一种石英片研磨盘及电极连接结构的制作方法

文档序号:15541313发布日期:2018-09-28 19:43阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种石英片研磨盘及电极连接结构,其特征在于:包括电极杆、绝缘管、轴杆压盘及上研磨盘,轴杆压盘上设有连接孔,所述上研磨盘上设有滑孔,所述电极杆固定于绝缘管内,所述绝缘管穿入连接孔且与连接孔紧配合,所述滑孔与绝缘管滑动配合。

2.根据权利要求1所述的一种石英片研磨盘及电极连接结构,其特征在于:所述电极杆的一端设有直径大于电极杆直径的电极帽,且绝缘管上一端设有直径大于绝缘管直径的凸台,该凸台中设有与绝缘管的管孔连通的沉头孔,所述电极帽位于沉头孔中。

3.根据权利要求2所述的一种石英片研磨盘及电极连接结构,其特征在于:所述电极帽中设有连杆孔。

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