一种发热均匀的高温化学气相沉积设备的制作方法

本实用新型涉及高温化学气相沉积设备技术领域，具体为一种发热均匀的高温化学气相沉积设备。

背景技术：

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料，这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是iii-v、ii-iv、iv-vi族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制，目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域，但现有高温化学气相沉积设备仍存在一些不足：现有高温化学气相沉积设备采用垂直放置的发热丝易造成发热桶内部发热不均匀，从而使内部反应条件不足难以达到更好的效果。

所以，如何设计一种发热均匀的高温化学气相沉积设备，成为我们当前要解决的问题。

技术实现要素：

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种发热均匀的高温化学气相沉积设备，有效的解决了现有高温化学气相沉积设备采用垂直放置的发热丝易造成发热桶内部发热不均匀，从而使内部反应条件不足难以达到更好的效果的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：本实用新型包括桶体，所述桶体内部安装有保温层，保温层内侧位于桶体内部位置处安装有发热桶，保温层内部贯穿发热桶内部安装有发热组件，桶体顶端位于发热桶顶端位置处安装有保温盖，发热桶内部贯穿保温盖安装有反应台，发热桶底端贯穿内部安装有排气口，发热桶下部外侧固定有转动组件，转动组件底端安装有电机。

优选的，所述发热组件包括风机、隔离层、发热线圈、镁粉、发热孔和保护套，风机外部之间安装有隔离层，隔离层内侧位于发热桶外部位置处套接有发热线圈，发热线圈内部填充有镁粉，发热桶内侧安装有发热孔，发热孔外部远离发热桶一侧安装有保护套，风机与电机电性连接。

优选的，所述转动组件包括转槽、转台、限位板和连接杆，转槽内部套接有转台，转台内部焊接有限位板，限位板内部位于发热桶外部位置处套接有连接杆。

优选的，所述保温盖顶端安装有手柄，手柄外部安装有防滑膜。

优选的，所述风机数量为四个，且风机对称分布在隔离层外部。

优选的，所述限位板和连接杆数量均为四个，且限位板内侧安装有密封层。

本实用新型结构新颖，构思巧妙，便于优化现有高温化学气相沉积设备，使设备使用缠绕的发热线圈可以对发热桶内部更加均匀的散发热量，使用风机配合使热量在发热桶内部混合更加均匀，便于反应的高效进行，同时设置转动组件使热量更加快速且充分的散发至反应桶内，并有效隔离热量向外部流失。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

在附图中：

图1是本实用新型整体结构示意图；

图2是本实用新型风机安装结构示意图；

图3是本实用新型发热线圈安装结构示意图；

图4是本实用新型连接杆安装结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图1-4对本实用新型的具体实施方式做进一步详细说明。

实施例一，由图1给出，本实用新型包括桶体1，桶体1内部安装有保温层2，便于对发热桶3内部保温，保温层2内侧位于桶体1内部位置处安装有发热桶3，保温层2内部贯穿发热桶3内部安装有发热组件4，便于发热更加均匀，桶体1顶端位于发热桶3顶端位置处安装有保温盖5，发热桶3内部贯穿保温盖5安装有反应台6，发热桶3底端贯穿内部安装有排气口7，发热桶3下部外侧固定有转动组件8，便于通过转动组件8使热量混合更加均匀，转动组件8底端安装有电机9。

实施例二，在实施例一的基础上，由图2和图3给出，发热组件4包括风机401、隔离层402、发热线圈403、镁粉404、发热孔405和保护套406，风机401外部之间安装有隔离层402，便于防止热量散失，隔离层402内侧位于发热桶3外部位置处套接有发热线圈403，便于发热更加均匀，发热线圈403内部填充有镁粉404，便于使发热效率更高，发热桶3内侧安装有发热孔405，便于向发热桶3内部散发热量，发热孔405外部远离发热桶3一侧安装有保护套406，便于保护发热孔405不受损害，风机401与电机9电性连接。

实施例三，在实施例一的基础上，由图1和图4给出，转动组件8包括转槽801、转台802、限位板803和连接杆804，转槽801内部套接有转台802，便于通过转台802使发热更加均匀，转台802内部焊接有限位板803，便于固定发热桶3和转台802，限位板803内部位于发热桶3外部位置处套接有连接杆804。

实施例四，在实施例一的基础上，由图1给出，保温盖5顶端安装有手柄10，手柄10外部安装有防滑膜，便于打开保温盖5取放物料。

实施例五，在实施例二的基础上，由图2给出，风机401数量为四个，且风机401对称分布在隔离层402外部，便于使内部发热均匀，同时使风机401不受损害。

实施例六，在实施例三的基础上，由图4给出，限位板803和连接杆804数量均为四个，且限位板803内侧安装有密封层，便于使发热桶3和转台802之间连接更加紧固。

在本实施例中：电机9采用ye2/yl电机，风机401采用sjc风机。

工作原理：反应台6内部装有反应物料，对发热桶3内部进行加热处理使之达到反应所需温度，打开电机9开关，风机401会启动，发热线圈403持续发热，发热线圈403内部填充的镁粉404使发热线圈403的发热更加均匀，发热线圈403加热后，只有内侧部分热量传递给发热桶3，而外侧部分就会散失到外界，实际运用中，散失的这部分热量会超过百分之五十，热能的利用率低，所用升温时间也久长，增加了隔离层402对热量进行隔离，防止热量散失到外界，使发热桶3内部升温更快，发热更加均匀，风机401带动热量通过发热孔405进入发热桶3内部，使发热更加均匀，保护套406保护发热孔405不受损害，在反应过程中，转动组件8中的转台802会通过转槽801带动发热桶3转动，连接杆804和限位板803使转台802和发热桶3连接更加紧固，保温层2和保温盖5便于对设备进行保温，保证设备反应正常进行，反应完成后，气体从排气口7排出，使整个高温化学气相沉积设备发热更加均匀。

本实用新型与现有技术相比具有以下益处：便于优化现有高温化学气相沉积设备，使设备使用缠绕的发热线圈可以对发热桶内部更加均匀的散发热量，使用风机配合使热量在发热桶内部混合更加均匀，便于反应的高效进行，同时设置转动组件使热量更加快速且充分的散发至反应桶内，并有效隔离热量向外部流失。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。