一种ITO靶材磨外圆夹持工装的制作方法

本实用新型涉及ito靶材制造领域，更具体地，涉及一种ito靶材磨外圆夹持工装。

背景技术：

ito靶材呈圆柱空心状，经过烧结后靶材外圆表面并不规则，需要进一步打磨以达到合格尺寸。在对ito圆筒靶材进行加工时，因为靶材材质易碎，形状不能变形的原因，对夹持工装的要求较高。

现有技术中，通常用安装块将圆筒靶材两端夹持后进行转动，防止碰裂。但是这种夹持方法会存在加工盲区，被安装块夹持的部位无法打磨。在打磨过程中需要调整夹持位置，才能将靶材外圆表面完全加工，工作效率低。在调整夹持位置时，由于ito靶材脆性高，一旦出现磕碰，将使靶材碎裂。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对现有技术中的不足，提供一种ito靶材磨外圆夹持工装，通过使用圆台状的定位块和固定块夹持ito靶材，避免出现加工盲区，提高了ito靶材的打磨效率。

本实用新型的目的通过以下技术方案实现：

一种ito靶材磨外圆夹持工装，包括底座，所述底座的顶部开设有滑槽，所述滑槽内滑动安装有第一安装板，所述滑槽的一侧内壁上开设有转动槽，所述滑槽远离转动槽的一侧内壁上开设有转动孔，所述转动槽和转动孔内转动安装有同一个螺杆，所述螺杆和第一安装板螺纹连接，所述滑槽的两侧内壁上固定安装有圆杆，所述圆杆和第一安装板滑动连接，所述底座的顶部固定安装有第二安装板，所述第一安装板和第二安装板上装有转动轴，在第一安装板、第二安装板的转动轴上分别安装有圆台状的定位块和固定块；所述第二安装板上的第二转动轴远离定位块的一端固定安装有第一齿轮，所述底座的顶部固定安装有电机，所述电机的输出轴上固定安装有第二齿轮，所述第二齿轮和第一齿轮相啮合。

进一步地，所述固定块和定位块上标有尺寸刻度线。

进一步地，所述固定块和定位块为橡胶材质。

进一步地，所述第一安装板和第二安装板上均开设有通孔，所述第一转动轴和第二转动轴分别和对应的通孔的内壁转动连接。

进一步地，所述转动槽内设有第一轴承，所述第一轴承的外圈和转动槽的内壁固定连接，所述第一轴承的内圈固定套设在螺杆上。

进一步地，所述第一安装板上开设有螺孔，所述螺杆和螺孔螺纹连接。

进一步地，所述第一安装板上开设有滑孔，所述圆杆和滑孔的内壁滑动连接。

进一步地，所述转动孔内设有第二轴承，所述第二轴承的外圈和转动孔的内壁固定连接，所述第二轴承的内圈固定套设在螺杆上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型通过采用圆台状的固定块和定位块对ito靶材进行夹持，在打磨过程中无盲区，能将ito靶材外圆完全打磨。固定块和定位块采用橡胶材料制成，与靶材贴合性好，在夹持过程中不会过度挤压靶材。

本实用新型通过在固定块和定位块上设置尺寸刻度线，可以直接读取ito靶材的直径大小，能保证ito靶材的打磨精度。固定块和定位块呈圆台状，可加工不同尺寸的ito靶材，应用范围广。

本实用新型在加工过程中无盲区，可一次将ito靶材外表面完全打磨，在打磨过程中无需调整夹持位置，加工效率高。

附图说明

图1为ito靶材磨外圆夹持工装的正视剖视结构示意图。

图2为ito靶材磨外圆夹持工装的俯视剖视结构示意图。

图3为ito靶材磨外圆夹持工装中第一齿轮和第二齿轮的装配图。

其中，1为底座、2为滑槽、3为第一安装板、4为转动槽、5为转动孔、6为螺杆、7为圆杆、8为第二安装板、9为第一转动轴、10为第二转动轴、11为定位块、12为固定块、13为第一齿轮、14为电机、15为第二齿轮。

具体实施方式

附图仅用于示例性说明，不能理解为对本实用新型的限制；为了更好说明本实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对于本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。附图中描述位置关系仅用于示例性说明，不能理解为对本实用新型的限制。

实施例1

如图1所示，本实用新型提供一种ito靶材磨外圆夹持工装，包括底座1，在底座1的顶部开设有滑槽2，滑槽2内滑动安装有第一安装板3，滑槽2的一侧内壁上开设有转动槽4，滑槽2远离转动槽4的一侧内壁上开设有转动孔5，转动槽4和转动孔5内转动安装有同一个螺杆6，螺杆6和第一安装板3螺纹连接，滑槽2的两侧内壁上固定安装有圆杆7，圆杆7和第一安装板3滑动连接，底座1的顶部固定安装有第二安装板8，第一安装板3和第二安装板8上分别装有第一转动轴9和第二转动轴10，在第一转动轴9和第二转动轴10上分别安装有圆台状的定位块11和固定块12。本实施例中定位块11和固定块12的大小和水平高度一致，两者面积较小的一端两两相对。定位块11和固定块12采用橡胶材料制成，在其表面标有尺寸刻度线，方便读取ito靶材的直径。在第二转动轴10远离定位块11的一端固定安装有第一齿轮13，底座1的顶部固定安装有电机14，电机14的输出轴上固定安装有第二齿轮15，第二齿轮15和第一齿轮13相啮合。

本实施例中，第一安装板3和第二安装板8上均开设有通孔，第一转动轴9和第二转动轴10分别和对应的通孔的内壁转动连接。在第一安装板3上还开设有螺孔和滑孔，螺杆6和螺孔螺纹连接，圆杆7和滑孔的内壁滑动连接。

在转动槽4内设有第一轴承，第一轴承的外圈和转动槽4的内壁固定连接，第一轴承的内圈固定套设在螺杆6上；转动孔5内设有第二轴承，第二轴承的外圈和转动孔5的内壁固定连接，第二轴承的内圈固定套设在螺杆6上。

具体地，本实用新型提供的ito靶材磨外圆夹持工装的工作过程如下：首先逆时针转动螺杆6，使螺杆6旋转并带动第一安装板3在滑槽2内滑动，从而使第一安装板3远离第二安装板8，待定位块11和固定块12之间能容下ito靶材后，将待加工的ito靶材装入，将ito靶材的一端与固定块12贴合，随后顺时针转动螺杆6，使螺杆6旋转并带动第一安装板3在滑槽2内滑动，从而使第一安装板3靠近第二安装板8，从而将ito靶材牢牢固定在固定块12和定位块11之间；然后开启电机14，电机14带动第二齿轮15转动，第二齿轮15再带动第一齿轮13转动，第一齿轮13再带动第二安装板8上的第二转动轴10和固定块12转动，从而带动ito靶材转动，便于ito靶材的打磨。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。