一种蚀刻用循环槽的制作方法

本实用新型涉及蚀刻技术领域，尤其涉及一种蚀刻用循环槽。

背景技术：

酸性氯化铜蚀刻液因具有蚀刻速率快，稳定、易控制及再生等特点，普遍应用于目前的印刷线路板的蚀刻工序中。酸性蚀刻液在蚀刻铜箔的过程中会发生cu+cu²⁺→2cucl的反应。随着反应的进行，蚀刻液中cu²⁺离子的浓度减小，而cu⁺离子的浓度不断增大，蚀刻能力随之降低。当cu²⁺离子消耗至一定程度后，蚀刻液的蚀刻能力将无法满足生产需求而需再生处理。酸性蚀刻液再生主要有化学再生法和电解再生法。化学再生法如氯酸钠氧化法、双氧水再生法等，需加入氧化剂等物质，最终会对外排出一部分酸性蚀刻液，不仅污染坏境，还会造成大量铜和酸的浪费。电解再生法是一种在线再生方法，可以实现蚀刻工作与蚀刻液再生在一个体系中连续运行，即阳极再生蚀刻液的同时，还可以在阴极沉积回收铜，使蚀刻过程中增加的铜得以回收，为线路板企业增加额外的收入。而现已经报道的电解处理酸性氯化铜蚀刻液方法，有大量氯气、氢气等有害危险气体析出，不仅污染坏境，而且也浪费资源。

技术实现要素：

为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种蚀刻用循环槽，用于蚀刻废液的循环与再利用，结构简单合理。

本实用新型提出的一种蚀刻用循环槽，所述循环槽内设有阳极循环区、蚀刻循环区和阴极循环区；阳极循环区顶部与蚀刻循环区顶部连通；

循环槽设有第一排气口和第二排气口，第一排气口与阳极循环区或蚀刻循环区连通，第二排气口与阴极循环区连通；

循环槽设有第一进液口和第一出液口，第一进液口和第一出液口与阳极循环区连通；

循环槽设有第三进液口和第二出液口，第三进液口和第二出液口与蚀刻循环区连通；

循环槽设有第五进液口和第四出液口，第五进液口和第四出液口与阴极循环区连通。

优选地，还包括第一液位监测控制器，第一液位监测控制器安装在循环槽上用于检测阳极循环区液位；

循环槽设有第二进液口，第二进液口与阳极循环区连通。

优选地，还包括第一比重检测器，第一比重检测器用于检测阳极循环区内11液体比重；

循环槽设有第四进液口，第四进液口与阳极循环区连通。

优选地，循环槽设有第一泄压口，第一泄压口与阳极循环区连通。

优选地，循环槽设有第二泄压口，第二泄压口与蚀刻循环区连通。

优选地，还包括第二液位监测控制器，第二液位监测控制器安装在循环槽上用于检测蚀刻循环区液位；

循环槽设有第三出液口，第三出液口与蚀刻循环区连通。

优选地，循环槽设有第三泄压口，第三泄压口与蚀刻循环区连通。

优选地，阴极循环区包括阴极循环主区和阴极循环副区，第五进液口和第四出液口与阴极循环主区连通。

优选地，循环槽设有第四泄压口，第四泄压口与阴极循环主区连通。

优选地，循环槽设有第七进液口，第七进液口与阴极循环主区连通。

优选地，还包括第三液位监测控制器，第三液位监测控制器安装在循环槽上用于检测阴极循环副区液位；

循环槽设有第五出液口，第五出液口与阴极循环副区连通。

优选地，循环槽设有第五泄压口，第五泄压口与阴极循环副区连通。

优选地，还包括第二比重检测器，第二比重检测器用于检测阴极循环区内液体比重；

循环槽设有第六进液口，第六进液口与阴极循环区连通。

本实用新型中，所提出的蚀刻用循环槽，用于蚀刻废液的循环与再利用，结构简单合理。由于设有第一排气口和第二排气口，循环槽内析出的有害气体经第一排气口和第二排气口排出，从而避免有害气体进入大气中；又循环槽设有多个进液口和出液口，与蚀刻生产线、电解槽、再生液储备桶和母液储备桶连通实现蚀刻废液的回收再利用。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种蚀刻用循环槽的示意图；

图2为本实用新型提出的一种蚀刻用循环槽的示意图；

图3为本实用新型提出的一种蚀刻用循环槽的示意图；

图4为蚀刻循环机构的示意图。

具体实施方式

如图1-4所示，图1为本实用新型提出的一种蚀刻用循环槽的示意图，图2为本实用新型提出的一种蚀刻用循环槽的示意图，图3为本实用新型提出的一种蚀刻用循环槽的示意图，图4为蚀刻循环机构的示意图。

酸性蚀刻液在蚀刻铜箔的过程中会发生cu+cu²⁺→2cucl的反应，随着反应的进行，蚀刻液中cu²⁺离子的浓度减小，而cu⁺离子的浓度不断增大，蚀刻能力随之降低，当cu²⁺离子消耗至一定程度后，蚀刻液的蚀刻能力将无法满足生产需求而需再生处理。蚀刻速率是评估蚀刻能力的重要指标之一，而酸性蚀刻有中的cu⁺离子浓度是影响蚀刻速率的主要因素。蚀刻液再生是在维持蚀刻液其它成分不变的前提下，通过采用阳极氧化的电化学方法再生，使蚀刻液中的cu⁺离子通过阳极氧化重新转变为cu²⁺离子而恢复其蚀刻能力。电化学再生时，只要有cu⁺离子的存在就会优先进行cu⁺离子氧化为cu²⁺离子的反应，但是再生过程中cu⁺离子的浓度越低，就越容易导致cl^-离子氧化而析出氯气，氯气直接排入大气中会污染环境，本实例中提出的循环槽1可以将氯气排至废气吸收装置4中，具体结构如下。

参照图1-2，本实施例提出的一种蚀刻用循环槽1，所述循环槽1内设有阳极循环区11、蚀刻循环区12和阴极循环区13；

阳极循环区11顶部与蚀刻循环区12顶部连通，这样阳极循环区11和蚀刻循环区12的有害气体相互流通；

循环槽1设有第一排气口113和第二排气口139，第一排气口113与阳极循环区11或蚀刻循环区12连通，本实施中是与阳极循环区11连通，第二排气口139与阴极循环区13连通；第一排气口113和第二排气口139用于与废气吸收装置4连接，循环槽1内的有害气体经第一排气口113和第二排气口139排至废气吸收装置4中；

循环槽1设有第一进液口114和第一出液口115，第一进液口114和第一出液口115与阳极循环区11连通；蚀刻生产线产生的蚀刻废液经第一进液口114进入阳极循环区11，第一出液口115用于与电解槽3的阳极区31连通，阳极循环区11内11的蚀刻废液经第一出液口115进入电解槽3的阳极区31；

循环槽1设有第三进液口125和第二出液口121，第三进液口125和第二出液口121与蚀刻循环区12连通；第三进液口125与电解槽3的阳极区31连通，cu⁺在阳极区31被氧化生成cu²⁺，重生成蚀刻液，电解槽3阳极区31内重生成的蚀刻液经第三进液口125进入蚀刻循环区12，蚀刻循环区12内的蚀刻液经第二出液口121返回至蚀刻生产线；

循环槽1设有第五进液口131和第四出液口133，第五进液口131和第四出液口133与阴极循环区13连通，第五进液口131和第四出液口133与电解槽3的阳极区32连通，从而电解槽3的阳极区32的液体与阴极循环区13的液体循环流动。

还包括第一液位监测控制器117，第一液位监测控制器117安装在循环槽1上用于检测阳极循环区11液位，循环槽1设有第二进液口112，第二进液口112与阳极循环区11连通，第二进液口112用于与母液储备桶5连通，当第一液位监测控制器117监测到阳极循环区11液位过低时，母液储备桶5向阳极循环区11输送母液，添加到一定液位后停止添加。

还包括第一比重检测器22，第一比重检测器22用于检测阳极循环区11液体比重，循环槽1设有第四进液口111，第四进液口111与阳极循环区11连通，第四进液口111与再生液储备桶6连通，第一比重检测器22入口连接阳极循环泵加入阳极循环区11的蚀刻废液，出口连接阳极循环区11，来检测阳极循环区11液体比重，当比重过高时，再生液储备桶6经第四进液口111进入阳极循环区11来降低比重。

进一步地，循环槽1设有第一泄压口116，第一泄压口116与阳极循环区11连通，第一出液口115与电解槽3阳极区31连接的管道上设有液压泵，液压泵连接第一泄压口116，防止液压泵压力过高。

进一步地，循环槽1设有第二泄压口122，第二泄压口122与蚀刻循环区12连通，第二出液口121与蚀刻生产线连接的管道上设有液压泵，液压泵连接第二泄压口122，防止液压泵压力过高。

还包括第二液位监测控制器126，第二液位监测控制器126安装在循环槽1上用于检测蚀刻循环区12液位，循环槽1设有第三出液口123，第三出液口123与蚀刻循环区12连通，第三出液口123用于与再生液储备桶6连通，当第二液位监测控制器126监测到蚀刻循环区12液位过高时，蚀刻循环区12向再生液储备桶6输送液体，液位降低到一定位置后停止输送。

循环槽1设有第三泄压口124，第三泄压口124与蚀刻循环区12连通，第三出液口123与母液储备桶5连接的管道上设有液压泵，液压泵连接第三泄压口124，防止液压泵压力过高。

阴极循环区13包括阴极循环主区和阴极循环副区，第五进液口131和第四出液口133与阴极循环主区连通；阴极循环主区内的液位过高时会溢流至阴极循环副区。

循环槽1设有第四泄压口134，第四泄压口134与阴极循环主区连通，第四出液口133与电解槽3阳极区32连接的管道上设有液压泵，液压泵连接第四泄压口134，防止液压泵压力过高。

循环槽1设有第七进液口137，第七进液口137与阴极循环主区连通，第一进液口114与再生液储备桶6连接，再生液储备桶6经第七进液口137向阴极循环主区输送再生液。

还包括第三液位监测控制器138，第三液位监测控制器138安装在循环槽1上用于检测阴极循环副区液位，循环槽1设有第五出液口136，第五出液口136与阴极循环副区连通；第五出液口136用于与再生液储备桶6连通，当第二液位监测控制器126监测到阴极循环副区液位过高时，阴极循环副区向再生液储备桶6输送液体，阴极循环副区液位降低到一定位置后停止输送。

循环槽1设有第五泄压口135，第五泄压口135与阴极循环副区连通，第五出液口136与再生液储备桶6连接的管道上设有液压泵，液压泵连接第五泄压口135，防止液压泵压力过高。

还包括第二比重检测器21，第二比重检测器21用于检测阴极循环区13内液体比重，循环槽1设有第六进液口132，第六进液口132与阴极循环区13连通，第六进液口132与母液储备桶5连通，第二比重检测器21入口连接阴极循环泵加入阴极循环区13的液体，出口连接阴极循环区13，来检测阴极循环区13液体比重，当比重过低时，母液储备桶5经第六进液口132进入阴极循环区13来提高比重。

溶液中cu²⁺离子浓度和温度一定时，orp氧化还原电位只与cu⁺离子浓度有关，orp随cu⁺离子浓度的增加而降低。而当orp到600mv时，阳极电解槽33开始有氯气析出，因此，测量溶液的orp，不仅可以反映酸性蚀刻液的蚀刻能力和指导pcb生产中的蚀刻工艺，而且有助于指示酸性蚀刻废液的阳极氧化再生回用和阴极电沉积回收金属铜，还包括orp检测器7，orp检测器7用于检测蚀刻循环区12的orp，根据测得orp值控制电解槽3中电流大小。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。