技术特征：
技术总结
本发明公开了冷阴极电弧等离子源及非接触引弧方法，该等离子源包括阴极基板、水冷铜板、铜板压环、阴极靶、压靶环、限弧组件、线圈组件和点火组件；水冷铜板设于阴极基板上，阴极靶设于水冷铜板上；铜板压环设于水冷铜板周围，且铜板压环的厚度大于水冷铜板的厚度；压靶环设于阴极靶周围，且与阴极靶周围形成一空腔；压靶环上均布有与该空腔连通的若干进气孔；限弧组件设于阴极靶周围；线圈组件设于阴极基板下；阴极基板和阴极靶中心均设有中心通孔，点火组件设于该中心通孔内。本发明等离子源不存在移动部件，制作成本低，方便安装维护，且节省安装空间；本发明引弧方法可避免因阴极和阳极过近所导致的不利影响。
技术研发人员：王向红;黄志宏;吴百中;陈上挺
受保护的技术使用者：温州职业技术学院
技术研发日：2018.01.23
技术公布日：2018.07.17