一种MO源供应装置的制作方法

本实用新型涉及一种mo源供应装置。

背景技术：

mo源即高纯金属有机化合物，是先进的金属有机化学气相沉积(简称mocvd)、金属有机分子束外延(简称mombe)等技术生长半导体微结构材料的支撑材料。由于mo源产品要求纯度极高，而绝大多数mo源化合物对氧气、水汽极其敏感，遇空气可发生自燃，遇水可发生爆炸，且毒性大，所以mo源的研制是集极端条件下的合成制备、超纯纯化、超纯分析、超纯灌装等于一体的高新技术。

mo源需要储存在一个对洁净度、密封性具有较高要求的惰性气体保护的容器罐(即mo源灌装容器)中。目前，mo源的包装一般采用钢瓶盛装。在使用时，通过mo源钢瓶来供给mocvd等设备。为mo源钢瓶充装供应mo源时，mo源钢瓶内的mo源浓度受到许多因素的影响。比如，固体mo源在储存罐中的晶型尺寸、堆积度和物料高度等因素均会影响最终mo源钢瓶中的mo源浓度。如果仅采用液体mo源，长时间的使用后，mo源浓度也会受到影响。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种mo源供应装置，将液体mo源储存罐和固体mo源储存罐结合，保证充入mo源钢瓶内的mo源浓度，并且有效去除mo源中的有机溶剂。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：一种mo源供应装置，包括液体mo源储存罐、固体mo源储存罐和有机溶剂吸附柱，所述固体mo源储存罐的进气口处连接有一高纯载气进气管，固体mo源储存罐的出气口处连接有一高纯载气出气管，该高纯载气出气管的出气端从液体mo源储存罐的左侧插入到液体mo源储存罐的底部，液体mo源储存罐的右侧出口连接有一mo源供给管，该mo源供给管的出口与一有机溶剂吸附柱连接，有机溶剂吸附柱的出口通过管路连接mo源钢瓶，所述固体mo源储存罐中储存有固体mo源，所述液体mo源储存罐中储存有溶解于有机溶剂的mo源，固体mo源储存罐为液体mo源储存罐补充mo源，有机溶剂吸附柱中设有用于吸附有机溶剂的填充物。

进一步的，所述高纯载气进气管、高纯载气出气管和mo源供给管上均设有控制阀。

进一步的，有机溶剂吸附柱出口处的管路上也设有控制阀。

进一步的，所述高纯载气进气管的出气端位于固体mo源储存罐的上部。

进一步的，所述mo源钢瓶的数量为多个，且该多个mo源钢瓶为串联连接。

进一步的，所述有机溶剂的沸点为1300℃。

本实用新型的有益效果是：本实用新型中的液体mo源储存罐中储存溶解在有机溶剂中的mo源，固体mo源储存罐中储存固体mo源，将液体mo源储存罐和固体mo源储存罐结合，采用液体mo源作为直接供应mo源钢瓶的来源，可以避免固体mo源作为直接供应来源由于晶型尺寸、堆积度和物料高度等因素所带来的浓度影响，而将固体mo源储存罐作为液体mo源储存罐的补充来源，及时补入固体mo源，使固体mo源溶解于液体mo源储存罐中的有机溶剂中，保证液体mo源储存罐中的mo源浓度，从而保证mo源钢瓶的mo源浓度。有机溶剂吸附柱可以吸附供应的mo源中的有机溶剂，保证mo源的纯净度。

附图说明

图1为本实用新型mo源供应装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

如图1所示，一种mo源供应装置，包括液体mo源储存罐1、固体mo源储存罐2和有机溶剂吸附柱3。固体mo源储存罐1的进气口处连接有一高纯载气进气管4，高纯载气进气管4的出气端位于固体mo源储存罐2内的上部。固体mo源储存罐2的出气口处连接有一高纯载气出气管5，该高纯载气出气管5的出气端从液体mo源储存罐1的左侧插入到液体mo源储存罐1的底部。液体mo源储存罐1的右侧出口连接有一mo源供给管6，该mo源供给管6的出口与一有机溶剂吸附柱3连接，有机溶剂吸附柱3的出口通过管路连接mo源钢瓶。固体mo源储存罐2中储存有固体mo源，液体mo源储存罐1中储存有溶解于有机溶剂的mo源，固体mo源储存罐2为液体mo源储存罐1补充mo源，有机溶剂吸附柱3中设有用于吸附有机溶剂的填充物。固体mo源储存罐2和液体mo源储存罐1的底部均设置有恒温水浴槽。

高纯载气进气管4、高纯载气出气管5和mo源供给管6上均设有控制阀7。有机溶剂吸附柱3出口处的管路上也设有控制阀7。

进一步说，mo源钢瓶的数量为多个，且该多个mo源钢瓶为串联连接。

进一步说，所述有机溶剂的沸点为1300℃。

工作时，打开所有的控制阀7，从高纯载气进气管4充入高纯氮气，高纯氮气进入固体mo源储存罐2，在恒温水浴的作用下，固体mo源随着高纯氮气经过高纯载气出气管5进入液体mo源储存罐1内，溶解于液体mo源储存罐1的有机溶剂内。在恒温水浴的作用下，液体mo源汽化，转化为mo源蒸汽，而有机溶剂沸点高，不会被汽化，从而mo源蒸汽随着高纯氮气进入mo源供给管6，最终进入有机溶剂吸附柱3内，有机溶剂吸附柱3可以吸附mo源中携带的少量有机溶剂，经过净化后的mo源最终进入mo源钢瓶内。利用本实用新型，将液体mo源储存罐1和固体mo源储存罐2结合，采用液体mo源作为直接供应mo源钢瓶的来源，可以避免固体mo源作为直接供应来源由于晶型尺寸、堆积度和物料高度等因素所带来的浓度影响，而将固体mo源储存罐1作为液体mo源储存罐1的补充来源，及时补入固体mo源，使固体mo源溶解于液体mo源储存罐1中的有机溶剂中，长时间使用后，仍能保证液体mo源储存罐1中的mo源浓度，从而保证mo源钢瓶的mo源浓度。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。