本发明涉及一种用于低辐射玻璃的钛钯材及其制备方法，属于材料制备技术领域。
背景技术：
低辐射玻璃，是在玻璃表面镀上多层金属或其他化合物组成的膜系产品。其镀膜层具有对可见光高透过及对中远红外线高反射的特性，使其与普通玻璃及传统的建筑用镀膜玻璃相比，具有优异的隔热效果和良好的透光性。因此，用低辐射玻璃制造建筑物门窗，可大大降低因辐射而造成的室内热能向室外的传递，达到理想的节能效果。低辐射玻璃的上述特性使得其在发达国家获得了日益广泛的应用。我国是一个能源相对匮乏的国度，能源的人均占有量很低，而建筑能耗已经占全国总能耗的27.5%左右。因此，大力开发低辐射玻璃的生产技术并推广其应用领域，必将带来显著的社会效益和经济效益。但是，低辐射玻璃单片玻璃膜面较软，抗腐蚀性较差，在受到潮气和某些氧化剂的侵袭时会缓慢氧化，所以必须在很短的时间内加工成中空玻璃。由于中空玻璃的弱呼吸作用，水蒸气、硫化物、氧化物进入空腔后，会导致镀在玻璃上的膜面受损，外观发乌、变色、逐渐出现大量霉点，导致低辐射玻璃的功能逐渐丧失。目前，其寿命为10年左右，在很大程度上限制了其应用范围。
技术实现要素：
本发明专利的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种用于低辐射玻璃行业的钛靶材及其制作方法，其用真空磁控溅射方法制成的薄膜，致密性好，耐氧化性强，可显著提高低辐射玻璃的使用寿命。
本发明采用如下技术方案：一种用于低辐射玻璃的钛钯材，各组分按重量份数计为：钛70-95份，钽0.5-6份，铪0.1-4份，钪0.1-0.5份，ti3si0.2-5份，钒0.3-4份，铬0.1-4份，钕0.1-2份，硼0.3-4份。
进一步的，各组分按重量份数计为：钛80-90份，钽1-3份，铪0.1-2份，钪0.1-0.3份，ti3si0.5-4份，钒1.5-4份，铬0.8-2.6份，钕0.6-1.2份，硼0.7-1.8份。
进一步的，各组分按重量份数计为：钛85-88份，钽2.1-2.6份，铪0.3-0.5份，钪0.2-0.3份，ti3si0.9-1.6份，钒2.5-3份，铬2.2-2.6份，钕0.9-1.1份，硼1.5-1.8份。
进一步的，钛85份，钽3.4份，铪3.1份，钪0.2份，ti3si2.6份，钒1.0份，铬1.5份，钕0.6份，硼2.6份。
用于低辐射玻璃的钛钯材的制备方法，包括如下步骤：其中各组分按重量份数计
（1）钛钕钪合金块的制备：向真空感应熔炼炉中放入称量好的钕锭0.1-2份，用30-50kw的功率将钕锭熔化得到钕熔液，保温温度控制为1350-1400℃，保温时间为3min；之后向熔液中加入钪0.1-0.5份，以20-30kw的功率熔炼5min；之后向熔液中加入钛0.5-2份，以40-60kw的功率熔炼10min，之后以15-25kw的功率精炼10min，控制温度为1550-1600℃；之后将上述熔液浇铸入模具铸成铸锭；把铸锭外表皮的氧化渣加工去除，切割成立方块；
（2）钛合金锭的制备：将上述所得立方块与钛68-94份，钽0.5-6份，铪0.1-0.4份，ti3si0.2-5份，钒0.3-4份，铬0.1-4份，硼块0.3-4份混合均匀，用液压机压制成圆柱后制成电极，用真空自耗电弧熔炼炉熔炼，铸造成合金锭；
（3）锻打、轧制：将上述所得合金锭在1250-1330℃进行锻打，制成长方体的的方锭；之后在1280-1350℃进行轧制，轧制后的厚度小于前述所得锻打方锭的40%；
（4）钛靶材的制备：合金锭经机加工制成靶材。
本发明制备方法简单，步骤易于操作，制备得到的钛靶材采用真空磁控溅射方法制成的薄膜，致密性好，耐氧化性强，能显著地提高低辐射玻璃的使用寿命；并且其光学性能优良，能够用来制作高品质的低辐射玻璃。
具体实施方式
下面将结合具体实施例对本发明作进一步的说明。
实施例1
一种用于低辐射玻璃的钛靶材，各组分按重量份数计为：钛70份，钽6份，铪4份，钪0.5份，ti3si5份，钒0.3份，铬4份，钕2份，硼0.3份。
一种用于低辐射玻璃的钛靶材钛靶材的制备方法，步骤为：
（1）钛钕钪合金块的制备：向真空感应熔炼炉中放入称量好的钕锭2份，用32kw的功率将钕锭熔化得到钕熔液，保温温度控制为1350-1400℃，保温时间为3min；之后向熔液中加入钪0.5份，以25kw的功率熔炼5min；之后向熔液中加入钛0.5份，以40kw的功率熔炼10min，之后以16kw的功率精炼10min，控制温度为1550-1600℃；之后将上述熔液浇铸入模具铸成10-50公斤的铸锭；把铸锭外表皮的氧化渣加工去除，锻打成厚度2-3厘米厚的板；将板剪成边长约2-3厘米的立方块；
（2）钛合金锭的制备：将上述所得立方合金块体与钛69.5份，钽6份，铪4份，ti3si5份，钒0.3份，铬4份，硼块0.3份混合均匀，用液压机压制直径8-15厘米，长度26-38厘米的圆柱，之后将4根圆柱焊接在一起，制成电极。用真空自耗电弧熔炼炉熔炼，铸造成直径8-20厘米，长度40-90厘米的合金锭；
（3）锻打、轧制：将上述所得合金锭经锻打轧制成长90-300厘米，宽8-25厘米，厚0.5-3厘米的合金锭；
（4）制成钛靶材：将前述所得合金锭经机加工制成靶材。
所述钛靶材密度5.61g/cm3，镀膜可见光透过率67%，可见光反射率23%。
实施例2
一种用于低辐射玻璃的钛靶材，各组分按重量份数计为：钛73份，钽6份，铪4份，钪0.4份，ti3si4.5份，钒3.8份，铬3.5份，钕1.6份，硼3.2份。
一种用于低辐射玻璃的钛靶材钛靶材的制备方法，步骤为：
（1）钛钕钪合金块的制备；向真空感应熔炼炉中放入称量好的钕锭1.6份，用45kw的功率将钕锭熔化得到钕熔液，保温温度控制为1350-1400℃，保温时间为3min；之后向熔液中加入钪0.4份，以28kw的功率熔炼5min；之后向熔液中加入钛2份，以43kw的功率熔炼10min，之后以16kw的功率精炼10min，控制温度为1550-1600℃；之后将上述熔液浇铸入模具铸成10-50公斤的铸锭；把铸锭外表皮的氧化渣加工去除，锻打成厚度2-3厘米厚的板；将板剪成边长约2-3厘米的立方块；
（2）钛合金锭的制备：将上述所得立方合金块体与钛71份，钽6份，铪4份，ti3si4.5份，钒3.8份，铬3.5份，硼块3.2份混合均匀，用液压机压制直径8-15厘米，长度26-38厘米的圆柱，之后将4根圆柱焊接在一起，制成电极。用真空自耗电弧熔炼炉熔炼，铸造成直径8-20厘米，长度40-90厘米的合金锭；
（3）锻打、轧制：将上述所得合金锭经锻打轧制成长90-300厘米，宽8-25厘米，厚0.5-3厘米的合金锭；
（4）制成钛靶材：将前述所得合金锭经机加工制成靶材。
所述钛靶材密度5.45g/cm3，镀膜可见光透过率68%，可见光反射率23%。
实施例3
一种用于低辐射玻璃的钛靶材，各组分按重量份数计为：钛76份，钽5.5份，铪3.8份，钪0.4份，ti3si4.0份，钒3.2份，铬2.7份，钕1.2份，硼3.2份。
一种用于低辐射玻璃的钛靶材钛靶材的制备方法，步骤为：
（1）钛钕钪合金块的制备：向真空感应熔炼炉中放入称量好的钕锭1.2份，用40kw的功率将钕锭熔化得到钕熔液，保温温度控制为1350-1400℃，保温时间为3min；之后向熔液中加入钪0.4份，以28kw的功率熔炼5min；之后向熔液中加入钛1.5份，以40kw的功率熔炼10min，之后以16kw的功率精炼10min，控制温度为1550-1600℃；之后将上述熔液浇铸入模具铸成10-50公斤的铸锭；把铸锭外表皮的氧化渣加工去除，锻打成厚度2-3厘米厚的板；将板剪成边长约2-3厘米的立方块；
（2）钛合金锭的制备：将上述所得立方合金块体与钛74.5份，钽5.5份，铪3.8份，ti3si4.0份，钒3.2份，铬2.7份，硼块3.2份混合均匀，用液压机压制直径8-15厘米，长度26-38厘米的圆柱，之后将4根圆柱焊接在一起，制成电极。用真空自耗电弧熔炼炉熔炼，铸造成直径8-20厘米，长度40-90厘米的合金锭；
（3）锻打、轧制：将上述所得合金锭经锻打轧制成长90-300厘米，宽8-25厘米，厚0.5-3厘米的合金锭；
（4）制成钛靶材：将前述所得合金锭经机加工制成靶材。
所述钛靶材密度5.31g/cm3，镀膜可见光透过率71%，可见光反射率21%。
实施例4
一种用于低辐射玻璃的钛靶材，各组分按重量份数计为：钛79份，钽4.9份，铪3.1份，钪0.3份，ti3si2.8份，钒2.9份，铬2.5份，钕1.0份，硼3.5份。
一种用于低辐射玻璃的钛靶材钛靶材的制备方法，步骤为：
（1）钛钕钪合金块的制备：向真空感应熔炼炉中放入称量好的钕锭1.0份，用38kw的功率将钕锭熔化得到钕熔液，保温温度控制为1350-1400℃，保温时间为3min；之后向熔液中加入钪0.3份，以25kw的功率熔炼5min；之后向熔液中加入钛1.2份，以40kw的功率熔炼10min，之后以16kw的功率精炼10min，控制温度为1550-1600℃；之后将上述熔液浇铸入模具铸成10-50公斤的铸锭；把铸锭外表皮的氧化渣加工去除，锻打成厚度2-3厘米厚的板；将板剪成边长约2-3厘米的立方块；
（2）钛合金锭的制备：将上述所得立方合金块体与钛77.8份，钽4.9份，铪3.1份，ti3si2.8份，钒2.9份，铬2.5份，硼块3.5份混合均匀，用液压机压制直径8-15厘米，长度26-38厘米的圆柱，之后将4根圆柱焊接在一起，制成电极。用真空自耗电弧熔炼炉熔炼，铸造成直径8-20厘米，长度40-90厘米的合金锭；
（3）锻打、轧制：将上述所得合金锭经锻打轧制成长90-300厘米，宽8-25厘米，厚0.5-3厘米的合金锭；
（4）制成钛靶材：将前述所得合金锭经机加工制成靶材。
所述钛靶材密度5.19g/cm3，镀膜可见光透过率73%，可见光反射率20%。
实施例5
一种用于低辐射玻璃的钛靶材，各组分按重量份数计为：钛82份，钽4.3份，铪3.6份，钪0.3份，ti3si2.9份，钒1.2份，铬2.2份，钕0.8份，硼2.7份。
一种用于低辐射玻璃的钛靶材钛靶材的制备方法，步骤为：
（1）钛钕钪合金块的制备：向真空感应熔炼炉中放入称量好的钕锭0.8份，用38kw的功率将钕锭熔化得到钕熔液，保温温度控制为1350-1400℃，保温时间为3min；之后向熔液中加入钪0.3份，以25kw的功率熔炼5min；之后向熔液中加入钛1.0份，以40kw的功率熔炼10min，之后以16kw的功率精炼10min，控制温度为1550-1600℃；之后将上述熔液浇铸入模具铸成10-50公斤的铸锭；把铸锭外表皮的氧化渣加工去除，锻打成厚度2-3厘米厚的板；将板剪成边长约2-3厘米的立方块；
（2）钛合金锭的制备：将上述所得立方合金块体与钛81份，钽4.3份，铪3.6份，ti3si2.9份，钒1.2份，铬2.2份，硼块2.7份混合均匀，用液压机压制直径8-15厘米，长度26-38厘米的圆柱，之后将4根圆柱焊接在一起，制成电极。用真空自耗电弧熔炼炉熔炼，铸造成直径8-20厘米，长度40-90厘米的合金锭；
（3）锻打、轧制：将上述所得合金锭经锻打轧制成长90-300厘米，宽8-25厘米，厚0.5-3厘米的合金锭；
（4）制成钛靶材：将前述所得合金锭经机加工制成靶材。
所述钛靶材密度5.11g/cm3，镀膜可见光透过率76%，可见光反射率16%。
实施例6
一种用于低辐射玻璃的钛靶材，各组分按重量份数计为：钛82份，钽4.3份，铪3.6份，钪0.3份，ti3si2.9份，钒1.2份，铬2.2份，钕0.8份，硼2.7份。
一种用于低辐射玻璃的钛靶材钛靶材的制备方法，步骤为：
（1）钛钕钪合金块的制备：向真空感应熔炼炉中放入称量好的钕锭0.8份，用38kw的功率将钕锭熔化得到钕熔液，保温温度控制为1350-1400℃，保温时间为3min；之后向熔液中加入钪0.3份，以25kw的功率熔炼5min；之后向熔液中加入钛1.0份，以40kw的功率熔炼10min，之后以16kw的功率精炼10min，控制温度为1550-1600℃；之后将上述熔液浇铸入模具铸成10-50公斤的铸锭；把铸锭外表皮的氧化渣加工去除，锻打成厚度2-3厘米厚的板；将板剪成边长约2-3厘米的立方块；
（2）钛合金锭的制备：将上述所得立方合金块体与钛81份，钽4.3份，铪3.6份，ti3si2.9份，钒1.2份，铬2.2份，硼块2.7份混合均匀，用液压机压制直径8-15厘米，长度26-38厘米的圆柱，之后将4根圆柱焊接在一起，制成电极。用真空自耗电弧熔炼炉熔炼，铸造成直径8-20厘米，长度40-90厘米的合金锭；
（3）锻打、轧制：将上述所得合金锭经锻打轧制成长90-300厘米，宽8-25厘米，厚0.5-3厘米的合金锭；
（4）制成钛靶材：将前述所得合金锭经机加工制成靶材。
所述钛靶材密度5.11g/cm3，镀膜可见光透过率77%，可见光反射率15%。
实施例7
一种用于低辐射玻璃的钛靶材，各组分按重量份数计为：钛85份，钽3.4份，铪3.1份，钪0.2份，ti3si2.6份，钒1.0份，铬1.5份，钕0.6份，硼2.6份。
一种用于低辐射玻璃的钛靶材钛靶材的制备方法，步骤为：
（1）钛钕钪合金块的制备：向真空感应熔炼炉中放入称量好的钕锭0.6份，用35kw的功率将钕锭熔化得到钕熔液，保温温度控制为1350-1400℃，保温时间为3min；之后向熔液中加入钪0.2份，以25kw的功率熔炼5min；之后向熔液中加入钛0.8份，以40kw的功率熔炼10min，之后以16kw的功率精炼10min，控制温度为1550-1600℃；之后将上述熔液浇铸入模具铸成10-50公斤的铸锭；把铸锭外表皮的氧化渣加工去除，锻打成厚度2-3厘米厚的板；将板剪成边长约2-3厘米的立方块；
（2）钛合金锭的制备：将上述所得立方合金块体与钛84.2份，钽3.4份，铪3.1份，ti3si2.6份，钒1.0份，铬1.5份，硼块2.6份混合均匀，用液压机压制直径8-15厘米，长度26-38厘米的圆柱，之后将4根圆柱焊接在一起，制成电极。用真空自耗电弧熔炼炉熔炼，铸造成直径8-20厘米，长度40-90厘米的合金锭；
（3）锻打、轧制：将上述所得合金锭经锻打轧制成长90-300厘米，宽8-25厘米，厚0.5-3厘米的合金锭；
（4）制成钛靶材：将前述所得合金锭经机加工制成靶材。
所述钛靶材密度4.95g/cm3，镀膜可见光透过率85%，可见光反射率12%。
实施例8
一种用于低辐射玻璃的钛靶材，各组分按重量份数计为：钛89份，钽1.8份，铪2.2份，钪0.2份，ti3si2.2份，钒1.2份，铬1.1份，钕0.3份，硼2.0份。
一种用于低辐射玻璃的钛靶材钛靶材的制备方法，步骤为：
（1）钛钕钪合金块的制备：向真空感应熔炼炉中放入称量好的钕锭0.3份，用32kw的功率将钕锭熔化得到钕熔液，保温温度控制为1350-1400℃，保温时间为3min；之后向熔液中加入钪0.2份，以25kw的功率熔炼5min；之后向熔液中加入钛0.6份，以40kw的功率熔炼10min，之后以16kw的功率精炼10min，控制温度为1550-1600℃；之后将上述熔液浇铸入模具铸成10-50公斤的铸锭；把铸锭外表皮的氧化渣加工去除，锻打成厚度2-3厘米厚的板；将板剪成边长约2-3厘米的立方块；
（2）钛合金锭的制备：将上述所得立方合金块体与钛88.4份，钽1.8份，铪2.2份，ti3si2.6份，钒1.2份，铬1.1份，硼块2.0份混合均匀，用液压机压制直径8-15厘米，长度26-38厘米的圆柱，之后将4根圆柱焊接在一起，制成电极。用真空自耗电弧熔炼炉熔炼，铸造成直径8-20厘米，长度40-90厘米的合金锭；
（3）锻打、轧制：将上述所得合金锭经锻打轧制成长90-300厘米，宽8-25厘米，厚0.5-3厘米的合金锭；
（4）制成钛靶材：将前述所得合金锭经机加工制成靶材。
所述钛靶材密度4.81g/cm3，镀膜可见光透过率86%，可见光反射率10%。
实施例9
一种用于低辐射玻璃的钛靶材，各组分按重量份数计为：钛93份，钽0.6份，铪2.5份，钪0.1份，ti3si1.2份，钒0.7份，铬0.6份，钕0.2份，硼1.1份。
一种用于低辐射玻璃的钛靶材钛靶材的制备方法，步骤为：
（1）钛钕钪合金块的制备：向真空感应熔炼炉中放入称量好的钕锭0.2份，用32kw的功率将钕锭熔化得到钕熔液，保温温度控制为1350-1400℃，保温时间为3min；之后向熔液中加入钪0.1份，以25kw的功率熔炼5min；之后向熔液中加入钛0.5份，以40kw的功率熔炼10min，之后以16kw的功率精炼10min，控制温度为1550-1600℃；之后将上述熔液浇铸入模具铸成10-50公斤的铸锭；把铸锭外表皮的氧化渣加工去除，锻打成厚度2-3厘米厚的板；将板剪成边长约2-3厘米的立方块；
（2）钛合金锭的制备：将上述所得立方合金块体与钛92.5份，钽0.6份，铪2.5份，ti3si1.2份，钒0.7份，铬0.6份，硼块1.1份混合均匀，用液压机压制直径8-15厘米，长度26-38厘米的圆柱，之后将4根圆柱焊接在一起，制成电极。用真空自耗电弧熔炼炉熔炼，铸造成直径8-20厘米，长度40-90厘米的合金锭；
（3）锻打、轧制：将上述所得合金锭经锻打轧制成长90-300厘米，宽8-25厘米，厚0.5-3厘米的合金锭；
（4）制成钛靶材：将前述所得合金锭经机加工制成靶材。
所述钛靶材密度4.64g/cm3，镀膜可见光透过率88%，可见光反射率8%。
实施例10：
一种用于低辐射玻璃的钛靶材，各组分按重量份数计为：钛95份，钽0.5份，铪0.1份，钪0.1份，ti3si0.2份，钒4份，铬0.1份，钕0.1份，硼4份。
一种用于低辐射玻璃的钛靶材钛靶材的制备方法，步骤为：
（1）钛钕钪合金块的制备：向真空感应熔炼炉中放入称量好的钕锭0.1份，用32kw的功率将钕锭熔化得到钕熔液，保温温度控制为1350-1400℃，保温时间为3min；之后向熔液中加入钪0.1份，以25kw的功率熔炼5min；之后向熔液中加入钛0.5份，以40kw的功率熔炼10min，之后以16kw的功率精炼10min，控制温度为1550-1600℃；之后将上述熔液浇铸入模具铸成10-50公斤的铸锭；把铸锭外表皮的氧化渣加工去除，锻打成厚度2-3厘米厚的板；将板剪成边长约2-3厘米的立方块；
（2）钛合金锭的制备：将上述所得立方合金块体与钛94.5份，钽0.5份，铪0.1份，ti3si0.2份，钒4份，铬0.1份，硼块4份混合均匀，用液压机压制直径8-15厘米，长度26-38厘米的圆柱，之后将4根圆柱焊接在一起，制成电极。用真空自耗电弧熔炼炉熔炼，铸造成直径8-20厘米，长度40-90厘米的合金锭；
（3）锻打、轧制：将上述所得合金锭经锻打轧制成长90-300厘米，宽8-25厘米，厚0.5-3厘米的合金锭；
（4）制成钛靶材：将前述所得合金锭经机加工制成靶材。
所述钛靶材密度4.50g/cm3，镀膜可见光透过率83%，可见光反射率12%。
实施例11
一种用于低辐射玻璃的钛靶材，各组分按重量份数计为：钛80份，钽3份，铪0.1份，钪0.3份，ti3si0.5份，钒4份，铬0.8份，钕1.2份，硼0.7份。
一种用于低辐射玻璃的钛靶材的制备方法，包括如下步骤：其中各组分按重量份数计
（1）钛钕钪合金块的制备：向真空感应熔炼炉中放入称量好的钕锭1.2份，用30kw的功率将钕锭熔化得到钕熔液，保温温度控制为1400℃，保温时间为3min；之后向熔液中加入钪0.3份，以20kw的功率熔炼5min；之后向熔液中加入钛0.5-2份，以40kw的功率熔炼10min，之后以25kw的功率精炼10min，控制温度为1600℃；最后将上述熔液浇铸入模具铸成铸锭；把铸锭外表皮的氧化渣加工去除，切割成立方块；
（2）钛合金锭的制备：将上述所得立方块与钛80份，钽3份，铪0.1份，ti3si0.5份，钒4份，铬0.8份，硼块0.7份混合均匀，用液压机压制成圆柱后制成电极，用真空自耗电弧熔炼炉熔炼，铸造成合金锭；
（3）锻打、轧制：将上述所得合金锭在1250℃进行锻打，制成长方体的的方锭；之后在1350℃进行轧制，轧制后的厚度小于前述所得锻打方锭的40%；
（4）钛靶材的制备：合金锭经机加工制成靶材。
实施例12
一种用于低辐射玻璃的钛靶材，各组分按重量份数计为：钛90份，钽1份，铪2份，钪0.1份，ti3si4份，钒4份，铬2.6份，钕0.6份，硼1.8份。
一种用于低辐射玻璃的钛靶材的制备方法，包括如下步骤：其中各组分按重量份数计
（1）钛钕钪合金块的制备：向真空感应熔炼炉中放入称量好的钕锭0.6份，用50kw的功率将钕锭熔化得到钕熔液，保温温度控制为1350℃，保温时间为3min；之后向熔液中加入钪0.1份，以30kw的功率熔炼5min；之后向熔液中加入钛2份，以60kw的功率熔炼10min，之后以15kw的功率精炼10min，控制温度为1550℃；最后将上述熔液浇铸入模具铸成铸锭；把铸锭外表皮的氧化渣加工去除，切割成立方块；
（2）钛合金锭的制备：将上述所得立方块与钛88份，钽1份，铪2份，ti3si4份，钒4份，铬2.6份，硼块1.8份混合均匀，用液压机压制成圆柱后制成电极，用真空自耗电弧熔炼炉熔炼，铸造成合金锭；
（3）锻打、轧制：将上述所得合金锭在1330℃进行锻打，制成长方体的的方锭；之后在1280℃进行轧制，轧制后的厚度小于前述所得锻打方锭的40%；
（4）钛靶材的制备：合金锭经机加工制成靶材。