固体源升华器的制作方法

文档序号:20020089发布日期:2020-02-25 11:28阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种固体源化学升华器,其包括:

包括近侧部分和远侧部分的壳体,所述壳体具有沿着所述壳体的长度延伸的壳体轴线,所述远侧部分配置成在其中保持固体化学反应物;

布置在所述壳体的近侧部分上的盖,所述盖包括流体入口和流体出口,所述盖在所述盖的远侧部分内限定蛇形流动路径,其中所述盖适于允许所述流动路径内的气流,所述壳体轴线垂直于所述盖的平面;以及

布置在所述蛇形流动路径和所述壳体的远侧部分之间的过滤器,所述过滤器具有配置成限制固体化学反应物通过其中的孔隙率。

2.根据权利要求1所述的固体源化学升华器,其中所述远侧部分包括:

沿着所述壳体轴线布置的热传导导管;以及

两个或更多个热传导突起,其中所述传导突起与所述传导导管热连通并且围绕所述传导导管径向布置,由此所述壳体的远侧部分配置成保持所述固体化学反应物,所述传导突起位于其间,

其中所述传导导管配置成被放置成与热源导热连通。

3.根据权利要求2所述的固体源化学升华器,其中所述两个或更多个传导突起包括至少六个传导突起。

4.根据权利要求1所述的固体源化学升华器,其中所述壳体为圆柱形并且所述过滤器为圆形。

5.根据权利要求1所述的固体源化学升华器,其中所述过滤器包括与所述盖的流体入口流体连通的入口,所述过滤器的入口配置成允许固体化学反应物通过其中进入所述壳体。

6.根据权利要求1所述的固体源化学升华器,其中所述盖的面向远侧部分接触所述过滤器的近侧表面,并且其中所述壳体的近侧部分接触所述过滤器的远侧表面。

7.根据权利要求1所述的固体源化学升华器,其中所述过滤器包括陶瓷或金属中的至少一种。

8.根据权利要求1所述的固体源化学升华器,其中所述过滤器包括具有在约25至1000之间的厚度与直径的纵横比的圆盘。

9.根据权利要求1所述的固体源化学升华器,其中所述流体入口和所述流体出口均与所述流动路径流体连通。

10.根据权利要求2所述的固体源化学升华器,其中所述两个或更多个传导突起与所述壳体的远侧部分热连通。

11.根据权利要求10所述的固体源化学升华器,其中所述一个或多个加热元件包括布置成与所述壳体热接触的加热板。

12.根据权利要求1所述的固体源化学升华器,其中所述入口、所述出口或两者包括配置成允许流体流过其中的相应阀。

13.根据权利要求1所述的固体源化学升华器,其中所述入口、所述出口或两者包括配置成限制微粒流过其中的相应过滤器。

14.根据权利要求1所述的固体源化学升华器,其中所述盖的面包括所述流动路径,并且其中所述面为圆形。

15.根据权利要求2所述的固体源化学升华器,其中所述两个或更多个传导突起从所述壳体的远侧部分延伸。

16.根据权利要求15所述的固体源化学升华器,其中所述两个或更多个传导突起与所述壳体轴线径向间隔。

17.根据权利要求15所述的固体源化学升华器,其中所述两个或更多个传导突起从所述壳体的远侧部分轴向延伸。

18.根据权利要求1所述的固体源化学升华器,其还包括布置在所述壳体的远侧部分中的谐振器,所述谐振器包括围绕所述壳体轴线径向布置的延伸部,所述谐振器配置成搅动所述壳体中的固体化学反应物。

19.根据权利要求1所述的固体源化学升华器,其中所述流动路径包括平面内的多个反平行段。

20.根据权利要求1所述的固体源化学升华器,其中所述过滤器布置在所述流体出口和所述壳体的远侧部分之间。

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