技术特征：
技术总结
本发明公开了一种H2SO4/S2O82‑微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液系统及方法，解决了常见微蚀刻废液回收金属铜后依然有硫酸盐废液排出的问题，包括：S1、将微蚀刻废液导入第一电解槽的阴极室内，将阳极液导入第一电解槽的阳极室内；S2、通入直流电进行电解，持续电解数小时后停止通电，回收阴极件表面的金属铜；S3、将阴极室内电解回收金属铜后的微蚀刻废液导入阳极液储槽内储存并作为下次电解过程中的阳极液，将阳极室内再生的微蚀刻废液导入蚀刻机微蚀刻液储槽循环利用；S4、批序式重复上述S2、S3步骤，达到实现金属铜回收及微蚀刻液同步再生的目的。
技术研发人员：李朝林;罗海健;周明明
受保护的技术使用者：哈尔滨工业大学深圳研究生院
技术研发日：2018.06.15
技术公布日：2018.09.14