连续式多工位抛光机真空管路自清洗控制系统的制作方法

本发明涉及一种连续式多工位抛光机，具体涉及一种连续式多工位抛光机真空管路自清洗控制系统。

背景技术：

目前的抛光吸附都是通过真空泵抽气，使产品与载盘之间产生负压，在抛光过程中抛光液通过真空管路，长时间使用容易造成管路堵塞，一旦管路堵塞，需及时清理或者更换，这样，不仅造成材料浪费，而且操作也相当麻烦。尤其是，多工位抛光机的发展趋势使得真空管路越来越复杂，给排查管路堵塞位置带来了一定的困难。

目前，对于连续式多工位抛光机复杂的真空管路，还未见有关监测真空管路堵塞位置，并能自动清洗真空管路的控制系统的研究和报道。

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题是，提供一种能监测真空管路的堵塞位置，报警并停机自动清洗的连续式多工位抛光机真空管路自清洗控制系统。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：连续式多工位抛光机真空管路自清洗控制系统，包括真空储气罐、气动三通球阀ⅰ、气压力传感器ⅰ、气动三通球阀ⅱ、气动三通球阀ⅲ、抛光盘ⅰ、抛光盘ⅱ和可编程控制器；

所述真空储气罐分别与气动三通球阀ⅰ、气压力传感器ⅰ相连，所述气动三通球阀ⅱ、气动三通球阀ⅲ设在与真空储气罐相连的总真空管路上，所述总真空管路分别通过设有气动三通球阀ⅳ和气压力传感器ⅱ的真空管路ⅰ与抛光盘ⅰ相连、通过设有气动三通球阀ⅴ和气压力传感器ⅲ的真空管路ⅱ与抛光盘ⅱ相连；所述气动三通球阀ⅰ通过电磁阀与可编程控制器相连接；

所述可编程控制器分别与气压力传感器ⅰ、气压力传感器ⅱ、气压力传感器ⅲ相连接；

所述可编程控制器通过电磁阀ⅰ与气动三通球阀ⅲ相连，所述电磁阀ⅰ可控制气动三通球阀ⅲ，使总真空管路切换到和清洗水源接口接通；

所述可编程控制器通过电磁阀ⅱ与气动三通球阀ⅱ相连接，所述电磁阀ⅱ可控制气动三通球阀ⅱ，使总真空管路切换到和压缩空气接口接通

所述可编程控制器通过电磁阀ⅲ与气动三通球阀ⅳ相连，所述电磁阀ⅲ可控制气动三通球阀ⅳ，使真空管路ⅰ接通；

所述可编程控制器通过电磁阀ⅳ与气动三通球阀ⅴ相连接，所述电磁阀ⅳ可控制气动三通球阀ⅴ，使真空管路ⅱ接通。

进一步，还设有抛光盘ⅲ，所述总真空管路通过设有气动三通球阀ⅵ和气压力传感器ⅳ的真空管路ⅲ与抛光盘ⅲ相连，所述可编程控制器与气压力传感器ⅳ与相连；所述可编程控制器通过电磁阀ⅴ与气动三通球阀ⅵ相连，所述电磁阀ⅴ可控制气动三通球阀ⅵ，使真空管路ⅲ接通。

进一步，还设有抛光盘ⅳ，所述总真空管路通过设有气动三通球阀ⅶ和气压力传感器ⅴ的真空管路ⅳ与抛光盘ⅳ相连，所述可编程控制器与气压力传感器ⅴ相连；所述可编程控制器通过电磁阀ⅵ与气动三通球阀ⅶ相连接，所述电磁阀ⅵ可控制气动三通球阀ⅶ，使真空管路ⅳ接通。

进一步，还设有气动二通球阀，所述真空储气罐的底部通过管路与气动二通球阀相连，所述气动二通球阀与可编程控制器相连接。

进一步，所述真空储气罐的顶部通过管路分别与气动三通球阀ⅰ、气压力传感器ⅰ相连，。

本发明通过设置真空储气罐、气动三通球阀ⅰ、气压力传感器ⅰ，所述真空储气罐分别与气动三通球阀ⅰ、气压力传感器ⅰ相连，可实现真空储气罐真空，并检测真空储气罐中的真空压力。

本发明通过设置气动三通球阀ⅱ、气动三通球阀ⅲ，所述气动三通球阀ⅱ、气动三通球阀ⅲ设在与真空储气罐相连的总真空管路上，所述总真空管路分别通过设有气动三通球阀ⅳ和气压力传感器ⅱ的真空管路ⅰ与抛光盘ⅰ相连、通过设有气动三通球阀ⅴ和气压力传感器ⅲ的真空管路ⅱ与抛光盘ⅱ相连，不仅可实现工件的真空吸附，而且能检测管路真空压力大小，为后续判断管路是否堵塞以及实现自动清洗管路提供了基础。

本发明通过设置可编程控制器，所述可编程控制器分别与气压力传感器ⅰ、气压力传感器ⅱ、气压力传感器ⅲ相连接；所述可编程控制器通过电磁阀ⅰ与气动三通球阀ⅲ相连；所述可编程控制器通过电磁阀ⅱ与气动三通球阀ⅱ相连接；其中，所述可编程控制器根据相应传感器输入的真空压力转化信号进行比较判断真空压力大小，从而判断每个工位的真空管路是否堵塞，如果堵塞，输出报警信号并停机，输出信号使电磁阀控制气动三通球阀接通此工位的真空管路并切断其他工位的真空管路，输出信号使电磁阀ⅰ控制气动三通球阀ⅲ，使总真空管路切换到接清洗水源，清洗水源注入管路中，根据管路长短，控制电磁阀ⅰ的接通时间，时间到了关断，真空管路切换完成，再由可编程控制器输出信号使电磁阀ⅱ控制气动三通球阀ⅱ，使总真空管路切换到接压缩空气，压缩空气将管路中注入水稀释后的抛光液吹出管路，从而达到自动清洗堵塞工位的真空管路的目的。

概而言之，本发明通过在真空吸附管路的基础上增加监测、控制和清洗结构，当监测到真空压力不足时，自动清洗真空管路，清洗过程中产生的废水通过抛光作业处的接液盆排出。

利用本发明，可判断真空管路是否堵塞，以及实现自动清洗真空管路，可节省材料而降低生产成本，操作也非常简便，有利于多工位抛光机的发展。

附图说明

图1为连续式多工位抛光机真空管路的示意图；

图2为连续式多工位抛光机真空管路自清洗控制系统原理图；

图中：1-真空储气罐，2-气动三通球阀ⅰ，3-气压力传感器ⅰ，4-气动三通球阀ⅱ，5-气动三通球阀ⅲ，6-气动三通球阀ⅳ，7-气压力传感器ⅱ，8-抛光盘ⅰ，9-气动三通球阀ⅴ，10-气压力传感器ⅲ，11-抛光盘ⅱ，12-气动三通球阀ⅵ，13-气压力传感器ⅳ，14-抛光盘ⅲ，15-气动三通球阀ⅶ，16-气压力传感器ⅴ，17-抛光盘ⅳ，18-气动二通球阀，19-可编程控制器，20-电磁阀ⅰ，21-电磁阀ⅱ，22-电磁阀ⅲ，23-电磁阀ⅳ，24-电磁阀ⅴ，25-电磁阀ⅵ。

具体实施方式

以下结合附图及实施例对本发明作进一步说明。

实施例

参照图1和图2，一种连续式多工位抛光机真空管路自清洗控制系统，包括真空储气罐1、气动三通球阀ⅰ2、气压力传感器ⅰ3、气动三通球阀ⅱ4、气动三通球阀ⅲ5、气动三通球阀ⅳ6、气压力传感器ⅱ7、抛光盘ⅰ8、气动三通球阀ⅴ9、气压力传感器ⅲ10、抛光盘ⅱ11、气动三通球阀ⅵ12、气压力传感器ⅳ13、抛光盘ⅲ14、气动三通球阀ⅶ15、气压力传感器ⅴ16、抛光盘ⅳ17、气动二通球阀18、可编程控制器19、电磁阀ⅰ20、电磁阀ⅱ21、电磁阀ⅲ22、电磁阀ⅳ23、电磁阀ⅴ24和电磁阀ⅵ25；

所述真空储气罐1的顶部通过管路分别与气动三通球阀ⅰ2、气压力传感器ⅰ3相连，所述真空储气罐1的底部通过管路与气动二通球阀18相连；所述气动三通球阀ⅱ4、气动三通球阀ⅲ5设在与真空储气罐1相连的总真空管路上，所述总真空管路分别通过设有气动三通球阀ⅳ6和气压力传感器ⅱ7的真空管路ⅰ与抛光盘ⅰ8相连、通过设有气动三通球阀ⅴ9和气压力传感器ⅲ10的真空管路ⅱ与抛光盘ⅱ11相连、通过设有气动三通球阀ⅵ12和气压力传感器ⅳ13的真空管路ⅲ与抛光盘ⅲ14相连、通过设有气动三通球阀ⅶ15和气压力传感器ⅴ16的真空管路ⅳ与抛光盘ⅳ17相连；所述气动三通球阀ⅰ2、气动二通球阀18分别通过电磁阀与可编程控制器19相连接；

所述可编程控制器19分别与气压力传感器ⅰ3、气压力传感器ⅱ7、气压力传感器ⅲ10、气压力传感器ⅳ13、气压力传感器ⅴ16相连接；

所述可编程控制器19通过电磁阀ⅰ20与气动三通球阀ⅲ5相连，所述电磁阀ⅰ20可控制气动三通球阀ⅲ5，使总真空管路切换到和清洗水源接口接通；

所述可编程控制器19通过电磁阀ⅱ21与气动三通球阀ⅱ4相连接，所述电磁阀ⅱ21可控制气动三通球阀ⅱ4，使总真空管路切换到和压缩空气接口接通；

所述可编程控制器19通过电磁阀ⅲ22与气动三通球阀ⅳ6相连，所述电磁阀ⅲ22可控制气动三通球阀ⅳ6，使真空管路ⅰ接通；

所述可编程控制器19通过电磁阀ⅳ23与气动三通球阀ⅴ9相连接，所述电磁阀ⅳ23可控制气动三通球阀ⅴ9，使真空管路ⅱ接通；

所述可编程控制器19通过电磁阀ⅴ24与气动三通球阀ⅵ12相连，所述电磁阀ⅴ24可控制气动三通球阀ⅵ12，使真空管路ⅲ接通；

所述可编程控制器19通过电磁阀ⅵ25与气动三通球阀ⅶ15相连接，所述电磁阀ⅵ25可控制气动三通球阀ⅶ15，使真空管路ⅳ接通。

所述气动三通球阀ⅰ2、气动三通球阀ⅱ4、气动三通球阀ⅲ5、气动三通球阀ⅳ6、气动三通球阀ⅴ9、气动三通球阀ⅵ12、气动三通球阀ⅶ15、气动二通球阀18也可以采用其它结构的阀门。

工作时，真空泵抽气，通过气压力传感器ⅰ3检测真空储气罐1中的真空压力，气动三通球阀ⅱ4和气动三通球阀ⅲ5控制总的真空管路，抛光盘ⅰ8通过气动三通球阀ⅳ6与总真空管路联接，抛光盘ⅱ11通过气动三通球阀ⅴ9与总真空管路联接，抛光盘ⅲ14通过气动三通球阀ⅵ12与总真空管路联接，抛光盘ⅳ17通过气动三通球阀ⅶ15与总真空管路联接，各抛光盘根据需要可以自由接通或切断真空管路，装好工件的抛光盘ⅰ8使用气压力传感器ⅱ7检测真空压力，装好工件的抛光盘ⅱ11使用气压力传感器ⅲ10检测真空压力，装好工件的抛光盘ⅲ14使用气压力传感器ⅳ13检测真空压力，装好工件的抛光盘ⅳ17使用气压力传感器ⅴ16检测真空压力，装好工件的抛光盘因为工件和盘之间存在缝隙，空气可以通过缝隙缓慢进入真空管路中，真空压力值稳定在一个范围，进入抛光盘中的空气通过管路和气动三通球阀进入到真空储气罐，影响真空储气罐的真空压力值，真空储气罐1通过气压力传感器ⅰ3检测真空压力，气压力传感器ⅱ7、气压力传感器ⅲ10、气压力传感器ⅳ13、气压力传感器ⅴ16、气压力传感器ⅰ3检测到的真空压力转化为图2中可编程控制器19可以识别的信号，可编程控制器19根据输入的信号进行比较判断真空压力大小，从而判断每个工位的真空管路是否堵塞，如果堵塞，输出报警信号并停机，输出信号使电磁阀控制气动三通球阀接通此工位的真空管路并切断其他工位的真空管路，输出信号使电磁阀ⅰ20控制气动三通球阀ⅲ5，使总真空管路切换到和接口f接通，接口f接清洗水源，清洗水源注入管路中，根据管路长短，控制电磁阀ⅰ20的接通时间，时间到了关断，真空管路切换完成，再由可编程控制器19输出信号使电磁阀ⅱ21控制气动三通球阀ⅱ4，使总真空管路切换到和接口e接通，接口e接0.5兆帕的压缩空气，压缩空气将管路中注入水稀释后的抛光液吹出管路，从而达到自动清洗堵塞工位的真空管路的目的。