全口径薄膜沉积夹具的制作方法

本申请涉及工装夹具的技术领域，具体而言，涉及一种全口径薄膜沉积夹具。

背景技术：

薄膜沉积技术，被广泛应用于光学镜片、半导体技术等领域中，它是一连串涉及原子的吸附、吸附原子在表面的扩散及在适当的位置下聚结，以渐渐形成薄膜并成长的过程。

现如今，薄膜沉积技术是通过夹具夹持待加工件，再采用物理与化学气相方法、分子束外延方法、旋转涂覆、喷涂方法、电镀方法、电子束蒸发镀膜或溅射镀膜等方法，加工所需镀膜的表面。但是现有技术中的夹具在夹持待加工件的过程中，会遮蔽部分区域，导致镀膜表面可能会产生压边等印迹，镀膜表面的质量较差，影响薄膜沉积的效果，无法适应对镀膜表面要求较高的场合。

技术实现要素：

本申请的目的在于提供一种全口径薄膜沉积夹具，以解决现有技术中的镀膜表面质量较差的技术问题。

本申请的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：

一种全口径薄膜沉积夹具，包括第一固定座、第二固定座和调整杆，第一固定座具有第一贯穿孔；第二固定座具有第二贯穿孔，第一固定座与第二固定座连接；以及调整杆设置于第二贯穿孔内，其中，第一贯穿孔用以容置待加工件，并藉由调整杆固定待加工件。

操作时，先将待加工件放置在第一贯穿孔内，待加工件的一部分陷落在第一贯穿孔内，一部分成外露设置，并使待加工件的底面与第一固定座的底面平齐，再在令调整杆在第二贯穿孔内移动，使得调整杆的一端部能与待加工件相抵，固定待加工件；接着可以对第一固定座的底面进行薄膜沉积处理。

此时，该待加工件的底面没有任何遮挡，从而实现待加工件的底面的全口径薄膜沉积；而该待加工件的侧面与底面相连的一段被陷落在第一贯穿孔内，起到遮挡效果，因此不会沉积薄膜。故本申请既可以实现待加工件的底面的全口径薄膜沉积，也可以避免待加工件的侧面的薄膜沉积，从而可以精准地进行薄膜沉积，提高薄膜沉积的质量，可以适应对镀膜表面要求较高的场合且结构简单、安全可靠。

本申请可以被应用于光学镜片、半导体技术等领域中，当其被应用于光学镜片时，还可以避免镜片的通光口径受限，从而可以适应对镀膜通光口径要求较高的场合。

其中，通光口径是指镜片的有效口径，镜片的口径是指镜片的大小，镜片的有效口径即通光口径，是指能通过镜片的光束最大直径。

于一实施例中，第一贯穿孔为光孔。且第一贯穿孔的孔径和孔壁形状与待加工件相适应，待加工件可以是条状。

于一实施例中，第一贯穿孔设于第二固定座的一侧，并成外露状态；第二贯穿孔与第一贯穿孔具有对应关系，第二贯穿孔的轴线与一个相应的第一贯穿孔的轴线之间具有夹角；

于一实施例中，还包括双面胶，双面胶固定在第二固定座的外表面上，并设于第二固定座靠近第一贯穿孔的侧面上，用于固定待加工件。

双面胶可以为耐高温双面胶，即可耐高温至150度，低温至零下35度的高温双面胶带。

当藉由调整杆固定待加工件时，可以令调整杆在第二贯穿孔内移动，使得调整杆的一端部能与双面胶相抵，从而使得双面胶在调整杆的作用下变形或者移动，双面胶靠上待加工件成外露设置的部分，并与其接触达到粘贴效果，双面胶使得待加工件固定在第一贯穿孔内。

于一实施例中，还包括紧缚件，紧缚件套设在第二固定座外，用于固定待加工件。

紧缚件的设置，可以使得待加工件与双面胶连接地更为紧密，令待加工件夹持地更为稳固、可靠。

于一实施例中，紧缚件为胶带，缠绕在第二固定座和待加工件外。

紧缚件为胶带，并采用缠绕的方式，不仅便于操作，且可令待加工件成外露设置的部分更为靠近双面胶和第二固定座，使得加工元件夹持地更为稳固、可靠。

其中，胶带在缠绕时将粘贴面朝向双面胶，则两者连接更为紧密。

于一实施例中，胶带可以为高温胶带，即高温作业环境下使用的胶粘带，耐温性能在120度到260度之间。高温胶带包括铁氟龙高温胶带、高温美纹纸胶带或者pet绿色高温胶带(聚对苯二甲酸类塑料polyethyleneterephthalate，简称pet)等。

于一实施例中，调整杆为螺杆，第二贯穿孔的内壁上设有与调整杆相配的螺纹。

调整杆为螺杆，第二贯穿孔的内壁上设有与调整杆相配的螺纹，即第二贯穿孔为螺纹孔，调整杆的外壁上设有螺纹，调整杆可以是螺栓、螺杆、螺丝等。如此设置，则通过旋转调整杆就可以令调整杆在第二贯穿孔内沿其轴线方向移动，操作简单、方便。

于一实施例中，第一贯穿孔设有多个，多个第一贯穿孔位于同一直线上。

故本申请可以一次对多个元件进行薄膜沉积处理，且多个第一贯穿孔位于同一直线上，则避免多个元件错落设置，避免双面胶也相应地错落设置，影响粘贴效果。

于一实施例中，第二贯穿孔的轴线与第一贯穿孔的轴线成垂直设置，第二贯穿孔的轴线与第一固定座的顶面成平行设置。

第二贯穿孔的轴线与第一贯穿孔的轴线成垂直设置，则调整杆移动从而对待加工件产生的压紧力是垂直于待加工件的轴线，使得待加工件与双面胶连接的更为紧密。

于一实施例中，第一固定座为圆柱形，第二固定座为长方体结构，第二固定座固定在第一固定座的顶面上。

于一实施例中，第二固定座在远离第一贯穿孔的一侧面上凸设有定位片。

定位片的设置，则提供了双面胶断面处可以粘贴的地方，避免双面胶妨碍调节杆的设置。

于一实施例中，定位片设有两个，且分别位于第二贯穿孔的两侧，定位片的长度方向与第二贯穿孔的轴线方向成同向设置。

定位片的长度大于或者等于双面胶的宽度，便于双面胶粘贴。

于一实施例中，第一固定座和第二固定座为一体成型的、为可拆卸式连接或者为固定式连接。

第一固定座和第二固定座为一体成型的，成本低廉。第一固定座和第二固定座为可拆卸式连接或者为固定式连接，则便于第一贯穿孔和第二贯穿孔的加工。

于一实施例中，第一固定座还具有沉孔，第二固定座还具有盲孔，其中，第一固定座与第二固定座，藉由穿设于沉孔与盲孔之间的固定件而连接。

于一实施例中，还包括夹持套，夹持套的顶面上开设有凹槽，用以安装第一固定座；凹槽的内底面上设有第三贯穿孔。

第一固定座可以放置在凹槽的内底面上，再通过第三贯穿孔对待加工件进行薄膜沉积处理。

本申请相对于现有技术的有益效果是：本申请通过第一固定座、第二固定座和调整杆来夹持待加工件，既可以实现待加工件的底面的全口径薄膜沉积，也可以避免待加工件的侧面的薄膜沉积，从而可以精准地进行薄膜沉积，提高薄膜沉积的质量，可以适应对镀膜表面要求较高的场合且结构简单、安全可靠。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请一实施例示出的全口径薄膜沉积夹具的结构示意图；

图2a为本申请一实施例示出的全口径薄膜沉积夹具的结构示意图；

图2b为本申请一实施例示出的全口径薄膜沉积夹具的左视图；

图2c为本申请一实施例示出沿图2b剖面线a－a段的全口径薄膜沉积夹具的剖视图；

图3a为本申请一实施例示出的全口径薄膜沉积夹具的结构示意图；

图3b为本申请一实施例示出的全口径薄膜沉积夹具的结构示意图；

图4a为本申请一实施例示出的全口径薄膜沉积夹具的结构示意图；

图4b为本申请一实施例示出的夹持套的结构示意图。

图标：100－全口径薄膜沉积夹具；1－第一固定座；11－第一贯穿孔；12－沉孔；13－固定件；1a－第一顶面；1b－第一底面；2－第二固定座；21－第二贯穿孔；22－定位片；23－盲孔；2a－前视面；2b－后视面；2c－左侧面；2d－右侧面；2e－第二顶面；3－双面胶；4－调整杆；5－紧缚件；6－夹持套；6a－第三顶面；6b－第三底面；61－凹槽；61a－第四底面；62－第三贯穿孔；7－待加工件；p1－第一贯穿孔的轴线；p2－第二贯穿孔的轴线。

具体实施方式

术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，并不表示排列序号，也不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以容许一定程度的工程公差。

在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。

下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述。

请参照图1，其为本申请一实施例的全口径薄膜沉积夹具100的结构示意图。全口径薄膜沉积夹具100包括第一固定座1和第二固定座2以及调整杆4。第二固定座2与第一固定座1相连接。第一固定座1具有：第一顶面1a和第一底面1b；第二固定座2具有：前视面2a、后视面2b、左侧面2c、右侧面2d和第二顶面2e。第二固定座2固定在第一固定座1的第一顶面1a上。

第一固定座1设有至少一个第一贯穿孔11。第一贯穿孔11贯穿第一固定座1的第一顶面1a和第一底面1b；第一贯穿孔11相应地设于第二固定座2的一侧(前视面2a的前方)，并成外露状态。

第二固定座2上设有第二贯穿孔21，第二贯穿孔21贯穿第二固定座2的前视面2a和后视面2b。第二贯穿孔21与第一贯穿孔11相应地对应设置，每一个第二贯穿孔21的轴线与相应的第一贯穿孔11的轴线之间具有夹角。

调整杆4设于第二贯穿孔21内，其中，第一贯穿孔11用以容置待加工件7，并藉由调整杆4固定待加工件7。

于一实施例中，第一固定座1为圆柱形，第二固定座2为长方体结构。第二固定座2的体积小于第一固定座1的体积。于一实施例中，第一固定座1和第二固定座2为一体成型的。

于一实施例中，在操作时，先将待加工件7放置在第一贯穿孔11内，待加工件7的一部分陷落在第一贯穿孔11内，一部分成外露设置，并使待加工件7的底面与第一固定座1的底面平齐。调整杆4从第二固定座2的后视面2b插入第二贯穿孔21内，并令其在第二贯穿孔21内移动，使得调整杆4的一端部能与待加工件7相抵，固定待加工件7；接着可以对第一固定座1的第一底面1b进行薄膜沉积处理。

此时，待加工件7的底面没有任何遮挡，从而实现待加工件7的底面的全口径薄膜沉积，而待加工件7的侧面与底面相连的一段被陷落在第一贯穿孔11内，起到遮挡效果，因此不会沉积薄膜。故本申请既可以实现待加工件7的底面的全口径薄膜沉积，也可以避免待加工件7的侧面的薄膜沉积，从而可以精准地进行薄膜沉积，提高薄膜沉积的质量。

请参照图2a，其为本申请一实施例的全口径薄膜沉积夹具100的结构示意图，于一实施例中，第一固定座1和第二固定座2为可拆卸式连接或固定式连接。第一固定座1和第二固定座2之间的连接方式可以是焊接、卡扣连接、螺纹连接或者销连接。

第一固定座1的第一底面1b上开设有沉孔12，沉孔12内穿设有固定件13，于一实施例中，固定件可以是螺栓。

于一实施例中，第一固定座1的第一底面1b为平面。

请参照图2b，其为本申请一实施例的全口径薄膜沉积夹具100的左视图。于一实施例中，第一贯穿孔11设有多个，多个第一贯穿孔11位于同一直线上。相应的第二贯穿孔21设有多个，多个第二贯穿孔21位于同一直线上。故本申请可以一次对多个元件进行薄膜沉积处理。

请参照图2c，其为本申请一实施例沿图1剖面线a－a段的全口径薄膜沉积夹具100的剖视图。第二固定座2内设有与固定件13相配的盲孔23，盲孔23内壁上设有螺纹，第一固定座1通过固定件13与第二固定座2连接。

于一实施例中，第二贯穿孔21的轴线p2与第一贯穿孔11的轴线p1成垂直设置，第二贯穿孔21的轴线p2与第一固定座1的第一顶面1a成平行设置。

于一实施例中，第二贯穿孔21的最低点与第一固定座1的第一顶面1a之间的间距为1－3mm。

请参照图3a，其为本申请一实施例示出的全口径薄膜沉积夹具100的结构示意图。全口径薄膜沉积夹具100还包括双面胶3和调整杆4。双面胶3固定在第二固定座2的外表面上，并设于第二固定座2靠近第一贯穿孔11的侧面(前视面2a、左侧面2c和右侧面2d)上。于一实施例中，双面胶3可以为耐高温双面胶，即可耐高温至150度，低温至零下35度的高温双面胶带。

双面胶3可以在调整杆4的作用下变形并移动至与待加工件7接触粘贴，使得待加工件7固定在第一贯穿孔11内。

于一实施例中，第一贯穿孔11为光孔。且第一贯穿孔11的孔径和孔壁形状与待加工件7相适应，待加工件7可以是条状。

于一实施例中，调整杆4为螺杆，第二贯穿孔21的内壁上设有与调整杆4相配的螺纹。即第二贯穿孔21为螺纹孔，调整杆4的外壁上设有螺纹，调整杆4可以是螺栓、螺杆、螺丝等。

第二固定座2在远离第一贯穿孔11的一侧面(后视面2b)上凸设有定位片22。于一实施例中，定位片22的长度大于或者等于双面胶3的宽度，用以稳固双面胶3粘贴。

于一实施例中，定位片22设有两个，且分别位于第二贯穿孔21的两侧，定位片22的长度方向与第二贯穿孔21的轴线p2方向成同向设置。

于一实施例中，定位片22可以分别衔接第二固定座2的左侧面2c和右侧面2d。定位片22为与第二固定座2一体成型的。其中，定位片22还可以通过插接或者焊接等方式固定。

请参照图3b，其为本申请一实施例示出的全口径薄膜沉积夹具100的结构示意图。于一实施例中，全口径薄膜沉积夹具100还包括紧缚件5，紧缚件5套设在第二固定座2外，用于固定待加工件7。于一实施例中，紧缚件5为胶带，缠绕在第二固定座2和待加工件7外。

于一实施例中，胶带可以为高温胶带，即高温作业环境下使用的胶粘带，耐温性能在120度到260度之间。高温胶带包括铁氟龙高温胶带、高温美纹纸胶带或者pet绿色高温胶带(聚对苯二甲酸类塑料polyethyleneterephthalate，简称pet)等。

请参照图4a，其为本申请一实施例示出的全口径薄膜沉积夹具100的爆炸示意图。于一实施例中，还包括夹持套6具有：第三顶面6a和第三底面6b，夹持套6的第三顶面6a上开设有凹槽61，用以容置第一固定座1。凹槽61具有第四底面61a，即凹槽61的内底面。在第四底面61a上设有第三贯穿孔62。第三贯穿孔62贯穿第四底面61a和第三底面6b。第一固定座1可以容置在凹槽61的第四底面61a上，再通过第三贯穿孔62对待加工件7进行薄膜沉积处理。

请参照图4b，其为本申请一实施例示出的夹持套6的结构示意图。于一实施例中，夹持套6为圆环形结构。

以上仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。