一种高韧性MAX相陶瓷涂层及其制备方法与流程

文档序号:17424224发布日期:2019-04-17 02:38阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种高韧性的MAX相陶瓷涂层,其成分组成为V2AlC,所述涂层为层状结构,生长尺度上主层的厚度为50~150nm,所述主层由若干层次层组成,所述次层的厚度为10~30nm。本发明还公开了上述MAX相陶瓷涂层的制备方法,采用磁控溅射法并辅助射频叠加直流的电源施加方式,在非晶基体上非外延生长出所述MAX相陶瓷涂层,该涂层的韧性指数δH为0.4~0.8,硬度为20GPa~25Gpa,具有很好的防护性能。

技术研发人员:黄峰;李朋;赵公澍;葛芳芳
受保护的技术使用者:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
技术研发日:2018.12.13
技术公布日:2019.04.16
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