一种镀膜装置的旋转盘的制作方法

文档序号:19088515发布日期:2019-11-08 23:40阅读:191来源:国知局
一种镀膜装置的旋转盘的制作方法

本实用新型属于真空蒸发镀膜技术领域,涉及一种镀膜装置的旋转盘。



背景技术:

真空蒸发镀膜,是一种由物理方法产生薄膜材料的技术,在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术最先用于生产光学镜片,如航海望远镜镜片等,后延伸到其他功能薄膜、唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等。

真空蒸发镀膜时,需要使用到镀膜装置,例如中国专利文献资料公开的一种镀膜机[申请号:201220244520.3;授权公告号:CN202766611U],其包括真空腔室和设于真空腔室上部并由电机驱动旋转的镀膜伞,镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔,镀膜伞一侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源,蒸发源和镀膜伞之间还设置有一橄榄形修正板,修正板的两端尖部分别位于镀膜伞中心和边缘的下方。

该种结构的镀膜机,通过设置修正板的位置,达到减少膜后误差,提高光学薄膜厚度均匀性的目的。但是该种结构的镀膜机,镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔,放置孔的数量较多,安放工件时,操作者需要等到工件镀膜结束后,再带着工件进入到真空腔室中,并逐个的将工件安装放置到工件放置孔中,工件安放的次数多,且由于镀膜伞较高,操作不便,导致工件的安放效率低,从而降低工作效率低。



技术实现要素:

本实用新型的目的是针对现有技术中存在的上述问题,提出了一种镀膜装置的旋转盘,解决的技术问题是如何使工件安放方便。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现:一种镀膜装置的旋转盘,包括呈伞状的本体,其特征在于,所述本体中具有若干个贯穿本体的安装框,所述安装框中嵌入且可拆卸的固连有定位夹具,所述定位夹具中具有若干个用于定位工件的放置孔,所述定位夹具的侧部具有凸出设置的挡块,所述挡块能抵靠在本体上。

旋转盘包括本体和安装在本体定位框中的定位夹具,定位夹具的设置可以使工件事先安放到定位夹具中,定位夹具中设有多个工件,即与本体相定位的安装次数变少,然后将定位夹具安装在本体上,定位夹具的设置使工件能够更快的安放到本体中,使工件安放方便,可以降低镀膜装置停机的时间,从而提高工件的加工效率。

在上述的一种镀膜装置的旋转盘中,所述本体包括呈正多边形的内板和若干个外板,所述外板内端的尺寸小于外板外端的尺寸,所述外板的内端与内板相固连,所有外板的外端相连后呈圆形。本体整体呈圆形,外板内端的尺寸小于外板外端的尺寸,设计合理;本体分成内板和外板两个部分,该种结构,使本体组装方便,本体加工方便。

在上述的一种镀膜装置的旋转盘中,沿竖直方向,所述外板的内端位于外板外端的上方,所述外板由内向外斜向下设置。本体呈伞形,使位于定位夹具中的工件能够更好的进行镀膜。

在上述的一种镀膜装置的旋转盘中,所述外板外端的两侧均具有向外延伸形成的延长部,所述内板的外边、相邻两个外板的两侧以及延长部形成所述安装框,所述外板中贯穿形成所述安装框。安装框设计合理,使本体中最大限度的安装工件外,且使定位夹具的数量尽可能的少,从而提高工件的安放效率,提高工件的加工效率。

在上述的一种镀膜装置的旋转盘中,所述定位夹具包括盖板和底板,所述盖板和底板可拆卸固连,所述盖板上具有若干个贯穿的第一通孔,所述第一通孔的边沿处具有凸出设置的环形凸沿,所述底板上具有若干个贯穿的第二通孔,所述第一通孔和第二通孔一一对应设置,所述第二通孔的内侧壁上具有第一环形台阶面,所述环形凸沿能嵌入到第二通孔中且所述环形凸沿与第一环形台阶面正对设置,所述环形凸沿与第一环形台阶面之间具有间隙,所述第一通孔、环形凸沿、第二通孔和第一环形台阶面形成所述放置孔。定位夹具分成两个部分,在安放工件时,先将盖板和底板打开,操作者将工件逐个的放置在第二通孔中,使工件的边沿抵靠在第一环形台阶面上,然后盖上盖板,使环形凸沿嵌入到第二通孔中,使环形凸沿配合第一环形台阶面对工件进行定位,环形凸沿与第一环形台阶面之间具有间隙,该间隙供工件的边沿嵌入,且该间隙的尺寸大于工件边沿的厚度,工件在生产加工的过程中不会脱落,从而减少不必要的更换工件带来的麻烦,使工件安放方便,定位夹具的设置可以使工件提前安放,降低镀膜装置停机的时间,提高加工效率。

在上述的一种镀膜装置的旋转盘中,所述第二通孔的内侧壁上还具有第二环形台阶面,沿第二通孔的径向,所述第二环形台阶面位于第一环形台节面的内侧。该种结构,适合工件具有台阶面的情况,使工件的台阶面抵靠在第一环形台阶面上,使工件的底部边沿抵靠在第二环形台阶面上,防止工件被卡住,且提高工件安装的稳定性。

在上述的一种镀膜装置的旋转盘中,所述第二通孔的开口处具有倾斜设置的导向面,所述导向面相对于第一环形台阶面更加靠近盖板。导向面的设置对工件的安放起到导向的作用,使工件能够更快的导入到放置孔中,提高工件的安放效率,从而提高工件的加工效率。

在上述的一种镀膜装置的旋转盘中,所述盖板和底板大小形状相同,所述挡块位于底板的侧部,所述盖板嵌入到安装框中。安装框的形状与定位夹具的形状相匹配,安装时,盖板嵌入到安装框中即部分定位夹具嵌入到安装框中,挡块位于底板的侧部,挡块抵靠在本体上,方便操作者感知定位夹具安装到位,将定位夹具与本体固连即可。

在上述的一种镀膜装置的旋转盘中,所述盖板上具有若干个第一固定孔,所述底板上具有若干个第二固定孔,所述第一固定孔和第二固定孔一一对应设置,通过紧固件穿过对应设置的第一固定孔和第二固定孔使盖板和底板可拆卸的相固连。通过紧固件如螺栓使盖板和底板相固连,固连方便,通过螺栓进行固连,盖板和底板固连后是可拆卸的。

在上述的一种镀膜装置的旋转盘中,所述底板的两端均具有凸出设置的固定块,通过紧固件穿过所述固定块与本体相固连使所述定位夹具与本体可拆卸的相固连。通过固定块抵靠在本体中,再通过紧固件如螺栓穿过固定块使定位夹具和本体可拆卸的固连,拆装方便,提高工件的加工效率。

与现有技术相比,本实用新型提供的镀膜装置的旋转盘将工件事先安放在定位夹具中,再将定位夹具固连在本体中,相对于将工件逐个的安放到本体中,通过定位夹具进行安装,需要安装的次数少,节约安装时间,且降低镀膜装置的停机时间,从而提高工作效率。

附图说明

图1是本旋转盘的整体结构示意图。

图2是本旋转盘的定位夹具的整体结构示意图。

图3是本旋转盘的定位夹具中的放置孔处的剖视图。

图中,1、本体;11、安装框;12、内板;13、外板;14、延长部;2、定位夹具;21、放置孔;22、挡块;23、盖板;24、底板;25、第一通孔;26、环形凸沿;27、第二通孔;28、第一环形台阶面;29、第二环形台阶面;210、导向面;211、第一固定孔;212、第二固定孔;213、固定块。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图,对本实用新型的技术方案作进一步的描述,但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1所示,本镀膜装置的旋转盘包括本体1和定位夹具2。

本体1呈伞状,本实施例中,本体1包括呈正五边形的内板12和五个外板13,在实际生产中,本体1可以包括呈正六边形的内板12和六个外板13,或者本体1包括呈正八边形的内板12和八个外板13。沿竖直方向,外板13的内端位于外板13外端的上方,外板13由内向外斜向下设置,外板13内端的尺寸小于外板13外端的尺寸,外板13的内端与内板12相固连,外板13外端的两侧均具有向外延伸形成的延长部14,外板13的外端、以及延长部14相连后呈圆形,内板12的外边、相邻两个外板13的两侧以及延长部14形成安装框11,外板13中贯穿形成安装框11,即安装框11贯穿本体1,两种安装框11的大小不同,本实施例中,安装框11的数量为十个,在实际生产中,安装框11的数量可以为十二个或者为十六个。

安装框11中嵌入且可拆卸的固连有定位夹具2,安装在不同大小的安装框11中的定位夹具2的大小是不同的,本实施例中,以安装在内板12的外边、相邻两个外板13的两侧以及延长部14形成的安装框11中的定位夹具2为示例进行论述。

如图2所示,定位夹具2包括盖板23和底板24,盖板23和底板24大小形状相同,本实施例中,盖板23上具有六个第一固定孔211,底板24上具有六个第二固定孔212,第一固定孔211和第二固定孔212一一对应设置,在实际生产中,第一固定孔211和第二固定孔212的数量为四个或者八个。通过紧固件如螺栓穿过对应设置的第一固定孔211和第二固定孔212使盖板23和底板24可拆卸的相固连。挡块22位于底板24的侧部,底板24的两端均具有凸出设置的固定块213,盖板23嵌入到安装框11中,挡块22能抵靠在本体1上,且固定块213也抵靠在本体1上,紧固件如螺栓穿过固定块213与本体1相固连使定位夹具2与本体1可拆卸的相固连。本实施例中,盖板23上具有九十六个贯穿的第一通孔25,底板24上具有九十六个贯穿的第二通孔27,第一通孔25和第二通孔27一一对应设置,在实际生产中,第一通孔25和第二通孔27的数量可以均为六十个或者两百个。

如图3所示,第一通孔25的边沿处具有凸出设置的环形凸沿26,第二通孔27的内侧壁上具有第一环形台阶面28、第二环形台阶面29和导向面210,沿第二通孔27的径向,第二环形台阶面29位于第一环形台节面的内侧,导向面210位于第二通孔27的开口处,且导向面210倾斜设置,导向面210相对于第一环形台阶面28更加靠近盖板23。环形凸沿26能嵌入到第二通孔27中且环形凸沿26与第一环形台阶面28正对设置,环形凸沿26与第一环形台阶面28之间具有间隙,第一通孔25、环形凸沿26、第二通孔27、第一环形台阶面28和第二环形台阶面29形成放置孔21。

安装时,操作者先将工件放置在底板24的第二通孔27中,工件的边沿抵靠在第一台阶面上,再将盖板23盖在底板24上,使盖板23和底板24相固连,环形凸沿26嵌入到第二通孔27中,环形凸沿26和第一台阶面相配合使工件定位在放置孔21中,然后可以将定位夹具2整体的安装到本体1的定位框中即可,后续时,只需要事先将工件放置在定位夹具2中,再更换定位夹具2即可。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代,但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

尽管本文较多地使用了本体1、安装框11、内板12、外板13、延长部14、定位夹具2、放置孔21、挡块22、盖板23、底板24、第一通孔25、环形凸沿26、第二通孔27、第一环形台阶面28、第二环形台阶面29、导向面210、第一固定孔211、第二固定孔212、固定块213等术语,但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本实用新型的本质;把它们解释成任何一种附加的限制都是与本实用新型精神相违背的。

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