螺栓被夹紧后的稳固性更好。
其中，所述一对通孔之间的圆心间距为6～10mm。因镀膜生产线上大部分的蘑菇帽螺栓的直径在6～10mm，保证穿过通孔的拉力杆能对蘑菇帽螺栓在横向方向上起到限制的作用。
其中，所述固定板两两之间的间距为40～45mm。因镀膜生产线上大部分的蘑菇帽螺栓的蘑菇帽直径在40～45mm，保证支撑蘑菇帽的固定板之间的间距，使各个蘑菇帽螺栓上的蘑菇帽之间不会发生干涉，重叠的现象。
本实用新型由于采取了上述技术方案，其具有如下有益效果：
1)本实用新型能够夹紧蘑菇帽螺栓，并将其运载至喷砂机中进行清理蘑菇帽上的溅射物，同时使蘑菇帽螺栓不会因喷砂冲击力太大而掉落，并能够收集从蘑菇帽上清理掉落下来的溅射物，使溅射物不会污染到喷砂机。
2)本实用新型能够通过滑动夹紧机构的设置，使滑动部件和固定板之间的宽度能够根据不同规格的蘑菇帽螺栓进行调整，使蘑菇帽螺栓能够准确放置在滑动部件、连接杆和固定板共同构成了能够放置蘑菇帽螺栓的孔槽中，保证蘑菇帽螺栓上的溅射物能够被清理干净。
3)本实用新型的结构简单，操作容易，能够成批的将蘑菇帽螺栓送入喷砂机内进行清理，大幅提高了蘑菇帽螺栓上的溅射物清理效率，具有很好的推广价值。
附图说明：
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的俯视图；
图3为本实用新型的机架结构示意图；
图4为本实用新型的滑动夹紧机构的结构示意图；
图5为本实用新型的滑动部件的结构示意图；
图6为图2中的A-A截面图；
图7为本实用新型的连接杆端部的偏心轮安装结构示意图。
标号说明：
1、机架，11、底板，12、支撑台，13、固定板，14、导轨；
121、长孔，131、通孔；
2、滑动夹紧机构，21、连接杆，22、滑动部件，23、偏心轮，24、挡板，25、调节螺栓；
211、杆端关节轴承，212、连接轴；
221、滑动板，222、连接部，231、偏心轮手柄，241、固定孔；
3、蘑菇帽螺栓。
具体实施方式：
为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。
本实施例提供的蘑菇帽螺栓夹紧装置的结构如图1至图6所示，包括，机架1：包括底板11、支撑台12、固定板13和导轨14，底板11的长度为200mm，两个支撑台12分别焊接在沿底板11长度方向的两侧，支撑台12的长度为200mm、高度为20mm，支撑台12之间焊接有三个固定板13，固定板13两两之间的间距为40mm，固定板13上设有一对通孔131，通孔131之间的圆心间距为10mm，导轨14为T型导轨并通过螺栓固定在支撑台12上(图中未示出)，但可以理解的是，不限于图中所述的机构组成，图中只是示意性的表述出三个固定板13，实际上可根据需要设置更多固定板13。
滑动夹紧机构2：包括连接杆21、滑动部件22、偏心轮23和挡板24，两根连接杆21穿过通孔131设置在两个支撑台12之间，连接杆21上设置有与固定板13相同数量的滑动部件22，滑动部件22与固定板13两两相间排列布置，滑动部件22由滑动板221和连接部222组成，滑动板221的上表面与固定板13的上表面平齐，连接部222设置在滑动板221的两端上部，连接部222与导轨14滑动连接。
如图1、图3、图6和图7所示，连接杆21远离固定板13的一端设有杆端关节轴承211，偏心轮23与杆端关节轴承211之间通过连接轴212连接，偏心轮23的后端焊接有偏心轮手柄231，挡板24的结构和尺寸与固定板13相同，挡板24穿过连接杆21固设于支撑台12之间，挡板24上设有固定孔241，支撑台12两边侧面设有与固定孔241同一中心轴的贯穿的长孔121，长孔121和固定孔241内设有调整螺栓25，挡板24位于偏心轮23前端与偏心轮23面接触配合产生偏心力。
操作过程：使用前，操作人员根据蘑菇帽螺栓3的规格确定固定板13与滑动板221之间需要的最小宽度，接着通过改变调整螺栓25旋入长孔121的位置来调整挡板24在支撑台12之间的位置；调整螺栓25越往远离偏心轮23前端的方向调整，挡板24位置也随之移动，偏心轮23与挡板24的接触量就越少，使偏心力就越少，固定板13与滑动板221之间的宽度越大；反之，调节螺栓25越往靠近偏心轮23前端的方向调整，固定板13与滑动板221之间的宽度越小；使用时，操作人员将待清理的蘑菇帽螺栓3放置在由滑动板221、两根连接杆21和固定板13共同构成的孔槽内，蘑菇帽螺栓3放置完毕后，操作人员将偏心轮手柄231向下压，使偏心轮23作用于挡板24产生偏心作用从而拉动连接杆21，由于连接杆21的拉动，滑动板221通过连接部222沿着导轨14向后移动将蘑菇帽螺栓3夹紧，蘑菇帽螺栓3全部夹紧后放入抛丸喷砂机中进行喷砂清理；蘑菇帽螺栓3表面的溅射物清理完成后，将偏心轮手柄231向上拉，滑动板221通过连接部222沿着导轨14向前移动松开蘑菇帽螺栓3，即可取出蘑菇帽螺栓3重新用于镀膜生产线中阴极挡板的安装固定。
以上所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。