一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构的制作方法

文档序号:15664320发布日期:2018-10-13 01:48阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构,其特征在于:包括反应腔和炉门,所述的反应腔具有用于容纳石墨舟的内腔以及与内腔相连通炉口,该炉口的顶部设置有一遮挡部位,该遮挡部位用于减小反应腔内的热量流失;

所述的炉门盖在炉口处,且炉口朝向炉门的面上设置有环形的凹槽,该环形的凹腔设置有密封圈,所述的炉门压紧在密封圈上,将反应腔的炉口密封。

2.根据权利要求1所述的一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构,其特征在于:所述的反应腔呈圆柱状,所述炉口朝向炉门的面呈圆形;所述的炉口包括一圆弧边以及连接于圆弧边两端的直线边。

3.根据权利要求1所述的一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构,其特征在于:所述的反应腔具有与之相连接的前支撑板,且前支撑板与反应腔之间设置有保温环;

所述前支撑板的另一侧设置有进气法兰,所述的炉口设置在进气法兰上。

4.根据权利要求3所述的一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构,其特征在于:所述的炉门上活动连接有一炉门支撑板,炉门支撑板与炉门之间设置有波纹管和调节螺杆,且所述调节螺杆的一端转动安装在炉门上,调节螺杆的另一端与炉门支撑板螺纹连接。

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