一种集成式PECVD的制作方法

本发明创造属于气相沉积设备技术领域，尤其是涉及一种集成式pecvd。

背景技术：

气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层。气相沉积技术按照成膜机理，可分为化学气相沉积、物理气相沉积和等离子体气相沉积。低压化学气相沉积设备就是一种常用的镀膜制造设备；但现有的pecvd设备普遍体积庞大，操作起来十分不便，工作台上的炉体和石英管均不易调节，容易造成石英管的损坏。

技术实现要素：

有鉴于此，本发明创造旨在克服上述现有技术中存在的缺陷，提出一种集成式pecvd。

为达到上述目的，本发明创造的技术方案是这样实现的：

一种集成式pecvd，包括工作台和工作台上设置的气相沉积机构，该气相沉积机构包括工作台上滑动设置的炉体、以及炉体上设置的石英管，所述工作台上设有用于驱动炉体移动的驱动器；所述工作台上对应石英管两端的位置设有用于支撑石英管的支撑机构，该支撑机构包括工作台上滑动设置的连接板、以及连接板上设置的连接架，所述连接架上设有可升降调节的支撑架，连接架上对应支撑架中部的位置设有用于限制支撑架移动的导向组件。

进一步的，所述支撑架包括水平设置的支撑板、以及支撑板上设置的支撑座，该支撑座上设有用于承载石英管的容纳槽；所述连接架上设有用于安装支撑板的螺柱，支撑板上设有与螺柱配合的安装孔，所述螺柱上设有用于调节支撑板高度的调节螺母。

进一步的，所述连接架为倒u型结构件，所述导向组件包括连接架中部竖直设置的导向套，该导向套的顶端固定在连接架上、底端固定在连接板上；所述支撑架中部设有与导向套滑动配合的导向柱。

进一步的，所述导向柱上设有若干侧棱，导向套上设有与侧棱配合的导向槽。

进一步的，所述工作台上设有用于控制气相沉积机构工作的控制机构，该控制机构包括工作台上滑动安装的连接座、连接座上转动安装的支撑杆、以及支撑杆上设置的触控屏。

进一步的，所述工作台上设有滑道，连接座上设有与滑道滑动配合的滑动部，该滑动部穿过滑道的一端设有限位板，另一端设有用于固定连接座的顶板，所述顶板滑动安装在连接座上，连接座上设有用于调节顶板位置的定位螺母。

进一步的，所述顶板朝向工作台的一侧设有限位柱，工作台上沿滑道的长度方向设有多个与限位柱配合的限位槽。

相对于现有技术，本发明创造具有以下优势：

本发明创造结构简单，易于使用，稳定性好，可靠性高；通过在连接架上设置导向组件，操作人员在调节支撑架时无需精细操作，大大降低了支撑架的调节难度，提高了支撑机构调节的便捷性，同时导向组件大大提高了支撑架移动的稳定性，有利于防止支撑架发生倾斜，避免支撑架磕碰损坏石英管；通过在工作台上设置可移动的连接座和触控屏，提高了触控屏使用的便捷性，同时通过移动连接座，还可以避免触控屏遮挡炉体或石英管，便于操作人员从各个角度观察炉体或石英管工作情况，进一步提高了这种pecvd使用的便捷性。

附图说明

构成本发明创造的一部分的附图用来提供对本发明创造的进一步理解，本发明创造的示意性实施例及其说明用于解释本发明创造，并不构成对本发明创造的不当限定。在附图中：

图1为本发明创造的结构示意图；

图2为本发明创造实施例中控制机构的结构示意图；

图3为本发明创造实施例中支撑机构的结构示意图；

图4为本发明创造实施例中导向套的结构示意图；

图5为本发明创造实施例中连接座处的结构示意图；

图6为本发明创造实施例所述的连接座设置压缩弹簧时的结构示意图；

图7为本发明创造实施例中炉体加热的电气原理图；

图8为本发明创造实施例中触控屏操作的电气原理图。

附图标记说明：

1-工作台；2-支撑机构；3-炉体；4-石英管；5-支撑杆；6-连接座；601-滑动部；7-触控屏；8-滑道；9-螺柱；10-支撑板；11-支撑座；12-调节螺母；13-连接板；14-导向套；15-导向柱；16-侧棱；17-导向槽；18-顶板；19-定位螺母；20-限位柱；21-限位槽；22-限位板；23-压缩弹簧；24-自润滑垫片；25-连接架。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明创造中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本发明创造的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明创造的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明创造的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明创造中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明创造。

一种集成式pecvd，如图1至图8所示，包括工作台1和工作台1上设置的气相沉积机构，该气相沉积机构包括工作台1上滑动设置的炉体3、以及炉体3上设置的石英管4，所述工作台1上设有用于驱动炉体3移动的驱动器；所述工作台1上对应石英管4两端的位置设有用于支撑石英管4的支撑机构2，该支撑机构2包括工作台1上滑动设置的连接板13、以及连接板13上设置的连接架25，所述连接架25上设有可升降调节的支撑架，连接架25上对应支撑架中部的位置设有用于限制支撑架移动的导向组件。

具体的，所述工作台1可以采用现有的气相沉积炉工作台1；工作台1上设有直线滑轨，炉体3和连接板13均可以通过直线轴承滑动安装在直线滑轨上，只要可以实现炉体3和连接板13沿直线滑轨滑动即可；所述驱动器可以采用直线电机或电动推杆，只要可以实现驱动炉体3沿直线滑轨移动即可。

所述支撑架包括水平设置的支撑板10、以及支撑板10上设置的支撑座11，该支撑座11上设有用于承载石英管4的容纳槽；所述连接架25上设有用于安装支撑板10的螺柱9，支撑板10上设有与螺柱9配合的安装孔，所述螺柱9上设有用于调节支撑板10高度的调节螺母12；具体的，调节螺母12可以对应支撑板10的上下两侧设置两个，当使用支撑架支撑石英管4时，操作人员可以通过调整调节螺母12，实现对支撑板10的高度调节，从而使支撑架能更好的支撑住石英管4，大大提高了石英管4在工作过程中的稳定性，同时通过滑动连接板13，支撑架还可以适应不同长度的石英管4，大大提高了这种支撑机构2的适应性。

所述连接架25为倒u型结构件，倒u型结构件可以在确保结构强度的同时，大幅降低连接架25的重量，有利于降低支撑机构2的体积和成本；所述导向组件包括连接架25中部竖直设置的导向套14，该导向套14的顶端固定在连接架25上、底端固定在连接板13上；所述支撑架中部设有与导向套14滑动配合的导向柱15；

具体的，导向套14可以对连接架25起到一定的支撑作用，进一步提高了连接架25的结构强度和可靠性，同时通过导向套14和导向柱15滑动配合，操作人员在调节支撑架高度时，导向套14可以对支撑板10起到很好的导向作用，使支撑板10能始终稳定的上下移动，大大提高了支撑架整体移动的稳定性，有利于防止支撑架整体发生倾斜，避免支撑架整体磕碰损坏石英管4。

所述导向柱15上设有若干侧棱16，导向套14上设有与侧棱16配合的导向槽17；具体的，侧棱16可以增大导向柱15与导向套14的接触面积，使导向套14能对导向柱15起到更好的导向作用，同时侧棱16与导向槽17配合还可以避免导向柱15发生转动，实现了对支撑架竖直方向和水平方向的双重限位，进一步提高了支撑架整体升降的稳定性。

所述工作台1上设有用于控制气相沉积机构工作的控制机构，该控制机构包括工作台1上滑动安装的连接座6、连接座6上转动安装的支撑杆5、以及支撑杆5上设置的触控屏7；具体的，利用触控屏7实现对炉体3的控制是本领域技术人员可选择的现有技术，各元件电气工作原理如图7和图8所示，只要可以实现对炉体的控制即可，在这里不在赘述。

所述工作台1上设有滑道8，连接座6上设有与滑道8滑动配合的滑动部601，该滑动部601穿过滑道8的一端设有限位板22，另一端设有用于固定连接座6的顶板18，所述顶板18滑动安装在连接座6上，连接座6上设有用于调节顶板18位置的定位螺母19；滑动安装的连接座6可以方便操作人员移动，使触控屏7能够移动到操作人员近处使用，提高了触控屏7使用的便捷性，同时操作人员通过移动连接座6，还可以避免触控屏7遮挡炉体3或石英管4，便于操作人员从各个角度观察炉体3或石英管4工作情况，进一步提高了这种pecvd使用的便捷性。

具体的，所述连接座6中部设有用于安装定位螺母19的螺纹；当操作人员需要移动连接座6时，先旋拧定位螺母19，使顶板18原理工作台1，顶板18和限位板22不在夹紧固定工作台1后，操作人员即可移动连接座6，操作起来十分方便；当连接座6移动到合适位置后，操作人员只需重新拧紧定位螺母19即可实现对连接座6的固定，通过移动连接座6，大大提高了触控屏7使用的便捷性。

所述顶板18朝向工作台1的一侧设有限位柱20，工作台1上沿滑道8的长度方向设有多个与限位柱20配合的限位槽21；具体的，通过限位柱20与限位槽21配合，限位柱20和滑动部601可以对连接座6形成多点固定，进一步提高了连接座6在固定时的稳定性，防止连接座6在使用过程中出现移动。

在一个可选的实施例中，为提高连接座6移动的便捷性，所述滑动部601上对应限位板22与工作台1之间的位置可以设置压缩弹簧23，压缩弹簧23一端顶住限位板22，另一端顶住工作台1；具体的，所述压缩弹簧23顶住工作台1的一端设有自润滑垫片24；通过设置压缩弹簧23，限位板22在压缩弹簧23弹力的作用下即可与顶板18共同固定住连接座6，当操作人员需要调节连接座6位置时，只需拉动连接座6挤压压缩弹簧23，待限位柱20与限位槽21分离后，即可移动连接座6，操作起来更加方便，大大提高了连接座6调节的便捷性。

本发明创造结构简单，易于使用，稳定性好，可靠性高；通过在连接架上设置导向组件，操作人员在调节支撑架时无需精细操作，大大降低了支撑架的调节难度，提高了支撑机构调节的便捷性，同时导向组件大大提高了支撑架移动的稳定性，有利于防止支撑架发生倾斜，避免支撑架磕碰损坏石英管；通过在工作台上设置可移动的连接座和触控屏，提高了触控屏使用的便捷性，同时通过移动连接座，还可以避免触控屏遮挡炉体或石英管，便于操作人员从各个角度观察炉体或石英管工作情况，进一步提高了这种pecvd使用的便捷性。

以上所述仅为本发明创造的较佳实施例而已，并不用以限制本发明创造，凡在本发明创造的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明创造的保护范围之内。