一种铜盘研磨盘的制作方法

文档序号:15668812发布日期:2018-10-16 18:17阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种铜盘研磨盘,其特征在于所述铜盘研磨盘由下至上依次包括报废铜盘(1)、表面处理层(2)、化学镀镍层(3)、电镀铜层(4),所述电镀铜层(4)表面设有凹槽(5),所述电镀铜层(4)的厚度大于报废铜盘(1)的厚度,所述凹槽(5)的深度为0.1~0.3mm,槽间距为2~4mm,所述凹槽(5)在电镀铜层上的形状为等距同心圆或阿基米德螺旋线形的连续凹槽。

2.如权利要求1所述的铜盘研磨盘,其特征在于所述铜盘研磨盘的直径为300mm~500mm,厚度为12mm~20mm。

3.如权利要求1所述的铜盘研磨盘,其特征在于所述报废铜盘(1)的厚度为4~8mm。

4.如权利要求1所述的铜盘研磨盘,其特征在于化学镀镍层(3)的厚度为0.5mm~1mm。

5.如权利要求1所述的铜盘研磨盘,其特征在于所述电镀铜层(4)的厚度为5~10mm。

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