一种真空等离子镀膜用烘烤装置的制作方法

文档序号:18064659发布日期:2019-07-03 03:19阅读:190来源:国知局
一种真空等离子镀膜用烘烤装置的制作方法

本实用新型涉及等离子镀膜技术领域,尤其涉及一种真空等离子镀膜用烘烤装置。



背景技术:

真空等离子镀膜通常采用的冷阴极电弧蒸发,以固体镀料作为阴极,采用水冷、使冷阴极表面形成许多亮斑,即阴极弧斑,弧斑就是电弧在阴极附近的弧根,在极小空间的电流密度极高,弧斑尺寸极小,电流密度高达l05A/cm2~107A/cm2,每个弧斑存在极短时间,爆发性地蒸发离化阴极改正点处的镀料,蒸发离化后的金属离子,在阴极表面也会产生新的弧斑,许多弧斑不断产生和消失。

目前的等离子镀膜装置,如中国专利CN205576267U公开的一种新型的等离子镀膜机,在镀膜后,需要将工件取出后再置入烘烤机进行烘烤,不仅麻烦,还会对工件的品质造成不良影响。



技术实现要素:

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的镀膜机内无烘烤的缺点,而提出的一种真空等离子镀膜用烘烤装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种真空等离子镀膜用烘烤装置,包括镀箱、箱盖和密封垫,所述镀箱的上部固定连接有转动电机,且转动电机的输出端连接有输出轴,所述输出轴的另一端固定连接有第一板夹,所述镀箱的上部转动连接有从动轴,所述从动轴的一端固定连接有第二板夹,所述镀箱的上部转动连接有箱盖,所述镀箱的上部设置有密封垫,所述镀箱的内侧设置有连接环,且连接环的内侧转动连接有翻转板,所述箱盖的内壁转动连接有电动缸,且电动缸的输出端连接有推杆,所述推杆的另一端和翻转板转动连接,所述箱盖的顶部固定连接有集气盒,且集气盒的上侧连接有进气管,所述集气盒的下侧设置有多个连通管。

优选的,所述输出轴和从动轴分别通过密封轴承连接在所述镀箱的上部,且输出轴和从动轴的中轴线为同一条直线。

优选的,所述翻转板呈扇形结构,且翻转板沿所述连接环的内壁呈环形阵列排布。

优选的,所述翻转板的侧边设置有密封块。

优选的,所述集气盒的上侧开设有进气孔,且进气孔的内部固定连接有波纹管,所述波纹管的另一端和所述进气管固定连接。

优选的,所述集气盒的下侧开设有多个连通孔,所述连通管焊接在连通孔的内部。

本实用新型的有益效果是:

1、本实用新型将烘烤装置设置在镀膜机内部,在镀膜后,能够直接在烘烤机内进行烘烤,无需转移工件,简化了操作,而且有利于提高工件的质量。

2、本实用新型在箱盖内部设置了多个扇形的翻转板,在镀膜时,翻转板可将上部烘烤部件隔离,避免金属离子对烘烤部件造成干扰。

综上所述,对比于现有技术,本实用新型将烘烤装置设置在镀膜机内部,在镀膜后,无需转移工件,简化了操作,有利于提高工件的质量,箱盖内部设置了多个扇形的翻转板,在镀膜时,翻转板可将上部烘烤部件隔离,避免金属离子对烘烤部件造成干扰。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种真空等离子镀膜用烘烤装置的主视剖面结构示意图;

图2为本实用新型提出的一种真空等离子镀膜用烘烤装置的主视结构示意图;

图3为本实用新型提出的一种真空等离子镀膜用烘烤装置的翻转板俯视结构示意图。

图中:1镀箱、2转动电机、3输出轴、4第一板夹、5从动轴、6第二板夹、7箱盖、8密封垫、9连接环、10翻转板、11密封块、12电动缸、13推杆、14集气盒、15进气管、16连通管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。

参照图1-3,一种真空等离子镀膜用烘烤装置,包括镀箱1、箱盖7和密封垫8,镀箱1的内壁涂有绝缘涂层,镀箱1的上部通过螺丝安装有电机支架,且电机支架上安装有转动电机2,转动电机2的输出端连接有输出轴3,输出轴3的另一端胶接有第一板夹4,镀箱1的上部转动连接有从动轴5,从动轴5的一端胶接有第二板夹6,镀箱1的上部铰接有箱盖7,镀箱1的上部设置有密封垫8,镀箱1的内侧设置有连接环9,连接环9的内侧通过转轴连接有翻转板10,箱盖7的内壁铰接有电动缸12,且电动缸12的输出端铰接有推杆13,推杆13的另一端和翻转板10铰接,箱盖7的顶部法兰连接有集气盒14,且集气盒14的上侧连接有进气管15,进气管15连接氩气管道,氩气管道上部设置有加热器,进气管15的上部安装有电控阀,电控阀的型号为Q941M-16C,集气盒14的下侧设置有多个连通管16。

具体的,输出轴3和从动轴5分别通过密封轴承连接在镀箱1的上部,且输出轴3和从动轴5的中轴线为同一条直线,第一板夹4和第二板夹6均为弹簧夹。

具体的,翻转板10为绝缘材质,优选聚四氟乙烯材质,翻转板10呈扇形结构,且翻转板10沿连接环9的内壁呈环形阵列排布。

其中,环绕翻转板10的侧边设置有密封块11。

具体的,集气盒14的上侧开设有进气孔,且进气孔的内部固定法兰连接有波纹管,波纹管的另一端和进气管15法兰连接。

具体的,集气盒14的下侧开设有多个连通孔,连通管16焊接在连通孔的内部,中部的连通管16竖直,边缘的连通管16倾斜,越靠近边缘的连通管16和集气盒14的夹角越小。

其中,转动电机2、电控阀和各电动缸12均通过导线和装置的插头连接,转动电机2、电控阀和各电动缸12均和PLC控制系统电性连接。

实施例:在进行真空等离子镀膜时,和市面上的真空等离子镀膜装置一样,将箱盖7打开,将镀件夹在第一板夹4和第二板夹5之间后,将箱盖7通过锁扣和镀箱1扣在一起,电镀过程如现有真空等离子镀膜装置,镀膜过程中,各个翻转板10平置,各个密封块11紧密接触,将上部的烘烤部件和镀箱1隔开,镀箱1底部设有保护气管道(图中未画出),供镀膜过程中的保护气进出,镀膜后,通过PLC控制系统的控制端指令电动缸12,电动缸12带动推杆13回缩,使得翻转板10翻转,各个翻转板10张开,PLC控制系统的控制端指令电控阀,电控阀开启,进气管15开始向集气盒14内部吹入加热的氩气,氩气经各个连通管16吹入箱盖7内部,并经镀箱1底部设有保护气管道出气,与此同时,转动电机2带动输出轴3转动,从而带动工件一起转动,第二板夹6和从动轴5也随之转动。

以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

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