一种提高太赫兹器件散热及输出功率的方法与流程

文档序号:20164000发布日期:2020-03-24 21:18阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种提高太赫兹器件散热及输出功率的方法,其特征在于,包括:在太赫兹器件表面沉积导热薄膜。

2.如权利要求1所述的提高太赫兹器件散热及输出功率的方法,其特征在于,所述太赫兹器件为太赫兹量子级联激光器。

3.如权利要求1所述的提高太赫兹器件散热及输出功率的方法,其特征在于,所述导热薄膜为氮化铝薄膜。

4.如权利要求2所述的提高太赫兹器件散热及输出功率的方法,其特征在于,所述沉积采用的方法为脉冲激光沉积法。

5.如权利要求4所述的提高太赫兹器件散热及输出功率的方法,其特征在于,所述脉冲激光沉积法的过程为:将太赫兹量子级联激光器的出光面用胶遮盖,然后装入脉冲激光沉积设备中,采用aln陶瓷靶进行沉积,设置固定频率的脉冲激光,用脉冲激光轰击aln陶瓷靶一定时间;设置沉积参数:抽真空,真空度5×10-5pa,激光能量200mj,频率2hz,靶基距10cm,沉积发数144000,分三次沉积,沉积温度为室温,其中,沉积发数为脉冲激光轰击靶材的次数,且在沉积过程中使器件进行旋转以保证沉积薄膜的均匀性。

6.如权利要求3所述的提高太赫兹器件散热及输出功率的方法,其特征在于,所述氮化铝薄膜的厚度为0.8~1.2μm。

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